PECVD載板導軌制造技術

本發明專利技術涉及一種用于光伏行業的PECVD載板導軌，包括長方體形狀的導軌本體，所述導軌本體的材料為不銹鋼，直接固定在載板上，所述導軌本體沿長度方向的上下兩個平面上開有貫穿的多個螺絲孔，所述導軌本體沿長度方向的左右兩個側面上開有多個凹槽。本發明專利技術直接固定在載板上，為一體式導軌，提高了導軌本身的精度與導軌的安裝精度；導軌材料采用不銹鋼，大幅提高了壽命和導軌的維護成本；導軌兩側面加工的凹槽可降低導軌的重量。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及光伏行業的電池片鍍膜設備，具體地說是一種用于板式PECVD(等離子增強化學氣相沉積)的載板導軌。
技術介紹
C/C復合載板是板式PECVD中承載電池片的重要工藝裝備。如圖I所示，載板I在設備上的循環運動是通過固定在載板底下的石墨墊片2與C/C復合導軌3來實現的，C/C復合載板I、石墨墊片2、C/C復合導軌3三者是通過螺絲螺母完 成緊固的。運動時，C/C復合導軌3置于設備的滾輪上，滾輪轉動時通過摩擦將動力提供給C/C復合導軌3并使C/C復合載板I完成在設備上的循環運動。此導軌3由于中間安裝一個石墨墊片2，石墨墊片2與C/C復合導軌3的安裝會累積安裝誤差，使得導軌3安裝精度降低；另外，設備上的滾輪為不銹鋼材料，在運動過程中容易對C/C復合導軌3產生磨損，大幅降低了導軌3的使用壽命和維護周期。
技術實現思路
本專利技術針對上述問題，提供一種PECVD載板導軌，該導軌安裝精度高，并且使用壽命長。按照本專利技術的技術方案一種PECVD載板導軌，包括長方體形狀的導軌本體，所述導軌本體的材料為不銹鋼，直接固定在載板上，所述導軌本體沿長度方向的上下兩個平面上開有貫穿的多個螺絲孔，所述導軌本體沿長度方向的左右兩個側面上開有多個凹槽。每個所述凹槽分別位于相鄰的兩個所述螺絲孔之間。所述多個螺絲孔均布在所述導軌本體上。所述凹槽的長度小于所述螺絲孔的間距。所述導軌本體兩側的所述凹槽沿多個所述螺絲孔軸線所在的面對稱分布。本專利技術的技術效果在于本專利技術直接固定在載板上，為一體式導軌，提高了導軌本身的精度與導軌的安裝精度；導軌材料采用不銹鋼，大幅提高了壽命和導軌的維護成本；導軌兩側面加工的凹槽可降低導軌的重量。附圖說明圖I為現有技術中的導軌的結構示意圖。圖2為本專利技術的立體結構示意圖。圖3為圖2中的A-A剖視圖。具體實施例方式下面結合附圖對本專利技術的具體實施方式作進一步的說明。圖廣圖3中，包括C/C復合載板I、石墨墊片2、C/C復合導軌3、導軌本體4、螺絲孔5、凹槽6等。如圖2所示，本專利技術是一種PECVD載板導軌，包括長方體形狀的導軌本體4，導軌本體4的材料為不銹鋼，直接固定在C/C復合載板I上，導軌本體4的高度H為傳統載板的C/C復合導軌3與石墨墊片2的高度之和。導軌本體4沿長度方向的上下兩個平面上開有貫穿的多個螺絲孔5，多個螺絲孔5均布在導軌本體4上。由于不銹鋼導軌的重量比C/C復合材料導軌的重量重，因此在導軌本體4沿長度方向的左右兩個側面上開有多個凹槽6。每個凹槽6分別位于相鄰的兩個螺絲孔5之間，凹槽6的長度L2小于螺絲孔5的間距LI。如圖3所示，導軌本體4兩側的凹槽6沿多個螺絲孔5軸線所在的面對稱分布。本專利技術將現有技術中的C/C復合導軌與石墨墊片組合的方式，變為一體式導軌，因此加工制造無累積誤差，安裝過程中減低了誤差積累，提高了導軌本身的精度與導軌的安裝精度；本專利技術采用優質合金不銹鋼替代原C/C復合材料，大幅提高了壽命和導軌的維 護成本；本專利技術在導軌兩側面加工的凹槽可降低導軌的重量。本文檔來自技高網...

【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種PECVD載板導軌，包括長方體形狀的導軌本體(4)，其特征是所述導軌本體(4)的材料為不銹鋼，直接固定在載板(I)上，所述導軌本體(4)沿長度方向的上下兩個平面上開有貫穿的多個螺絲孔(5)，所述導軌本體(4)沿長度方向的左右兩個側面上開有多個凹槽(6)。2.按照權利要求I所述的PECVD載板導軌，其特征是每個所述凹槽(6)分別位于相鄰的兩個所述螺絲孔...

【專利技術屬性】
技術研發人員：尤耀明，代寧，
申請(專利權)人：無錫綠波新能源設備有限公司，
類型：發明
國別省市：