一種能實現上、下進氣切換的化學氣相沉積爐制造技術

本實用新型專利技術涉及一種能夠實現氣體上、下進氣切換的化學氣相沉積爐，它包括爐體、沉積室、進氣管和出氣管，沉積室設置于爐體內；進氣管包括上進氣管和下進氣管，出氣管包括上出氣管、下出氣管和出氣總管；所述的上進氣管、下進氣管上分別設置有控制閥門；所述的上出氣管、下出氣管分別設置有控制閥門。本實用新型專利技術克服了傳統沉積方式因單一氣流進出方式導致產品表面沉積涂覆不均勻的缺陷。（*該技術在2021年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種能夠實現氣體上、下進氣切換的化學氣相沉積爐，屬于化學氣相沉積

技術介紹
目前，化學氣相沉積爐大多采用上進氣下出氣或下進氣上出氣的其中一種氣體流通方式，不管哪種方式進氣口和出氣口的位置都是上下相對的，沉積爐的氣體物料流動方向單一且固定不變。如專利文件CN2218916(申請號94232049. 2)涉及用于制造熱解氮化 硼制品的化學氣相沉積感應爐，該技術爐體內中下部設置有環繞感應線圈的石墨套筒 發熱體，模具基體立于旋轉底座上。對于不同的產品而言，受產品結構、形狀及所要涂覆的部位不同或爐內物件擺放方式等因素的影響，所需的最佳進出氣方式往往是不同的。現有的單一進出氣方式的沉積爐在生產不同產品時，往往需要重新調整或改變反應室內的爐具或產品擺放位置，或者設計制作新的夾具工件等來滿足不同的生產需要，從而導致生產時間的延長、生產成本的上升，且產品質量不易控制。
技術實現思路
本技術針對現有技術的不足，提供一種能實現氣體上進氣、下進氣切換的化學氣相沉積爐。該化學氣相沉積爐可根據生產產品的種類、形狀等參數確定適合的氣體進氣方式。一種能實現上、下進氣切換的化學氣相沉積爐，包括爐體、沉積室、進氣管和出氣管，沉積室頂部有上通氣口、底部有下通氣口，沉積室設置于爐體內；沉積室下通氣口的正下方設置有三通室，三通室為一個設置有上孔、下孔和側孔的密閉腔室；三通室的上孔與沉積室的下通氣口密閉連通，三通室的側孔與下出氣管口相對；沉積室上通氣口接有上三通管，所述上三通管側口與上通氣口連接，所述上三通管下口接有引管，引管管口朝向并靠近爐壁；所述上三通管上口用于上進氣管通入；進氣管包括上進氣管和下進氣管，下進氣管通過三通室的下孔伸入所述的三通室內與設置于三通室內的石墨進氣管一端通過連接部件相連，石墨進氣管另一端通過三通室的上孔并穿過沉積室下通氣口伸入沉積室內；上進氣管伸入爐體上部與所述的上三通管相連通；出氣管包括上出氣管、下出氣管和出氣總管，上出氣管與爐體上部的爐壁相連并與上三通管中的靠近爐壁的管口相對，下出氣管與爐體下部的爐壁相連并與三通室靠近爐壁的側孔相對，上出氣管和下出氣管匯合成出氣總管，出氣總管與抽真空裝置相連接；所述的上進氣管、下進氣管上分別設置有控制閥門；所述的上出氣管、下出氣管分別設置有控制閥門。根據本技術優選的，所述上三通管中靠近爐壁的管口處設置有用于封堵管口的石墨塊。石墨塊的設置可以防止部分氣體進入爐體與沉積室之間的空腔內，從而保護爐體。根據本技術優選的，所述的下進氣管與石墨進氣管之間的連接部件為石墨螺絲。根據本技術優選的，所述石墨進氣管的外徑小于沉積室底部的下通氣口內徑。根據本技術優選的，所述進氣管還包括進氣總管，進氣總管分別與上進氣管 和下進氣管相連，進氣總管上設置有控制閥門。根據本技術優選的，所述抽真空裝置為羅茨真空泵組。根據本技術優選的，所述下進氣管與三通室的下孔、三通室的上孔與沉積室的下通氣口密閉連接。三通室的上孔與沉積室的下通氣口，可以通過兩個孔直接密閉連；也可以通過管子或其他連接件連接，達到密閉連接的目的。有益效果本技術所述實現上進氣、下進氣切換的化學氣相沉積爐，克服了傳統沉積方式因單一氣流進出方式導致產品表面沉積涂覆不均勻的缺陷；在對產品進行涂覆時，可以根據產品形狀及涂覆位置確定選擇合適的進出氣方式，也可根據需要先選擇一種進氣方式進行產品涂覆，然后再轉換為另外一種進氣方式進行產品涂覆；此外，本技術可通過改變沉積室內的氣體進出氣方式涂覆產品的各個表面，避免了傳統單一氣流進出方式的沉積爐涂覆產品各個表面需要調整爐內裝置及產品、重新設計夾具的麻煩，操作簡單易行，特別適用于體積大、重量沉的產品。附圖說明圖I是能轉換上、下進氣方式的化學氣相沉積爐的結構示意圖；圖2是三通室的剖面結構示意圖；其中1、石墨塊，2、石墨進氣管，3、控制閥門1，4、控制閥門II，5.上三通管，6、控制閥門IV，7、控制閥門111，8、連接部件，9、上進氣管，10、下進氣管，11、上出氣管，12、下出氣管，13、爐體，14、沉積室，15、進氣總管，16、出氣總管，17、抽真空裝置，18、下通氣口，19、三通室，20、上通氣口，21、上孔，22、側孔，23、下孔。具體實施方式下面結合實施例對本技術做進一步闡述，但本技術所保護范圍不限于此。實施例I一種能實現上進氣、下進氣切換的化學氣相沉積爐，包括爐體13、沉積室14、進氣管和出氣管，沉積室14頂部有上通氣口 20、底部有下通氣口 18，沉積室14設置于爐體13內；沉積室14下通氣口 18的正下方設置有三通室19，三通室19為一個設置有上孔21、下孔23和側孔22的密閉腔室；三通室19的上孔21與沉積室14的下通氣口 18密閉連通，三通室19的側孔22與下出氣管口相對；沉積室14上通氣口 20接有上三通管5，所述上三通管5側口與上通氣口 20連接，所述上三通管5下口接有引管，引管管口朝向并靠近爐壁；所述上三通管5上口用于上進氣管9通入；進氣管包括上進氣管9和下進氣管10，下進氣管10通過三通室19的下孔23伸入所述的三通室19內與設置于三通室19內的石墨進氣管2—端通過連接部件8相連，石墨進氣管2另一端通過三通室19的上孔21并穿過沉積室14底部的下通氣口 18伸入沉積 室14內；上進氣管9伸入爐體13上部與所述的沉積室14頂部的上通氣口 20上方的上三通管5相連通；出氣管包括上出氣管11、下出氣管12和出氣總管，上出氣管11與爐體13上部的爐壁相連并與上三通管5中的靠近爐壁的管口相對，下出氣管12與爐體13下部的爐壁相連并與三通室19靠近爐壁的側孔22相對，上出氣管11和下出氣管12匯合成出氣總管，出氣總管與抽真空裝置17相連接；所述的上進氣管9上設置有控制閥門II、下進氣管10上設置有控制閥門I ;所述的上出氣管11設置有控制閥門III、下出氣管12設置有控制閥門IV。實施例2一種能實現上進氣、下進氣切換的化學氣相沉積爐，包括爐體13、沉積室14、進氣管和出氣管，沉積室14頂部有上通氣口 20、底部有下通氣口 18，沉積室14設置于爐體13內；沉積室14下通氣口 18的正下方設置有三通室19，三通室19為一個設置有上孔21、下孔23和側孔22的密閉腔室；三通室19的上孔21與沉積室14的下通氣口 18密閉連通，三通室19的側孔22與下出氣管口相對；沉積室14上通氣口 20接有上三通管5，所述上三通管5側口與上通氣口 20連接，所述上三通管5下口接有引管，引管管口朝向并靠近爐壁；所述上三通管5上口用于上進氣管9通入；進氣管包括上進氣管9和下進氣管10，下進氣管10通過三通室19的下孔23伸入所述的三通室19內與設置于三通室19內的石墨進氣管2 —端通過石墨螺絲相連，石墨進氣管2另一端通過三通室19的上孔21并穿過沉積室14底部的下通氣口 18伸入沉積室14內；上進氣管9伸入爐體13上部與所述的沉積室14頂部的上通氣口 20上方的上三通管5相連通；出氣管包括上出氣管11、下出氣管12和出氣總管，上出氣管11與爐體13上部的爐壁相連并與上三通管5中的靠近爐壁的管口相對，下出氣管12與爐體13下部的爐壁相連并與三通室19本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.ー種能實現上、下進氣切換的化學氣相沉積爐，包括爐體、沉積室、進氣管和出氣管，沉積室頂部有上通氣ロ、底部有下通氣ロ，沉積室設置于爐體內；其特征在干， 沉積室下通氣ロ的正下方設置有三通室，三通室為ー個設置有上孔、下孔和側孔的密閉腔室；三通室的上孔與沉積室的下通氣ロ密閉連通，三通室的側孔與下出氣管ロ相對； 沉積室上通氣ロ接有上三通管，所述上三通管側ロ與上通氣ロ連接，所述上三通管下ロ接有引管，引管管ロ朝向井靠近爐壁；所述上三通管上ロ用于上進氣管通入； 進氣管包括上進氣管和下進氣管，下進氣管通過三通室的下孔伸入所述的三通室內與設置于三通室內的石墨進氣管一端通過連接部件相連，石墨進氣管另一端通過三通室的上孔并穿過沉積室下通氣ロ伸入沉積室內；上進氣管伸入爐體上部與所述的上三通管相連通； 出氣管包括上出氣管、下出氣管和出氣總管，上出氣管與爐體上部的爐壁相連并與上三通管中的靠近爐壁的管ロ相對，下出氣管與爐體下部的爐壁相連并與三...

【專利技術屬性】
技術研發人員：劉汝強，
申請(專利權)人：劉汝強，
類型：實用新型
國別省市：