一種用于關閉低壓腔或真空腔的腔壁中的開口的裝置，其具有至少一個可移動地支承的關閉機構(1)和帶有通孔(3)及至少一個包圍通孔(3)的支座面(4)的至少一個基體(2)，其中，通孔(3)可帶到與腔壁中的開口相疊或者處于相疊，并且其中，該裝置具有關閉機構(1)的至少一個打開的位置(在其中通孔(3)由關閉機構(1)開啟)和關閉機構(1)的至少一個關閉位置(在其中通孔(3)在使用關閉機構(1)的情況下完全關閉)和帶有至少一個可充氣的腔(6)的至少一個彈性的密封件(5)，其中，密封件(5)在關閉的位置中布置在關閉機構(1)與支座面(4)之間，并且將關閉機構(1)對支座面(4)密封，其中，除了可充氣的腔(6)之外，彈性的密封件(5)具有用于在可充氣的腔(6)中泄漏的情況中容納來自可充氣的腔(6)的流體的至少一個安全腔(7)。
【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及一種用于關閉低壓腔或真空腔的腔壁中的開口的裝置，其具有 -至少一個可移動地支承的關閉機構(Verschlussorgan)和 -帶有通孔和至少一個包圍通孔的支座面(Sitzflaeche)的至少一個基體,其中,通孔可帶到與腔壁中的開口相疊或者處于相疊，和 -關閉機構的至少一個打開的位置，在其中通孔由關閉機構開啟；和關閉機構的至少一個關閉的位置，在其中通孔在使用關閉機構的情況下完全關閉，和 -帶有至少一個可充氣的腔的至少一個彈性的密封件，其中，密封件在關閉的位置中布置在關閉機構與支座面之間且將關閉機構對支座面密封。
技術介紹
低壓腔或真空腔在現有技術中經常被用于在低壓和/或氣體密封下執行制造工序和加工工序。在低壓或真空被建立在低壓腔或真空腔中之前，為了能夠將待加工的工件引入低壓腔或真空腔中，在其腔壁中需要開口，其又可在引入待加工的對象之后被關閉。這種類型的裝置用于相應地關閉低壓腔或真空腔的腔壁中的這些開口。當然，該裝置這樣來設計，使得待加工的對象在關閉機構的打開的位置中不僅可被帶入低壓腔或真空腔中，而且又可被從其中取出。這種類型的裝置可作為單獨的零件來制造并且相應地緊固在腔壁處。但是也可能將該裝置或它的基體直接集成到腔壁中。通過該裝置的緊固以及通過集成在腔壁處或腔壁中，該裝置的通孔無論如何被帶到與腔壁中的開口相疊，使得當關閉機構在打開的位置中時，待加工的工件可被引導穿過該裝置中的通孔和腔壁中的開口。在關閉機構的關閉的位置中，通孔和因此還有腔壁中的開口完全關閉。在非常多的不同的設計形式中存在該類型的關閉裝置。這種類型的裝置設置有至少一個彈性的密封件，其具有可充氣的腔，其中，密封件在關閉的位置中布置在關閉機構與支座面之間并且將關閉機構對支座面密封。該所謂的可充氣的密封件具有該優點，即其可平衡支座面(其被壓緊到該處)中的不平度。另外，其節省了關閉機構在朝向支座面的方向上和在遠離支座面的方向上的附加的運動并且因此允許這種類型的裝置的機械上更簡單的結構。在現有技術中，與低壓腔或真空腔相關聯，不同的可充氣的密封件是已知的。由文件US 5, 772,950 A例如已知借助于可充氣的密封件將真空腔的蓋子緊固在真空腔的剩余的腔壁處。文件US 2004/0123916 Al以及文件GB 1530977 A也顯示類似的東西。由文件US 4，080，526 A已知一種用于電子束加工的裝置，在其中可充氣的密封件同樣被用于真空腔的密封。該可充氣的密封件的缺點在于，尤其由于老化現象等可導致密封件中可充氣的腔的壁的破裂，因此穿過如此產生的裂縫，用于給密封件充氣的流體在加工工序期間可被擠入低壓腔或真空腔中。這通常不僅導致在低壓腔或真空腔中進行的工序的干擾，而且由于高的壓差大多也導致待加工的對象的破壞并且可能還導致低壓腔或真空腔本身的損壞或破壞。
技術實現思路
本專利技術的目的是這樣改進這種類型的裝置，使得在可充氣的腔中泄漏的情況中不可導致在壓力下在可充氣的腔中存在的流體流出到低壓腔或真空腔中。根據本專利技術，這通過除了可充氣的腔之外彈性的密封件具有用于在可充氣的腔中泄漏的情況中容納來自可充氣的腔的流體的至少一個安全腔來實現。本專利技術的基本思想因此在于在密封件本身中設置有至少一個附加的腔，即安全腔，其在可充氣的腔的壁中泄漏的情況中可容納從可充氣的腔流出的流體，使得其不可流出到低壓腔或真空腔中。根據該思想，因此該至少一個安全腔直接集成到彈性的密封件中。更有利地，在此該至少一個安全腔鄰近于可充氣的腔來布置。在本專利技術的實施方案中設置成，可充氣的腔與該至少一個安全腔通過密封件的至少一個間壁來分離。特別優選的設計形式在此設置有在可充氣的腔與安全腔之間的間壁中的理論斷裂部位(Sollbruchstelle)。該理論斷裂部位在此更有利地如此來實施,使得當在密封件的可充氣的腔中出現泄漏時，其在理論斷裂部位處出現。理論斷裂部位的概念在此不應如此來理解， 即在那里在正常運行中應招致破裂，而是當出乎意料發生斷裂時，其至少在限定的部位處即理論斷裂部位處發生。在此涉及一個部位，其有目的地更弱地來構造，由此當破裂以不希望的方式發生時，其在那里出現。通過可充氣的腔由間壁且由密封件的其它的壁來包圍并且間壁比其它的壁至少局部更弱地并且/或者更薄地來構造，這例如可被實現。該至少一個安全腔在此可由密封件的間壁和外側壁來限制。根據本專利技術的彈性的密封件如所說的那樣具有至少一個安全腔。特別優選的設計形式設置成，兩個或更多個安全腔集成到彈性的密封件中。在此當可充氣的腔在至少兩個彼此相對而置的側面上相應由安全腔來包圍時，是特別有利的。安全腔圍繞于可充氣的腔的對稱的實施方案也在可充氣的密封件在可充氣的腔充氣時的盡可能對稱的膨脹的意義上是有利的。也可考慮將可充氣的腔完全布置在安全腔中的空腔內。因此可設置成，可充氣的腔與安全腔之間的間壁完全包圍可充氣的中間腔或可充氣的腔的空腔。充氣的腔由此例如可由軟管狀地構造的間壁包圍并且布置在安全腔的空腔中。在之前的還有接下來的實施方案的過程中，由于語言上的簡化通常僅提及至少一個安全腔。這應如此來理解，即因此包括以下所有情況，在其中僅僅一個而或也兩個或還更多個安全腔存在于彈性的密封件中。由于解釋也指出，“可充氣的”原則上被理解為可擴展的腔的各個形式。充氣在此可氣動地、即通過導入處于壓力下的氣體或氣體混合物(例如空氣)而或也液壓地通過導入處于壓力下的液體或處于壓力下的液體混合物而實現。當然，在關閉機構被移動到打開的位置中之前，在壓力下導入可充氣的腔中的氣體或液體還又被排出。通常，根據本專利技術的裝置具有多個打開的位置或中間位置。但是始終存在最大打開的位置。當通孔完全打開時，那么其在優選的設計形式中才達到。如果關閉機構被移動到其完全不再與通孔相疊的位置中，那么這被實現。在該位置中保證，通孔的整個開口橫截面可供使用，以便將待加工的工件通過腔壁中的開口帶入低壓腔或真空腔中或者從其中取出。不同于這些優選的設計形式，但是也可設置成，如果關閉機構仍部分地遮蓋通孔，那么已達到關閉機構的最大打開的位置。為了完整性指出，根據本專利技術的裝置也可作為用于阻塞或放行液體和/或氣體的閥來構造或使用。在使用可充氣的密封件的情況下根據本專利技術的裝置的主要優點(也如上面已提及的那樣)此外在于，其利用用于關閉機構的運動的相對簡單的機械來控制。由此該機械僅必須用于將關閉機構帶到與通孔完全相疊或實施與此相反的運動。實際上的密封那么可通過彈性的密封件或其可充氣的腔的充氣而實現，由此最終達到關閉的位置，而關閉機構對此不必實施例如在朝向支座面的方向上的附加的運動。該支座面通常用作基體或者關閉機構的密封面，密封件以它的密封面對該密封面密封。在本專利技術的說明的過程中，當在該腔中在關閉通孔之后可建立處于環境壓力之下的壓力時，提及低壓腔。當該低壓為10_2mbar (毫巴)和在此之下尤其為10_3mbar和在此之下時，提及真空腔。優選的設計形式設置成，密封件一件式地來構造。在該意義中，當密封件的所有壁一件式地相互連接時，尤其也是有利的。尤其為了達到所需要的彈性，密封件或其壁可具有至少一個彈性體或者完全由一個或不同的彈性體構成。合適的彈性體例如是氟橡膠(FKM) 或碳氟橡膠或者全氟橡膠(FFKM)或本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】2010.01.28 AT A110/20101.一種用于關閉低壓腔或真空腔的腔壁中的開口的裝置，其具有 -至少一個可移動地支承的關閉機構(I)和 -帶有通孔(3)和至少一個包圍所述通孔(3)的支座面(4)的至少一個基體(2)，其中，所述通孔(3)能夠帶到與所述腔壁中的所述開口相疊或者處于相疊，和 -所述關閉機構(I)的至少一個打開的位置，在其中所述通孔(3)由所述關閉機構(I)開啟；和所述關閉機構⑴的至少一個關閉的位置，在其中所述通孔⑶在使用所述關閉機構(I)的情況下完全關閉，和 -帶有至少一個可充氣的腔￠)的至少一個彈性的密封件(5)，其中，所述密封件(5)在關閉的位置中布置在所述關閉機構(I)與所述支座面(4)之間并且將所述關閉機構(I)對所述支座面(4)密封， 其特征在于， 除了所述可充氣的腔(6)之外，所述彈性的密封件(5)具有用于在所述可充氣的腔(6)中泄漏的情況中容納來自所述可充氣的腔(6)的流體的至少一個安全腔(7)。2.根據權利要求I所述的裝置，其特征在于，所述可充氣的腔(6)通過所述密封件(5)的至少一個間壁(8)與所述至少一個安全腔(7)分離。3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述可充氣的腔(6)由所述間壁⑶和所述密封件(5)的其它的壁(12，14)包圍，并且所述間壁⑶比其它的壁(12，14)至少局部更弱地并且/或者更薄地來構造。4.根...
【專利技術屬性】
技術研發人員：B迪利，
申請(專利權)人：VAT控股公司，
類型：發明
國別省市：
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