劃線方法技術

本發明專利技術的劃線方法，將刀片(14)轉動自由地安裝在刀片架(10)上。刀片架(10)做成圓筒形，在其前端設置安裝部(16)。在架接頭上設置開口部，利用磁鐵吸引并安裝刀片架(10)，由此使裝拆容易進行。另外，在刀片架(10)的面上將刀片的偏置數據作為二維編碼(17)加以記錄。通過在更換刀片架時讀出偏置數據并輸入至劃線裝置，抵消偏置。這樣，會節省在拆裝刀片架時有關修正的必要操作，可以在短暫的裝置停止期間內更換刀片。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及用于在脆性材料基板上形成劃線線條的劃線裝置、及其所使用的刀片架，特別涉及在保持劃線線條形成用的滾輪刀片(劃線滾輪)的刀片架上具有特征的劃線裝置、及刀片架。
技術介紹
以往，在液晶顯示面板或液晶投影器基板等平板顯示器等中，在制造過程中，素玻璃基板在粘合后被截斷，形成規定大小的單個的面板。在截斷該素玻璃基板等脆性材料基板時，有劃線工序和斷開工序，在劃線工序中使用劃線裝置。圖1是表示現有的劃線裝置的一例的概略立體圖。該劃線裝置100中的移動臺 101沿一對導軌102a、102b在y軸方向移動自由地被保持。滾珠絲杠103與移動臺101螺紋接合。滾珠絲杠103由馬達104驅動而旋轉，使移動臺101沿導軌102a、102b在y軸方向移動。在移動臺101的上面設有馬達105。馬達105使工作臺106在xy平面內旋轉，按規定角度定位。脆性材料基板107放置在該工作臺106上，由沒有圖示的真空吸引機構等保持。在劃線裝置的上部設有拍攝脆性材料基板107的對位標記的兩臺CCD照相機108。在劃線裝置100中，按跨過移動臺101和其上部的工作臺106的方式，沿χ軸方向利用支柱IllaUllb架設橋構件110。劃線頭112能沿設在橋構件110上的導向件113在 χ軸方向移動。馬達114是使劃線頭112沿χ軸方向移動的驅動源。在劃線頭112的前端部，經由架接頭120而安裝有刀片架130。下面對安裝在劃線頭112上的現有的架接頭和刀片架進行說明。如圖2所示的分解立體圖那樣，架接頭120在上部具有軸承121，下方具有構成為L字形的架部122。在架部122的側方設有定位用的銷123。刀片架130如圖3、圖4所示是可轉動地保持圓板狀的滾輪刀片(以下簡稱為刀片)131的部件。刀片131利用銷(未作圖示)旋轉自由地保持在下端中央的前端部，銷由擋塊132防止脫落。刀片131 —邊與脆性材料基板壓接一邊滾動，形成劃線線條。該刀片架130通過使其側面與定位銷123接觸，定位在架接頭120的架部122。而且，刀片架130由固定螺栓133固定在架部122上。劃線頭112可升降移動地保持其下部的架接頭120以及刀片架130。在劃線頭112上設有在其內部可以進行這樣的升降動作的升降部，例如使用氣壓控制的氣缸或由線性馬達等驅動的電動升降部等。該升降部一邊以適當的載荷使刀片131壓接在脆性材料基板的表面上，一邊使刀片131滾動，形成劃線線條。其次，對在作為劃線裝置組裝后，對劃線動作所需的電以及機械方面的調整結束了的劃線裝置的劃線動作進行說明。圖5A、圖5B是表示該處理順序的流程圖。在劃線開始前，如圖6所示，首先把脆性材料基板107放置在工作臺106上，在定位后進行吸引固定(步驟so)。之后，為了確認定位狀況，使用設在劃線裝置上方的兩臺CCD照相機108，分別放大攝像基板上的左右兩處的定位用的對位標記63a及63b，進行圖像處理(步驟Si)。由于攝像后的放大圖像在各自對應的監視器上顯示，所以，操作人員可以一邊確認其攝制的圖像一邊進行精確的定位作業。劃線裝置100通過圖像處理，檢測基板107從連接兩臺CXD 照相機的線、即工作臺106的基準線A傾斜多少角度(Θ)放置，或者基板107從作為工作臺106的基準的原點位置偏離多少放置(步驟S2)。根據其檢測結果，劃線裝置100進入步驟S3，通過馬達105的轉動進行修正，使工作臺106的傾斜角θ變成0。從工作臺106的原點位置的偏離可以進行以下修正。關于y軸方向，使工作臺106在y軸方向上移動與上述偏離量的y軸方向成分相當的量，另外，關于χ軸方向使劃線頭112的位置移動與上述偏離量的χ軸成分相當的量。另外，作為其它的修正方法，還有下述的方法。即，劃線裝置把上述偏離量分成χ軸成分和y軸成分，通過修正劃線動作開始位置的位置數據的各軸成分的值，使劃線開始位 置移動。若這樣作也可以得到相同的結果。在更換劃線對象的基板時，每次必定需要在劃線開始前實行上述偏離量的修正作業。只要修正作業結束，就從所希望的位置開始劃線動作。劃線裝置100使刀片架下降，使刀片一邊與基板接觸一邊滾動，進行通常劃線(步驟S5 S7)。之后，在該劃線線條的形成之后，劃線裝置100使刀片架上升(步驟S8)，接著，使基板相對移動(步驟S9)，返回至 S50下面，利用圖5B對步驟S9中所示的基板的移動進行詳細說明。首先，劃線裝置100 判斷作為控制程序內的控制數據的旗標FX是否為0 (步驟S10)。該旗標FX是在工作臺轉動時創建的旗標，初始化后成為0。只要旗標FX為0，就進入步驟Sll，判斷χ軸方向的劃線是否結束。如果未結束，則劃線裝置100通過移動工作臺106相對移動基板(步驟S12)，返回至步驟S5，反復進行同樣的處理。這樣，通過反復該循環，可以結束χ軸方向的劃線。在 χ軸方向的劃線結束后，進入步驟S13，劃線裝置100設定旗標FX為1，進入步驟S14，使工作臺106向右方向轉動90度。之后，在步驟S15中判斷y軸方向的劃線是否結束，如果未結束，就進入步驟S16使工作臺106移動，返回到步驟S5。如果χ軸方向的劃線結束，則旗標FX即被建立，所以，劃線裝置100從步驟SlO進入到步驟S15，判斷y軸方向的劃線是否結束。在沒有結束的情況下，劃線裝置100使基板相對地向y軸方向平行移動必要的移動量 (步驟S16)。之后，再次返回步驟S5，重復同樣的劃線動作。此后，當劃線裝置100判斷在步驟S15中完全結束了 y軸方向的劃線線條的形成時，使工作臺向左方向轉動90度，結束劃線動作。劃線裝置100重新設定旗標FX，基板解除吸引，從工作臺106拆下(步驟S17)。 接著，在工作臺上放置另一基板時，也可以按同樣的順序進行劃線動作。在新制造的劃線裝置100上安裝使用架接頭120時，或在使用劃線裝置的中途為了調整、修理或為了更換而拆除安裝刀片131的刀片架130、劃線頭112或架接頭120后，調整后再安裝使用時，或在更換后安裝另一構件進行使用時，需要用下述方法進行偏移量的修正作業。此時，為了簡單地說明，假定以下的調整已經結束來進行說明。即，調整兩臺CXD 照相機內的一臺的攝影圖像的中心坐標，使之與劃線線條的形成所必需的原點位置一致， 進而，在刀片架等構件安裝后由刀片形成的劃線線條預先調整成與工作臺的χ軸方向的基準線平行。首先，為了精確測出劃線裝置100的驅動系統的原點位置和實際上刀片131在基板上開始形成劃線線條的開始位置的偏移，必須進行測試劃線。在進行測試劃線時，操作人員把與一般的母基板不同的虛擬基板放置在工作臺106上，實施從步驟SO到S3的前處理。 圖7是表示由測試在虛擬基板上形成的劃線和由CCD照相機拍攝的圖像的對位標記的中心坐標PO的位置關系的模式圖。只要劃線頭112或架接頭120及刀片架130的各偏置量被修正處理并抵消，劃線裝置100就可以從中心坐標PO開始劃線?？墒牵捎诖嬖陔娂皺C械的誤差，每個組裝構件的值 都不同，故若不重新測定安裝后的誤差量而結束所需的修正處理的話，就不能從中心坐標PO進行劃線。因此，操作人員使刀片架130下降，使刀片與虛擬基板接觸(步驟S5'、S6')。之后，對虛擬基板進行測試劃線，形成一根劃線線條(S7')。之后，本文檔來自技高網...

【技術保護點】
１．一種劃線方法，使用了以下劃線裝置，該劃線裝置包括：設置脆性材料基板的設置機構，以面對所述設置機構上的脆性材料基板的方式設置的劃線頭，具備軸承并轉動自由地設在所述劃線頭前端的架接頭，以及在一端具有以包括傾斜部的方式切削了一面的安裝部、在規定方向裝拆自由地安裝在所述架接頭上、另一端具有旋轉自由地安裝的劃線線條形成用的滾輪刀片的刀片架；其特征在于，所述架接頭在下方形成有將所述刀片架的一端插入的開口，在所述開口的內側埋設所述磁鐵，設有與開口的中心軸垂直的平行銷，所述刀片架的一端的至少一部分由磁性體構成，在將刀片架安裝到架接頭上之后，使所述劃線頭以及所述設置機構相對地在沿著設置機構的面的ｘ軸方向以及ｙ軸方向上移動，對設置機構上的脆性材料基板進行劃線，上述的安裝包括如下步驟：將刀片架的一端插入到架接頭的開口中，使刀片架的傾斜部與平行銷接觸而相對于架接頭定位，由磁鐵吸引所述刀片架的磁性體而固定于架接頭。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：山本正男，田端淳，
申請(專利權)人：三星鉆石工業股份有限公司，
類型：發明
國別省市：JP