一種可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊制造技術(shù)

一種可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊。屬于真空技術(shù)和氣動(dòng)機(jī)械領(lǐng)域，其特征是它由波紋管，夾緊面，前、后法蘭，導(dǎo)向限位結(jié)構(gòu)，回位彈簧組成。向模塊內(nèi)部充入壓縮空氣，波紋管向兩端伸長，由于波紋管徑向有一定剛度，在通用的10bar以下壓力，能保證波紋管徑向不發(fā)生變形。由于波紋管夾緊模塊是全封閉結(jié)構(gòu)，沒有往復(fù)運(yùn)動(dòng)于氣缸內(nèi)的活塞桿，所以它在真空中有很好的密封性能。經(jīng)實(shí)踐測(cè)試它適用于真空鍍膜等高真空領(lǐng)域。（*該技術(shù)在2021年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及真空技術(shù)和氣動(dòng)機(jī)械領(lǐng)域，2、
技術(shù)介紹
真空(Vacnnm)是指定空間內(nèi)低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài)，可分為低真空(101325 1333Ν/Π11)、中真空(1333Ν/Π11 I X I(T1Pa)、高真空(I X KT1 I X I(T5Pa)、超高真空(I X 10_5 I X I(T9Pa)、極高真空(< I X I(T9Pa)。波紋管(Bellows)是一種撓性、 薄壁、有橫向波紋的管殼零件；能補(bǔ)償吸收管道軸向、橫向、角向熱變形，密封性好。它分為金屬波紋管、波紋膨脹節(jié)和金屬波紋軟管三種。制造方法有滾壓成形、焊接成形、橡膠成形、機(jī)械脹形、液壓成形、滾壓成形和電沉積成形等。其材質(zhì)為可以是不銹鋼，銅、橡膠和塑料等。作用補(bǔ)償、吸收管道軸向、橫向、角向熱變形，吸收設(shè)備振動(dòng)；密封性好。氣缸和夾緊模塊同樣是夾緊或夾持作用，夾緊模塊實(shí)際上就是小型、短行程氣缸；不同之處在于缸徑、行程和夾持力大小例如德國費(fèi)斯托FESTO夾緊氣缸(型號(hào)DNCKE)缸徑Φ 40、63、100mm，行程10 2000mm和夾持力1300 8000N。FESTO夾緊模塊(型號(hào)EV)缸徑12 63mm、行程O 5mm和夾持力35 1650N。目前應(yīng)用的夾緊氣缸，因?yàn)榇嬖谥鴼飧變?nèi)腔與活塞桿間不同程度的泄漏現(xiàn)象。因此夾緊氣缸不能用于高真空容器中，這是行業(yè)內(nèi)的共識(shí)。現(xiàn)在德國費(fèi)斯托FESTO公司出品一種夾緊模塊。是無活塞桿短行程氣缸，具有膜片，行程3 5mm。是用橡膠膜片執(zhí)行工作的。實(shí)際測(cè)試漏氣量較大，例如費(fèi)斯托FESTO的EV-63夾緊模塊，將這種夾緊模塊6個(gè)放入水中，向夾緊模塊中通入6bar壓縮空氣，肉眼可見每個(gè)模塊，氣囊與底座結(jié)合處有很小的氣泡不斷從冒出。約I個(gè)/S，這樣高漏率是不能應(yīng)用在高真空腔室中的。目前市場(chǎng)上沒有供應(yīng)國內(nèi)外生產(chǎn)的可工作于高真空中的夾緊模塊。3、
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)提供一種可以在高真空中工作，漏率低于lX10_5Pa/L· S(行業(yè)中可認(rèn)為是不漏的)的波紋管夾緊模塊。采用焊接波紋管，其材質(zhì)可以是不銹鋼，銅或非金屬材料。一種可在高真空中工作波紋管夾緊模塊，其特征在于后法蘭(I)將波紋管(2)等組成的夾緊模塊固定在工作位置上，并導(dǎo)入導(dǎo)出氣體、連接回位彈簧(4)、波紋管(2)和限位機(jī)構(gòu)⑶；波紋管⑵內(nèi)沒有活塞，保持行程走直線的限位機(jī)構(gòu)⑶和回位彈簧(4)，夾緊面(5)、波紋管(2)和后法蘭(I)構(gòu)成全封閉的空間。壓縮空氣推動(dòng)波紋管的伸縮作用完成夾緊模塊夾緊或放松工作.有益效果可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊，經(jīng)實(shí)踐應(yīng)用，它的各種指標(biāo)均達(dá)到了設(shè)計(jì)要求，可應(yīng)用于真空鍍膜等，它為高真空領(lǐng)域氣動(dòng)元件的應(yīng)用，開辟了一條嶄新的途徑。附圖說明圖I波紋管夾緊模塊說明1、后法蘭；2、波紋管；3、導(dǎo)向限位機(jī)構(gòu)；4、回位彈簧；5、夾緊面；具體實(shí)施方式實(shí)施例I:見圖I一種可在高真空中工作波紋管夾緊模塊，是由后法蘭(I)，波紋管(2)，限位機(jī)構(gòu)(3)，回位彈簧(4)，夾緊面(5)組成。一種可在高真空中工作波紋管夾緊模塊，其特征在于后法蘭(I)將波紋管(2)等組成的夾緊模塊固定在工作位置上，并導(dǎo)入導(dǎo)出氣體、連接回位彈簧(4)、波紋管(2)和限位機(jī)構(gòu)(3)。波紋管(2)內(nèi)沒有活塞，保持行程走直線的限位機(jī)構(gòu)(3)和回位彈簧(4)，夾緊面(5)、波紋管(2)和后法蘭(I)構(gòu)成全封閉的空間。氣動(dòng)通過波紋管的伸縮作用完成夾緊模塊夾緊或放松工作。 住。只有工作面方向可以膨脹。于是壓縮空氣推動(dòng)工作面向前運(yùn)動(dòng)。如果前面有被夾工件，工件就擋住了夾緊面繼續(xù)向前的運(yùn)動(dòng)。工件就被牢牢夾緊。如果沒有工件，在行程末端限位機(jī)構(gòu)將夾緊面拉住。使夾緊面停止運(yùn)動(dòng)。當(dāng)排除壓縮空氣，外部環(huán)境在一個(gè)大氣壓下。回位彈簧將夾緊面拉回初始位置。如果外部環(huán)境是真空，排除壓縮空氣后，由于夾緊模塊內(nèi)部是一個(gè)大氣壓，內(nèi)外壓力差過大。彈簧是拉不回來夾緊面的。這種情況就要用真空泵將夾緊模塊內(nèi)部抽成真空。內(nèi)外壓力差距不大的情況下加緊面就會(huì)被回位彈簧拉回到初始位置。波紋管夾緊模塊可工作于高真空中，其主要原因在于采用高密封性焊接波紋管產(chǎn)品組成。因?yàn)槟壳耙恍﹪鴥?nèi)公司已經(jīng)把波紋管做的很好了，有高密封性焊接波紋管產(chǎn)品。焊接波紋管，其材質(zhì)可以是不銹鋼，銅或非金屬材料。例如安徽威邁公司制作的焊接波紋管真空漏率=IXKTuiPa/! · S。使用壽命10萬次 100萬次以上。壓縮比50^-85 ^活塞桿進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)是氣缸內(nèi)漏主要因素，從結(jié)構(gòu)、運(yùn)行機(jī)制和性能完全達(dá)到了可工作于高真空中的要求。6、有益效果可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊，經(jīng)實(shí)踐應(yīng)用，它的各種指標(biāo)均達(dá)到了設(shè)計(jì)要求，可應(yīng)用于真空鍍膜等，它為高真空領(lǐng)域氣動(dòng)元件的應(yīng)用，開辟了一條嶄新的途徑。本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

【技術(shù)特征摘要】
1.一種可在高真空中工作的波紋管夾緊模塊，其特征在于后法蘭(I)將波紋管(2)等組成的夾緊模塊固定在工作位置上，并導(dǎo)入導(dǎo)出氣體、連接回位彈簧(4)、波紋管(2)和限位機(jī)構(gòu)(3)，波紋管(2)內(nèi)沒有活塞，保持行程走直線的限位機(jī)構(gòu)(...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：沈雙宇，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：沈雙宇，
類型：實(shí)用新型
國別省市：