放射圖像檢測設備制造技術

一種放射圖像檢測設備包括：熒光體，其包含當被曝光于放射線時發射熒光的熒光材料；以及，傳感器板，其檢測所述熒光；其中，所述傳感器板具有基板和在所述基板的一側上設置的一組光電轉換元件；所述熒光體緊密地粘結到所述基板的與其中設置了所述一組光電轉換元件的側相對的表面；以及，在所述基板的所述熒光體緊密地粘結到的所述表面中形成凹凸結構。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及放射圖像檢測設備。
技術介紹
近些年來，用于檢測放射圖像并且產生數字圖像數據的、使用FPD(平板檢測器)的放射圖像檢測設備已經投入實際使用。因為與現有技術成像板作比較可以實時地確認圖像的原因，已經迅速地廣泛使用放射圖像檢測設備。存在用于這樣的放射圖像檢測設備的各種系統。間接轉換系統已經被已知為該系統之一。使用間接轉換系統的放射圖像檢測設備具有閃爍器和傳感器板。閃爍器由諸如CsI (碘化鈉)的熒光材料形成，該熒光材料當被暴光于放射時產生熒光。傳感器板具有在玻璃等的絕緣基板上形成的一組光電轉換元件。透過被攝體的放射被閃爍器一旦轉換為光。閃爍器的熒光被傳感器板的光電轉換元件組光電轉換，并且從如此產生的電氣信號產生數字圖像數據。也已知一種從一組柱狀晶體形成閃爍器的技術，其中，諸如CsI的熒光材料的晶體已經通過氣相沉積方法在支持體上生長為柱狀(例如，參見專利文件I (JP-A-2011-017683))。通過氣相沉積方法形成的柱狀晶體不包含諸如粘合劑的雜質，但是具有光導效應，通過該光導效應，可以在晶體的生長方向上引導在柱狀晶體中產生的熒光，以便抑制熒光的擴散。因此，可以改善放射圖像檢測設備的靈敏度和圖像的銳度。通常通過下述方式來形成由熒光材料的一組柱狀晶體形成的閃爍器使用鋁沉積基板作為支持體，并且在該支持體上生長該組柱狀晶體。通過使用粘結劑，將閃爍器粘貼到傳感器板的其中已經形成一組光電轉換元件的一側。替代地，可以以下述方式形成閃爍器通過使用傳感器板作為支持體形成所述一組柱狀晶體，并且直接地在傳感器板的其中已經形成所述一組光電轉換元件的側上生長所述一組柱狀晶體。另一方面，為了改善生產率，也已知放射圖像檢測設備，其中，在傳感器板的基板側上設置閃爍器(參見專利文件2(JP-A-2005-114456))。而且，為了改善靈敏度，也已知一種放射圖像檢測設備，其中，在傳感器板的相對側上，即，在傳感器板的其中已經形成一組光電轉換元件的一側上和傳感器板的基板側上，設置了閃爍器(參見專利文件3(JP-A-2007-163467))
技術實現思路
在其中在傳感器板的基板側上設置了閃爍器的放射圖像檢測設備中，存在閃爍器可能與傳感器板分離的擔心。例如，當將閃爍器通過使用粘結劑粘貼到傳感器板的基板側時，在被用作傳感器板的絕緣基板的玻璃和被用作閃爍器的支持體的鋁之間在線膨脹系數上存在顯著的差別。結果，由溫度改變引起的翹曲在閃爍器和傳感器板之間的結合界面中產生應力。當粘結層變厚時，可以實際上緩和該應力。然而，鑒于在閃爍器和傳感器板的光電轉換元件組之間插入傳感器板的基板，粘結層變厚使得在閃爍器和光電轉換元件組之間的距離進一步增大。因此，存在在閃爍器中產生的熒光可能擴散以降低圖像的銳度的擔心。相反，當粘結層變薄時，在閃爍器與傳感器板之間的結合界面中產生的應力不能被充分地緩和。因此，存在閃爍器和傳感器板可能與彼此分離的擔心。另外，當柱狀晶體直接地在傳感器板的絕緣基板上生長以形成閃爍器時，上述的翹曲問題不出現。然而，形成閃爍器的CsI對于諸如被用作傳感器板的絕緣基板的玻璃的低導熱率材料具有不良的粘結力。在該情況下，也存在閃爍器可能與傳感器板分離的擔心。已經考慮到上述情況實現本專利技術。本專利技術的目的是改善在放射圖像檢測設備中的傳感器板和熒光體之間的粘結力，其中，熒光體位于傳感器板的基板側上。 根據本專利技術的一個方面，一種放射圖像檢測設備包括熒光體，其包含當被曝光于放射線時發射熒光的熒光材料；以及，傳感器板，其檢測所述熒光；其中，所述傳感器板具有基板和在所述基板的一側上設置的一組光電轉換元件；所述熒光體緊密地粘結到所述基板的與其中設置了所述一組光電轉換元件的側相對的表面；以及，在所述熒光體緊密地粘結到的所述基板的所述表面中形成凹凸結構。利用該放射圖像檢測設備的構成，有可能增強在放射圖像檢測設備中的傳感器板與熒光體之間的粘結性，其中，熒光體位于傳感器板的基板側上。附圖說明圖I是示意性地示出用于說明本專利技術實施方式的放射圖像檢測設備的示例的構成的視圖。圖2是示意性地示出在圖I中的放射圖像檢測設備的傳感器板的構成的視圖。圖3是示意性地示出在圖I中的放射圖像檢測設備的熒光體的構成的視圖。圖4是在圖3中的線IV-IV上取得的熒光體的截面圖。圖5是在圖3中的線V-V上取得的熒光體的截面圖。圖6是示意性地示出在圖I中的放射圖像檢測設備中的熒光體與傳感器板之間的結合界面的視圖。圖7是示意性地示出用于說明本專利技術實施方式的放射圖像檢測設備的另一個示例的構成的視圖。圖8是示意性地示出在圖7中的放射圖像檢測設備中的熒光體與傳感器板之間的結合界面的視圖。具體實施例方式圖I示出用于說明本專利技術實施方式的放射圖像檢測設備的示例的構成。圖2示出在圖I中的放射圖像檢測設備的傳感器板的構成。放射圖像檢測設備I具有閃爍器(熒光體)18，其當被曝光于放射線時發射熒光；以及，傳感器板3，其檢測閃爍器18的熒光。傳感器板3具有絕緣基板16，絕緣基板16可以透過閃爍器18的熒光。在絕緣基板16上設置了多個光電轉換元件26和開關裝置28。使得二維地排列，該多個光電轉換元件26光電轉換閃爍器18的熒光，該開關裝置28由TFT(薄膜晶體管)構成。每一個光電轉換元件26由下述部分構成光電導層20，其當光入射在其上時產生電荷；以及，一對電極，其被設置在光電導層20的前和后表面上。其中，一個電極22是用于向光電導層20施加偏置電壓的偏置電極，而另一個電極24是用于收集由光電導層20產生的電荷的電荷收集電極。與光電轉換元件26的二維陣列對應地二維排列開關裝置28。每個光電轉換元件26的電荷收集電極24連接到開關裝置28的對應的一個。由每一個電荷收集電極24收集的電荷通過對應的開關裝置28來讀出。在絕緣基板16中設置了多條柵極線30和多條信號線(數據線)32。柵極線30被提供為在一個方向(行方向)上延伸，以便分別導通/關斷開關裝置28。信號線32被提供為在與柵極線30垂直的方向(列方向)上延伸，以便通過已經導通的開關裝置28來讀出電荷。另外，柵極線30和信號線32各條連接到的連接端子38被布置在絕緣基板16的周緣部中。連接端子38通過如圖2中所示的連接電路39連接到電路板(未示出)。電路板包括柵極線驅動器、外部電路和信號處理部。開關裝置28根據分別從柵極線驅動器通過柵極線30提供的信號逐行地依序導通。由已經導通的開關裝置28讀出的電荷作為電荷信號通過信號線32被發送，并且被提供到信號處理部。因此，電荷被逐行地依序讀出，并且在信號處理部中被轉換為電信號，以便產生數字圖像數據。閃爍器18形成在支持體11上。閃爍器18的與支持體11的相對表面通過位于閃爍器18和絕緣基板16之間的粘結層25被粘貼到傳感器板3的絕緣基板16。在該示例中的放射圖像檢測設備I是所謂的ISS(放射側采樣)放射圖像檢測設備，其中，從傳感器板3側福射并且傳輸透過傳感器板3的放射入射在閃爍器18上。在其上入射了放射的閃爍器18中產生熒光。在閃爍器18中如此產生的熒光被傳感器板3的光電轉換元件26進行光電轉換。在如此構成的放射圖像檢測設備I中，其中產生多個熒光的閃爍器18的放射進入側被布置得鄰近傳感器板3，使得改善靈敏度。而且，在說明的示本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
...

【專利技術屬性】
技術研發人員：金子泰久，中津川晴康，
申請(專利權)人：富士膠片株式會社，
類型：發明
國別省市：