直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，包括水平固定在工作平臺上且用于固定被檢測硅單晶的U形槽和與U形槽相配合使用且在被檢測硅單晶的晶體表面打磨測量道的打磨工具，被檢測硅單晶為采用直拉法生產的單晶硅棒材；打磨工具包括傳動軸、固定安裝在傳動軸前端部的角磨片、固定安裝在傳動軸后部的手持式把手和安裝在手持式把手內且帶動傳動軸進行連續轉動的電動驅動機構，傳動軸與電動驅動機構之間通過傳動機構進行傳動連接，角磨片為在傳動軸帶動下在被檢測硅單晶的晶體表面打磨測量道的磨頭。本實用新型專利技術結構簡單、設計合理、使用操作簡便且使用效果好，硅單晶晶體表面測量道的制作過程易控，并且不會對外界環境造成任何污染。（*該技術在2021年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術屬于直拉硅單晶檢測
，尤其是涉及一種直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置。
技術介紹
單晶硅，又稱硅單晶，是一種半導體材料。單晶爐是一種在惰性氣體環境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生長無錯位單晶硅的設備。采用直拉法生產出來的硅單晶稱為直拉硅單晶。目前，單晶硅被廣泛的用來制作電子元件以及大規模的集成電路，例如二極管、三極管、可控硅、開關管、發光器件、熱電轉換器件、整流器、太陽能電池、大規模集成電路等。集成電路又可分為線性電路、數字電路、雙極電路、未處理器、邏輯電路和記憶電路等類別。近幾年來，隨著光伏產業的迅猛發展，單晶硅又被用來制作太陽能電池，呈現出供不應求的局面。但隨著高科技的發展，要求電路具有很高的可靠性和穩定性，所以生產近乎完美的高質量硅單晶，是每一個材料廠家、器件廠家的共同愿望，其中高質量單晶硅需具有良好的斷面電阻率均勻性、高壽命、含碳量少、微缺陷密度小、含氧量可以控制等特點。因而，制作完成直拉硅單晶的檢測過程顯得至關重要，而對直拉硅單晶質量進行檢測時，需在硅單晶的晶體表面制作測量道。傳統的測量道制作方法是用壓縮空氣將金剛砂噴射到需要制作測量道的硅單晶晶體表面，并相應沿硅單晶晶體縱向方向從頭至尾噴一條IOmm寬的測量道。但是，實際使用過程中，由于上述傳統的測量道制作方法需要用到金剛砂，因而會帶來極大的粉塵污染，同時使用操作不便且測量道的制作過程不易控制。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題在于針對上述現有技術中的不足，提供一種直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其結構簡單、設計合理、使用操作簡便且使用效果好，硅單晶晶體表面測量道的制作過程易控，并且不會對外界環境造成任何污染。為解決上述技術問題，本技術采用的技術方案是一種直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其特征在于包括水平固定在工作平臺上且用于固定被檢測硅單晶的U 形槽和與U形槽相配合使用且在被檢測硅單晶的晶體表面打磨測量道的打磨工具，所述被檢測硅單晶為采用直拉法生產的單晶硅棒材，所述U形槽的內部結構和尺寸均與所述單晶硅棒材的結構和尺寸一致；所述打磨工具包括傳動軸、固定安裝在傳動軸前端部的角磨片、 固定安裝在傳動軸后部的手持式把手、安裝在手持式把手內且帶動傳動軸進行連續轉動的電動驅動機構和與所述電動驅動機構相接的供電電源，所述傳動軸與所述電動驅動機構之間通過傳動機構進行傳動連接，所述角磨片為在傳動軸帶動下在被檢測硅單晶的晶體表面打磨所述測量道的磨頭。上述直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其特征是所述磨頭為錐形磨頭，且所述錐形磨頭的尺寸與所述測量道的寬度一致。上述直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其特征是所述傳動軸中部外側套裝有外護套，所述外護套緊固固定在手持式把手上。上述直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其特征是所述外護套通過多個緊固螺栓固定在手持式把手上。上述直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其特征是所述U形槽由兩個對稱布設在所述工作平臺上的斜向護板組成，且兩個所述斜向護板中部之間的間距小于所述單晶硅棒材的直徑。上述直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其特征是所述U形槽的前后端部分別設置有對被檢測硅單晶進行卡裝固定以防止被檢測硅單晶發生前后移動的卡裝件。上述直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其特征是所述U形槽的長度與被檢測硅單晶的長度相同。上述直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其特征是所述電動驅動機構為與供電電源相接的電動機，所述傳動軸3-1通過傳動機構與電動機的動力輸出軸同軸連接。上述直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其特征是兩個所述斜向護板中部之間的間距L > D/2，其中D為所述單晶硅棒材的直徑。本技術與現有技術相比具有以下優點1、結構簡單、加工制作方便且投入成本低。2、U形槽固定安裝方便，只需將兩塊斜向護板平行固定在工作平臺上，并確保兩個斜向護板之間的間距不小于被檢測硅單晶的直徑且大于被檢測硅單晶直徑的一半即可。3、使用操作簡便且測量道的制作過程易控，實際使用時，先將被檢測硅單晶放置于U形槽上，之后通供電電源并啟動電動機帶動角磨片旋轉，與此同時，操作者通過手持式把手帶動打磨工具沿被檢測硅單晶的晶體表面由前至后移動，便在被檢測硅單晶的晶體表面打磨出一定長度的測量道。4、使用效果好且實用價值高，對外界環境無任何污染。綜上所述，本技術結構簡單、設計合理、使用操作簡便且使用效果好，硅單晶晶體表面測量道的制作過程易控，并且不會對外界環境造成任何污染。下面通過附圖和實施例，對本技術的技術方案做進一步的詳細描述。附圖說明圖1為本技術的使用狀態圖。圖2為本技術的電路原理框圖。附圖標記說明I-被檢測硅單晶；2-U形槽； 3-1-傳動軸； 3-2-角磨片；3-3-手持式把手； 3-4-供電電源； 3-5-電動機； 4-外護套； 5-緊固螺栓；6-工作平臺。具體實施方式如圖1、圖2所示，本技術包括水平固定在工作平臺6上且用于固定被檢測硅單晶1的U形槽2和與U形槽2相配合使用且在被檢測硅單晶1的晶體表面打磨測量道的打磨工具，所述被檢測硅單晶1為采用直拉法生產的單晶硅棒材，所述U形槽2的內部結構和尺寸均與所述單晶硅棒材的結構和尺寸一致。所述打磨工具包括傳動軸3-1、固定安裝在傳動軸3-1前端部的角磨片3-2、固定安裝在傳動軸3-1后部的手持式把手3-3、安裝在手持式把手3-3內且帶動傳動軸3-1進行連續轉動的電動驅動機構和與所述電動驅動機構相接的供電電源3-4，所述傳動軸3-1與所述電動驅動機構之間通過傳動機構進行傳動連接， 所述角磨片3-2為在傳動軸3-1帶動下在被檢測硅單晶1的晶體表面打磨所述測量道的磨頭。本實施例中，所述磨頭為錐形磨頭，且所述錐形磨頭的尺寸與所述測量道的寬度一致。實際加工制作時，所述傳動軸3-1中部外側套裝有外護套4，所述外護套4緊固固定在手持式把手3-3上。本實施例中，所述外護套4通過多個緊固螺栓5固定在手持式把手3-3上。所述電動驅動機構為與供電電源3-4相接的電動機3-5，所述傳動軸3-1通過傳動機構與電動機3-5的動力輸出軸同軸連接。本實施例中，所述U形槽2由兩個對稱布設在所述工作平臺6上的斜向護板組成， 且兩個所述斜向護板中部之間的間距小于所述單晶硅棒材的直徑。并且，兩個所述斜向護板中部之間的間距L > D/2，其中D為所述單晶硅棒材的直徑。同時，所述U形槽2的前后端部分別設置有對被檢測硅單晶1進行卡裝固定以防止被檢測硅單晶1發生前后移動的卡裝件。本實施例中，所述U形槽2的長度與被檢測硅單晶1的長度相同。本技術的使用過程是首先，將所述單晶硅棒材放置于U形槽2上，并使得所述單晶硅棒材的頭部放置在操作者的左手位置，且所述單晶硅棒材的尾部放置于操作者右手位置，U形槽2是防止所述單晶硅棒材在工作平臺6上移動；之后，接通供電電源3-4，啟動電動機3-5并通過傳動軸3-1帶動角磨片3-2旋轉，與此同時，操作者通過手持式把手 3-3帶動所述打磨工具沿所述單晶硅棒材的晶體表面由前至后移動，便在所述單晶硅棒材的晶體表面打磨出一定長度的測量道。所打磨出的小測量道的寬度約10mm，長度約30mm且深度約2mm 3mm。打磨測量道的原因在于單晶硅的表皮本文檔來自技高網...

【技術保護點】
１．一種直拉硅單晶檢測用測量道的制作裝置，其特征在于：包括水平固定在工作平臺（６）上且用于固定被檢測硅單晶（１）的Ｕ形槽（２）和與Ｕ形槽（２）相配合使用且在被檢測硅單晶（１）的晶體表面打磨測量道的打磨工具，所述被檢測硅單晶（１）為采用直拉法生產的單晶硅棒材，所述Ｕ形槽（２）的內部結構和尺寸均與所述單晶硅棒材的結構和尺寸一致；所述打磨工具包括傳動軸（３－１）、固定安裝在傳動軸（３－１）前端部的角磨片（３－２）、固定安裝在傳動軸（３－１）后部的手持式把手（３－３）、安裝在手持式把手（３－３）內且帶動傳動軸（３－１）進行連續轉動的電動驅動機構和與所述電動驅動機構相接的供電電源（３－４），所述傳動軸（３－１）與所述電動驅動機構之間通過傳動機構進行傳動連接，所述角磨片（３－２）為在傳動軸（３－１）帶動下在被檢測硅單晶（１）的晶體表面打磨所述測量道的磨頭。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：趙娟，
申請(專利權)人：西安華晶電子技術股份有限公司，
類型：實用新型
國別省市：87