門閥制造技術

本發明專利技術涉及一種門閥，其通過具備控制開閉部件的朝上下方向的移動的上下動作驅動器和，控制朝前后方向的移動的前后退驅動器，使打開或關閉晶片的移動通道的開閉部件正確的以“L”字形動作，這是本發明專利技術的優點。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及一種門閥，更詳細而言，涉及通過具備控制開閉部件的朝上下方向的移動的上下動作驅動器和控制朝前后方向的移動的前后退驅動器，使打開或關閉晶片的移動通道的開閉部件正確的以“L”字形動作。
技術介紹
由本申請人申請了狹口閥，通過所述專利申請第10-2003-0071906號(專利技術名稱狹口閥)改善配置在晶片的移動通道周圍的密封部件的配置構造防止密封移動通道的密封部件損傷，并通過安裝在閥門驅動器的指示裝置能夠確認運行狀態。圖I表示根據現有技術的狹口閥的截面圖，該申請的狹口閥，包括密封部件100，其打開或關閉晶片的移動通道；外殼支架200，與所述密封部件單獨形成；主軸400，在所述密封部件100和外殼支架之間延長形成；氣缸310，形成在所述外殼支架200的內部，通過空氣的壓力驅動；活塞320，形成在所述氣缸310的內部；活塞桿330，結合在所述活塞320 ；移動單元340，結合在所述活塞桿330 ；閥門驅動器300，具備結合在所述移動單元340和主軸400的連桿。所述狹口閥，形成在外殼支架200的內部的氣缸310的活塞320根據從外部流入的壓縮空氣的壓力變化進行上下轉動。隨此，移動單元340與所述活塞同時上下轉動，通過連桿350連接在移動單元340的主軸400也轉動，從而用密封部件100打開或關閉晶片的移動通道。所述狹口閥的閥門驅動器300，如圖2所示，包括第一步驟的動作，使所述主軸400垂直上下轉動；以及第二步驟的動作，所述主軸400朝垂直的前后方向轉動而用所述密封部件100打開或關閉半導體晶片的移動通道，即，以“L”字形驅動，為了以如所述的“L”字形驅動，導槽被形成為“L”字形。但是，所述連桿35的結構能夠進行旋轉運動，因此，存在以現有狹口閥的“L”字形，即以直線軌跡的導槽是無法將閥門驅動器300正確地引導為“L”字形運動的問題。并且，如圖2所示，朝“L”字形的導槽351引導所述連桿350時，由于在所述連桿和導槽的角落部頻繁地摩擦而發生應力集中，以在所述連桿插入在導槽的狀態下轉動，則如圖2所示會發生細微的間隙，由此存在很難用所述密封部件正確地打開或關閉半導體晶片的移動通道的問題點。而且，在通過如所述的連桿打開或關閉半導體晶片的移動通道的開閉部件的接觸面設置由橡膠材料制成的“O”形環，當所述“O”形環和半導體晶片的移動通道接觸時，在上側(或下側)“O”形環發生細微的旋轉。由于“O”形環的旋轉，“O”形環以設在導槽內的狀態進行旋轉，因此會有從導槽脫離或硬化的憂慮。
技術實現思路
本專利技術是為解決所述問題點而提出的，其目的在于，提供一種門閥，其通過具備控、制開閉部件的朝上下方向的移動的上下動作驅動器和控制朝前后方向的移動的前后退驅動器，使打開或關閉晶片的移動通道的開閉部件正確的以“L”字形動作。為解決所述問題點，根據本專利技術的門閥，其特征在于，包括開閉部件100，用于打開或關閉半導體晶片的移動通道；前后退驅動器200，包括第一氣缸210，設于所述開閉部件100的背面，在內部后側形成有第一流路1，在前側形成有第二流路2，在正面形成有蓋子221 ;第一活塞220，設置在所述第一氣缸210的內部，通過流入到所述第一流路I和第二流路2的壓縮空氣進行前后動作；連接部件B，用于連接所述第一活塞220和開閉部件100，上下動作驅動器(300)，包括多個第二氣缸(310)，形成在所述上下動作驅動器的內部；第二活塞320，設置在所述第二氣缸310的內部，通過壓縮空氣進行上下動作；上下軸330，其一側連接在所述第二活塞320，另一側連接在所述前后退驅動器200，在內部流動壓縮空氣，形成有與所述第一流路I連通的第三流路3以及與所述第二流路2連通的第四流路4 ;第一壓縮空氣流入孔340，在所述開閉部件100封閉晶片的移動通道時用于流入壓縮空氣；第五流路5，其從所述第一壓縮空氣流入孔340連接到所述第二氣缸310的下部以使所述第二 活塞320通過從所述第一壓縮空氣流入孔340流入的壓縮空氣進行上下移動；第六流路6，設有安全閥Rl和止回閥Cl，當所述第二活塞320通過流入到所述第五流路5的壓縮空氣到達上死點時，所述安全閥Rl被選擇性地打開，當所述第二活塞320到達下死點時，所述止回閥Cl被選擇性地打開，在所述安全閥Rl被打開時，為了使壓縮空氣移動到所述第一流路I，所述第六流路6與所述第一壓縮空氣流入孔340和第五流路5及第一流路I連通。為解決所述問題點，根據本專利技術的另一實施例的門閥，其特征在于，包括開閉部件100,用于打開或關閉半導體晶片的移動通道；前后退驅動器200,包括第一氣缸210,設置在所述開閉部件100的背面，在內部后側形成有第一流路1，在前側形成有第二流路2，在正面形成有蓋子221 ;第一活塞220，設置在所述第一氣缸210的內部，通過流入到所述第一流路I和第二流路2的壓縮空氣進行前后動作；連接部件B，用于連接所述第一活塞220和開閉部件100 ;后蓋201，從外部密封所述連接部件B，上下動作驅動器300，包括多個第二氣缸310，形成在所述上下動作驅動器的內部；第二活塞320，設置在所述第二氣缸310的內部，通過壓縮空氣進行上下動作；上下軸330，其一側連接在所述第二活塞320，另一側連接在所述前后退驅動器200，在內部流動壓縮空氣，形成有與所述第一流路I連通的第三流路3以及與所述第二流路2連通的第四流路4。本專利技術進一步包括第二壓縮空氣流入孔350，用于流入壓縮空氣以通過所述開閉部件100開放晶片的移動通道，并設置為所述第四流路4及第二流路2與所述上下動作驅動器300連通；第七流路7，其與所述第二壓縮空氣流入孔350連通，并設有安全閥R2和止回閥C2，當所述第一活塞220通過從所述第二壓縮空氣流入孔350流入的壓縮空氣到達下死點時，所述安全閥和止回閥選擇性地被打開，當所述安全閥R2被打開時，從所述第二氣缸320的上側流入壓縮空氣。本專利技術進一步包括磁鐵部件321，設置在所述第二活塞320;磁鐵式傳感器360，設置在所述上下動作驅動器300，感應所述磁鐵部件321檢測所述第二活塞320的位置。本專利技術進一步包括接觸式傳感器361，其設置在所述上下動作驅動器300，接觸在通過所述上下動作驅動器300進行上下動作的所述前后退驅動器200的上面和下面，檢測所述第二活塞320的位置。本專利技術進一步包括波紋管400，其分別設置在所述開閉部件100和前后退驅動器200之間以及所述前后退驅動器200和上下動作驅動器300之間。而且，在所述述上下動作驅動器300的上部和下部，進一步包括上蓋301及下蓋302，用于密封所述第二氣缸310 ;導向部303，形成在所述上蓋301引導所述上下軸330 ;軸套304，設置在所述導向部303的內部并與所述上下軸330的外周面接觸，在因所述開閉部件100的負載而發生偏心時，防止所述上下軸330和導向部303的磨損。所述止回閥是快速排氣閥。根據如上所述的本專利技術具有以下效果。即通過具備控制開閉部件的朝上下方向的移動的上下動作驅動器和控制朝前后方向的移動的前后退驅動器，使打開或關閉晶片的移 動通道的開閉部件正確的以“L”字形動作。附圖說明圖I是現有狹口閥的構成截面圖。圖2是示出現有狹口閥的連桿的動作的狀態圖。圖本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】2010.01.18 KR 10-2010-00042471.一種門閥，其特征在于，包括 開閉部件(100)，用于打開或關閉半導體晶片的移動通道； 前后退驅動器(200)，包括第一氣缸(210)，設于所述開閉部件(100)的背面，在內部后側形成有第一流路(I)，在前側形成有第二流路(2)，在正面形成有蓋子(221);第ー活塞(220)，設置在所述第一氣缸(210)的內部，通過流入到所述第一流路(I)和第二流路(2)的壓縮空氣進行前后動作；連接部件(B)，用于連接所述第一活塞(220)和開閉部件(100)， 上下動作驅動器(300)，包括多個第二氣缸(310)，形成在所述上下動作驅動器的內部；第ニ活塞(320)，設置在所述第二氣缸(310)的內部，通過壓縮空氣進行上下動作；上下軸(330)，其一側連接在所述第二活塞(320)，另ー側連接在所述前后退驅動器(200)，在內部流動壓縮空氣，形成有與所述第一流路(I)連通的第三流路(3)以及與所述第二流路(2)連通的第四流路(4);第一壓縮空氣流入孔(340)，在所述開閉部件(100)封閉晶片的移動通道時用于流入壓縮空氣；第五流路(5)，其從所述第一壓縮空氣流入孔(340)連接到所述第二氣缸(310)的下部以使所述第二活塞(320)通過從所述第一壓縮空氣流入孔(340)流入的壓縮空氣進行上下移動；第六流路出)，設有安全閥(Rl)和止回閥(Cl)，當所述第二活塞(320)通過流入到所述第五流路(5)的壓縮空氣到達上死點時，所述安全閥(Rl)被選擇性地打開，當所述第二活塞(320)到達下死點時，所述止回閥(Cl)被選擇性地打開，在所述安全閥(Rl)被打開時，為了使壓縮空氣移動到所述第一流路(1)，所述第六流路(6)與所述第一壓縮空氣流入孔(340)和第五流路(5)及第一流路(I)連通。2.一種門閥，其特征在于，包括 開閉部件(100)，用于打開或關閉半導體晶片的移動通道； 前后退驅動器(200)，包括第一氣缸(210)，設置在所述開閉部件(100)的背面，在內部后側形成有第一流路(I)，在前側形成有第二流路(2)，在正面形成有蓋子(221);第一活塞(220)，設置在所述第一氣缸(210)的內部，通過流入到所述第一流路(I)和第二流路(2)的壓縮空氣進行前后動作；連接部件(B)，用于連接所述第一活塞(220)和開閉部件(100);后蓋(201)，從外部密...

【專利技術屬性】
技術研發人員：金培鎮，
申請(專利權)人：普利西斯株式會社，
類型：發明
國別省市：