面向微結構制造具有力反饋控制的微探針刻劃加工方法技術

面向微結構制造具有力反饋控制的微探針刻劃加工方法。本發明專利技術屬于微納結構加工技術領域。本發明專利技術可以實現低成本、高精度、微米尺度溝槽等復雜微結構的加工。方法是：先將工件放置于X-Y向精密工作臺上，根據所設定的力初值，簡稱設定值，使微探針刀具自動逼近工件表面并維持一個恒定的力F，該恒定的力F的初值為5-20mN，當微探針刀具與工件表面接觸后，開始刻劃加工，啟動力閉環控制模塊，Z向微動工作臺上下移動，實現垂直力的實時閉環控制，X-Y向精密工作臺帶動工件做精密移動，實現微溝槽結構的加工；微溝槽結構加工好后，力閉環控制結束，微探針刀具由Z向粗動工作臺帶動向上移動脫離工件表面，加工結束。本發明專利技術用于加工工件的微溝槽結構。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：閆永達，胡振江，趙學森，周起琛，孫濤，董申，
申請(專利權)人：哈爾濱工業大學，
類型：發明
國別省市：