一種工夾具清洗機制造技術

本實用新型專利技術提供一種工夾具清洗機。現有技術通過機械方式將工夾具傳送進氫氟溶液及直接從氫氟酸溶液中撈取工夾具，導致可靠性和安全性都較低。本實用新型專利技術先將工夾具傳送進清洗槽，然后通過控制模塊控制液體驅動模塊將氫氟酸溶液傳送至清洗槽中對工夾具進行清洗，在清洗結束后再控制液體驅動模塊將氫氟酸溶液傳送至儲液槽中，之后再控制供水模塊向清洗槽中供水對工夾具進行水洗。本實用新型專利技術可提高清洗機的可靠性和安全性。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及太陽電池制造領域，具體涉及一種工夾具清洗機。
技術介紹
在太陽電池或半導體制造領域，通常會用氮化硅或二氧化硅作為掩模層或絕緣介質層，相應工序的工夾具在使用一段時間后均會沉積一定厚度的氮化硅或二氧化硅薄膜，例如等離子增強化學氣相沉積(PECVD)工序的石墨舟上會在長時間鍍膜后其表面沉積一 厚層氮化硅，此時需將石墨舟放置在氫氟酸(HF)溶液中清洗以去除其表面的氮化硅。應用于上述太陽電池或半導體領域的工夾具清洗機，一般是使用機械傳動方式將石墨舟等工夾具傳送進酸洗槽和水洗槽分別進行酸洗、水洗。由于氫氟酸具有腐蝕性，導致傳動部分易被腐蝕損壞進而導致其性能不可靠；另外當工夾具被從氫氟酸槽中撈取出來時，易發生氫氟酸液體四處滴濺，導致清洗機周圍槽體上到處是氫氟酸殘液，存在著很大的安全隱患。因此，如何提供一種工夾具清洗機以避免在氫氟酸溶液中傳送或撈取工夾具，從而提高清洗機的可靠性并清除安全隱患，已成為業界亟待解決的技術問題。
技術實現思路
本專利技術的目的是要提供一種工夾具清洗機，通過所述清洗機可以避免在氫氟酸溶液中傳送或撈取工夾具，從而提高清洗機的可靠性并清除安全隱患。為實現上述目的，本技術將提供一種工夾具清洗機，包括用于清洗石墨舟的清洗槽，所述清洗機還包括儲液槽，用于儲存清洗工夾具的清洗液；液體驅動模塊，用于驅動清洗液在清洗槽和儲液槽間進行交換，所述液體驅動模塊分別通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲液槽；以及控制模塊，用于依據工夾具的清洗狀況控制液體驅動模塊驅動清洗液在清洗槽和儲液槽間進行交換。在上述工夾具清洗機中，所述液體驅動模塊包括第一單向隔膜泵和第二單向隔膜泵，所述第一單向隔膜泵通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲液槽，所述第二單向隔膜泵通過第三管道和第四管道連接至清洗槽和儲液槽。在上述工夾具清洗機中，所述第一管道、第二管道、第三管道和第四管道上分別設置有第一閥門、第二閥門、第三閥門和第四閥門。在上述工夾具清洗機中，所述第一閥門、第二閥門、第三閥門和第四閥門均為氣動閥。在上述工夾具清洗機中，所述液體驅動模塊為雙向隔膜泵，所述雙向隔膜泵通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲液槽。在上述工夾具清洗機中，所述第一管道和第二管道上分別設置有第一閥門和第二閥門。在上述工夾具清洗機中，所述第一閥門和第二閥門均為氣動閥。在上述工夾具清洗機中，所述工夾具清洗機還包括時間繼電器或/和設置在清洗槽和儲液槽中的液位開關，所述控制模塊依照液位開關和時間繼電器的動作來控制液體驅動模塊作動。在上述工夾具清洗機中，所述清洗液為氫氟酸溶液，所述工夾具為石墨舟或石英舟。在上述工夾具清洗機中，所述工夾具清洗機還包括供水模塊，所述控制模塊還依據石墨舟的清洗狀況控制供水模塊向清洗槽供水。與現有技術中通過機械方式將工夾具傳送進氫氟溶液及直接從氫氟酸溶液中撈取工夾具相比，本技術先將工夾具傳送進清洗槽，然后通過控制模塊控制液體驅動模塊將氫氟酸溶液傳送至清洗槽中對工夾具進行清洗，在清洗結束后再控制液體驅動模塊將氫氟酸溶液傳送至儲液槽中，之后再控制供水模塊向清洗槽中供水對工夾具進行水洗，從而可提高清洗機的可靠性和安全性。附圖說明圖I為本技術的工夾具清洗機的第一實施例的組成結構示意圖；圖2為本技術的工夾具清洗機的第二實施例的組成結構示意圖；以及圖3為本技術的工夾具清洗機的第三實施例的組成結構示意圖。具體實施方案下面結合具體實施例及附圖來詳細說明本技術的目的及功效。參見圖1，本技術的工夾具清洗機，包括清洗槽I、儲液槽2、液體驅動模塊3、供水模塊4、液位開關5和控制模塊6。以下對本技術的各構件進行詳細說明。所述清洗液為氫氟酸溶液，所述工夾具為石墨舟或石英舟等。所述清洗槽I用于清洗石墨舟。所述儲液槽2用于儲存清洗工夾具的清洗液。所述液體驅動模塊3用于驅動清洗液在清洗槽I和儲液槽2間進行交換。如圖I所示，在本技術第一實施例中，所述液體驅動模塊3為雙向隔膜泵，所述雙向隔膜泵通過第一管道300和第二管道301連接至清洗槽I和儲液槽2，還通過第三管道310和第四管道311連接至清洗槽I和儲液槽2，所述第一管道300和第二管道301的液體流向為儲液槽2至清洗槽1，所述第三管道310和第四管道311的液體流向為清洗槽I至儲液槽2。所述第一管道300、第二管道301、第三管道310和第四管道311上分別設置有第一閥門VI、第二閥門V2、第三閥門V3和第四閥門V4。所述第一閥門VI、第二閥門V2、第三閥門V3和第四閥門V4均為氣動閥。如圖2所示，在本技術第二實施例中，所述液體驅動模塊30為雙向隔膜泵，所述雙向隔膜泵通過第一管道300和第二管道301連接至清洗槽I和儲液槽2。所述第一管道300和第二管道301上分別設置有第一閥門Vl和第二閥門V2。所述第一閥門Vl和第二閥門V2均為氣動閥。如圖3所示，在本技術第三實施例中，所述液體驅動模塊3包括第一單向隔膜泵30和第二單向隔膜泵31，所述第一單向隔膜泵30通過第一管道300和第二管道301連接至清洗槽和儲液槽，所述第二單向隔膜泵31通過第三管道310和第四管道311連接至清洗槽I和儲液槽2。所述第一管道300和第二管道301的液體流向為儲液槽2至清洗槽1，所述第三管道310和第四管道311的液體流向為清洗槽I至儲液槽2。所述第一管道300、第二管道301、第三管道310和第四管道311上分別設置有第一閥門VI、第二閥門V2、第三閥門V3和第四閥門V4。所述第一閥門Vl、第二閥門V2、第三閥門V3和第四閥門V4均為氣動閥。所述供水模塊4用于向清洗槽I供水，所述水為去離子水。所述液位開關5用于在清洗槽I中的液位達到預設液位時停止向清洗槽I供液。所述控制模塊6用于依據工夾具的清洗狀況控制液體驅動模塊3驅動清洗液在清洗槽I和儲液槽2間進行交換，當工夾具設置在清洗槽I中時，控制模塊6控制液體驅動模塊3將氫氟酸溶液從儲液槽2驅動到清洗槽1，當工夾具在氫氟酸溶液中浸泡足以將工夾具清洗干凈的時間后，控制模塊6控制液體驅動模塊3將氫氟酸溶液從清洗槽I驅動到儲液槽2 ;在將氫氟酸溶液全部轉移到儲液槽2后，所述控制模塊6還控制供水模塊4向清洗槽 I供水以對工夾具進行水洗。在本技術其他實施例中，所述工夾具清洗機還包括時間繼電器，時間繼電器的作動時間依據清洗槽I和儲液槽2的容量以及液體驅動模塊3的驅動能力來設定。所述控制模塊6依照液位開關5和時間繼電器的動作來控制液體驅動模塊作動，例如當液位開關5作動時，控制模塊6控制液體驅動模塊3停止驅動，控制第一閥門VI、第二閥門V2、第三閥門V3和第四閥門V4關閉。綜上所述，本技術依據清洗需要將氫氟酸溶液在清洗槽I和儲液槽2間進行交換，其先將工夾具傳送進清洗槽I，然后通過控制模塊6控制液體驅動模塊3將氫氟酸溶液傳送至清洗槽I中對工夾具進行清洗，在清洗結束后再控制液體驅動模塊3將氫氟酸溶液傳送至儲液槽2中，之后再控制供水模塊4向清洗槽I中供水對工夾具進行水洗，從而可提高清洗機的可靠性和安全性。本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種工夾具清洗機，包括用于清洗石墨舟的清洗槽，其特征在于，所述清洗機還包括 儲液槽，用于儲存清洗工夾具的清洗液； 液體驅動模塊，用于驅動清洗液在清洗槽和儲液槽間進行交換，所述液體驅動模塊分別通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲液槽；以及 控制模塊，用于依據工夾具的清洗狀況控制液體驅動模塊驅動清洗液在清洗槽和儲液槽間進行交換。2.按照權利要求I所述的工夾具清洗機，其特征在于，所述液體驅動模塊包括第一單向隔膜泵和第二單向隔膜泵，所述第一單向隔膜泵通過第一管道和第二管道連接至清洗槽和儲液槽，所述第二單向隔膜泵通過第三管道和第四管道連接至清洗槽和儲液槽。3.按照權利要求2所述的工夾具清洗機，其特征在于，所述第一管道、第二管道、第三管道和第四管道上分別設置有第一閥門、第二閥門、第三閥門和第四閥門。4.按照權利要求3所述的工夾具清洗機，其特征在于，所述第一閥門、第二閥門、第三...

【專利技術屬性】
技術研發人員：姚小明，
申請(專利權)人：洛陽尚德太陽能電力有限公司，無錫尚德太陽能電力有限公司，
類型：實用新型
國別省市：