本發明專利技術提供一種圖案形成方法。從沿著基板(W)的表面(Wf)向掃描移動方向(Ds)移動的嘴體(N)噴出含有光固性材料的涂敷液，并且從以追隨嘴體(N)的方式移動的光射出部(E)對涂敷液照射光(例如UV光)。在到達涂敷結束位置時，嘴體(N)停止噴出涂敷液，并且嘴體(N)向與基板表面(Wf)相分離的方向退避。另一方面，對于光照射部(E)而言，繼續向掃描移動方向(Ds)移動，從而光能夠可靠地照射到涂敷液的末端部。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及通過從相對于基板表面移動的嘴體對基板表面涂敷含有光固性材料的涂敷液并對該涂敷液進行光照射從而在基板上形成圖案的圖案形成技木。
技術介紹
作為在基板表面形成規定的圖案的技術，有以下技術與圖案形狀相配合地涂敷含有光固性材料的涂敷液，并對涂敷液照射光(例如紫外線(UV光))來使涂敷液固化。例如，在本案申請人之前所公開的日本特開2010-278225號公報記載的技術中，為了在光電轉換器件(具體而言為太陽能電池)的表面形成布線圖案而利用該技木。更詳細而言，在該技術中，從相對于基板移動的嘴體將含有光固性樹脂的涂敷液涂敷在基板表面上，并且對涂敷液照射UV光來使之固化，從而形成用于流入布線材料的隔壁。而且，通過向由這樣形成的隔壁所夾著的溝部中流入液體狀的布線材料，來在基板表面形成高縱橫比(aspect) 的布線圖案。但是，在通過涂敷涂敷液及對涂敷液進行光照射來形成圖案的技術中，還有如下的問題。即，為了在維持涂敷于基板的涂敷液的形狀不變的狀態下使涂敷液固化，對從嘴體剛剛噴出之后的液體進行光照射是有效的。但是，若對緊挨著嘴體的位置照射光，則在嘴體的噴出ロ周邊，涂敷液被光照射而變硬凝固，這可能會使噴出ロ堵塞。若為了避免此情況而從遠離嘴體的位置進行光照射，則噴出后的涂敷液在光固化前向周圍蔓延，而不能得到所期望的截面形狀。尤其是當使用了粘度比較低的涂敷液時，該問題較顯著。另外，若向涂敷液射出光的光射出部與嘴體之間的距離遠，則在涂敷末端位置結束從嘴體噴出涂敷液的時刻，涂敷液的末端部未充分地照射光，固化不充分從而圖案形狀往往會走樣。這樣，在現有的圖案形成技術中，難以同時防止涂敷液在嘴體周邊處凝固和使涂敷后的涂敷液可靠地固化。
技術實現思路
本專利技術是鑒于上述問題而做出的，其目的在于，對于通過在基板表面涂敷含有光固性材料的涂敷液并進行光照射從而在基板上形成圖案的圖案形成技術，提供能夠防止涂敷液在嘴體周邊處凝固而且能夠可靠地對涂敷后的涂敷液照射光來使之固化的技木。為了實現上述目的，本專利技術所涉及的圖案形成方法的特征在于，包括第一エ序，一邊使嘴體沿著基板的表面向規定的掃描移動方向相對移動，一邊從所述嘴體的噴出ロ連續地噴出含有光固性材料的涂敷液，第二エ序，使光射出單元以追隨所述嘴體的方式沿著所述基板的表面向所述掃描移動方向相對移動，并對涂敷于所述基板的所述涂敷液進行光照射，從而使所述光固性材料光固化。并且，當所述嘴體相對于所述基板的相對位置到達規定的涂敷結束位置時，從所述噴出口停止噴出所述涂敷液，并且使所述嘴體向與所述基板的表面相分離的方向相對于所述基板的表面相對移動；在所述嘴體與所述基板的表面相分離后，使所述光射出単元相對于所述基板向所述掃描移動方向相對移動來進行光照射，直到照射到因所述噴出口停止噴出而終斷的所述涂敷液的末端部為止。在這樣構成的專利技術中，噴出涂敷液的嘴體在涂敷結束位置結束噴出并且與基板表面相對性地分離，從而使涂敷于基板表面的涂敷液與嘴體可靠地分離。然后，通過使光射出單元進一步向掃描移動方向相對移動，由此即使在停止噴出的時刻，基板上的涂敷液存在光未照射到的未照射部分，也能夠使光照射到該部分從而使該部分固化。此時，由于嘴體退避到與基板表面相分離的位置，因此能夠防止在嘴體的噴出口的周圍光照射到涂敷液而使其固化的現象。這樣，根據本專利技術，通過防止涂敷液在嘴體周邊處凝固，并且可靠地對涂敷后的涂敷液照射光來使之固化，從而能夠以所期望的形狀形成圖案。另外，由于在嘴體退避后使光射出單元掃描移動從而能夠對基板上的涂敷液進行光照射，因此無需勉強地將嘴體和光射出単元接近配置，根據該點也能夠有效地防止涂敷液在嘴體周邊處凝固。在該圖案形成方法中，例如可以是，在嘴體到達涂敷結束位置時，嘴體停止相對于 基板向掃描移動方向相對移動，并停止從噴出口噴出涂敷液，然后嘴體與基板表面相分離。如果這樣，在嘴體移動停止了的狀態下停止從噴出口噴出涂敷液，之后進行嘴體的離開動作，因此能夠防止在噴出ロ周邊殘存的涂敷液垂落在基板上或產生涂敷液的末端部被嘴體細細地拉長而形成的拖絲，從而能夠抑制圖案形狀的不規則。另外，例如更優選，在從開始對涂敷液進行光照射起到結束對涂敷液的末端部的光照射為止的期間，光射出単元和基板表面之間的間隔維持恒定。通過這樣，對涂敷液進行光照射的條件均勻，使圖案的固化程度恒定，并且能夠恰當地控制其形狀。另外，例如也可以，在從開始對涂敷液進行光照射起到停止從噴出口噴出涂敷液為止的期間，嘴體和光射出単元在掃描移動方向上的間隔維持恒定，即該期間，嘴體和光射出単元一體地相對于基板相對移動。這種動作能夠通過比較簡單的裝置結構實現，而且，因為從噴出涂敷液到進行光照射的時間差恒定，所以在控制圖案形狀方面也是有效的。另外，例如也可以，通過將嘴體的位置固定并使基板移動，來實現嘴體相對于基板的相對移動。無論使基板、嘴體中的哪ー個移動，都能夠實現嘴體相對于基板的相對移動，但若將嘴體固定并使基板移動，則能夠將因伴隨移動而產生的對嘴體的沖擊或振動所引起的涂敷液的滴垂或軌跡的搖擺防患于未然。另外，為了實現上述目的，本專利技術所涉及的圖案形成裝置的特征在于，具有基板保持単元，其保持基板，嘴體，其具有噴出口，該噴出口能夠連續地噴出含有光固性材料的涂敷液，光射出単元，其對從所述噴出口噴出的所述涂敷液射出光，以及移動機構，其使所述嘴體沿著由所述基板保持単元保持的所述基板的表面向規定的掃描移動方向相對移動，并使所述光射出單元以追隨所述嘴體的方式沿著所述基板的表面向所述掃描移動方向相對移動；當借助所述移動機構相對于所述基板相對移動的所述嘴體到達規定的涂敷結束位置時，停止從所述噴出口噴出所述涂敷液，并且所述移動機構使所述嘴體向與所述基板的表面相分離的方向相對于所述基板的表面相對移動；在所述嘴體與所述基板的表面相分離后，所述移動機構使所述光射出単元相對于所述基板向所述掃描移動方向相對移動來進行光照射，直到照射到因所述噴出口停止噴出而終斷的所述涂敷液的末端部為止。這樣構成的專利技術，具有適于執行上述的圖案形成方法的裝置結構，并如上所述進行動作，由此能夠得到與上述的圖案形成方法的專利技術同樣的效果。即，根據本專利技術，防止涂敷液在嘴體周邊處凝固，并且可靠地對涂敷后的涂敷液照射光來使之固化，從而能夠以所期望的形狀形成圖案。在本專利技術中，例如可以，移動機構一邊將光射出単元和基板表面之間的間隔維持恒定，一邊使光射出単元相對于基板向掃描移動方向相對移動。由此，能夠使對涂敷液進行光照射的條件均勻，使圖案的固化程度恒定，并且能夠恰當地控制其形狀。另外，例如可以，移動機構一方面將嘴體固定保持在規定位置，另ー方面使基板保持單元移動，移動機構通過使基板保持單元向與掃描移動方向相反的方向移動，來使嘴體相對于基板向掃描移動方向相對移動，當嘴體相對于基板的相對位置到達涂敷結束位置時，使基板保持單元向與嘴體相分離的方向移動。如上所述，通過將嘴體固定并使基板移動，能夠防止由對嘴體的沖擊或振動引起的垂液或軌跡的搖擺。另外，在嘴體到達涂敷結束位置時，基板保持単元與嘴體相分離，由此能夠可靠地防止從嘴體垂液或拖絲。 在該情況下，例如也可以，一方面在掃描移動方向上一體地支撐光射出単元和嘴體，另ー方面，在與基板表面相接近及分離的接近分離方向上以本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
2011.03.25 JP 2011-0670411.一種圖案形成方法，其特征在干， 包括 第一エ序，一邊使嘴體沿著基板的表面向規定的掃描移動方向相對移動，ー邊從所述嘴體的噴出口連續地噴出含有光固性材料的涂敷液， 第二エ序，使光射出單元以追隨所述嘴體的方式沿著所述基板的表面向所述掃描移動方向相對移動，并對涂敷于所述基板的所述涂敷液進行光照射，從而使所述光固性材料光固化； 當所述嘴體相對于所述基板的相對位置到達規定的涂敷結束位置時，從所述噴出口停止噴出所述涂敷液，并且使所述嘴體向與所述基板的表面相分離的方向相對于所述基板的表面相對移動； 在所述嘴體與所述基板的表面相分離后，使所述光射出単元相對于所述基板向所述掃描移動方向相對移動來進行光照射，直到照射到因所述噴出口停止噴出而終斷的所述涂敷液的末端部為止。2.根據權利要求I記載的圖案形成方法，其特征在于，在所述嘴體到達所述涂敷結束位置時，所述嘴體停止向所述掃描移動方向相對于所述基板相對移動，并停止從所述噴出ロ噴出所述涂敷液，然后所述嘴體與所述基板的表面相分離。3.根據權利要求I或2記載的圖案形成方法，其特征在于，在從開始對所述涂敷液進行光照射起到結束對所述涂敷液的所述末端部的光照射為止的期間，所述光射出単元和所述基板的表面之間的間隔維持恒定。4.根據權利要求I或2記載的圖案形成方法，其特征在于，在從開始對所述涂敷液進行光照射起到停止從所述噴出口噴出所述涂敷液為止的期間，所述嘴體和所述光射出単元在所述掃描移動方向上的間隔維持恒定。5.根據權利要求I或2記載的圖案形成方法，其特征在于，通過將所述嘴體的位置固定并使所述基板移動，來實現所述嘴體相對于所述基板的相對移動。6.一種圖案形成裝置，其特征在干， 具有 基板保持単元，其保持基板， 嘴體，其...
【專利技術屬性】
技術研發人員：巖島正信，真田雅和，
申請(專利權)人：大日本網屏制造株式會社，
類型：發明
國別省市：
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