【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】
本專利技術(shù)涉及含有具有三嗪骨架的多官能環(huán)氧化合物作為交聯(lián)劑的正型抗蝕劑組合物。該組合物特別適合于用作平坦化膜和微透鏡材料。
技術(shù)介紹
電荷耦合元件(CXD)等攝像元件用微透鏡能夠主要通過微細(xì)的圖案形成來制作高精細(xì)的攝像元件，該微細(xì)圖案使用光致抗蝕劑來制作。具體而言，通過將包含高分子樹脂和感光劑的抗蝕劑組合物涂布在基板上制膜后，用光刻法進(jìn)行圖案形成，顯影，從而形成一個圖案，制作出微透鏡。因此，要求用作微透鏡材料的抗蝕劑組合物為高靈敏度，圖案形成能力優(yōu)異。此外，由于所形成的透鏡圖案在釬焊エ序中暴露于高溫條件下，因此還要求上述抗蝕劑組合物具有形成的透鏡圖案所需的曲率半徑，耐熱性、透明性高。 作為上述要求的特性中重要的特性之一，可舉出靈敏度。靈敏度的提高關(guān)系到エ業(yè)生產(chǎn)中生產(chǎn)時間的縮短，在近來的攝像元件的需要大幅度提高的現(xiàn)在，成為非常重要的特性之一。此外，在靈敏度不充分的情況下，不能將所需的圖案析像，不能形成良好的透鏡形狀。也能夠通過提高材料中的聚合物在堿性顯影液中的溶解性來提高靈敏度，但由于變更聚合物的組成對于折射率、吸濕性等其它特性的影響大，因此有限制。此外，作為與靈敏度一起在微透鏡材料中要求的重要特性，可舉出透明性和耐熱性。通常，具有微透鏡的照像機(jī)等的模塊被安裝在置有電子電路的基板上。該安裝中，以往使用了含有鉛的焊料，但由于鉛對人體和環(huán)境是有害的，因此近年來，提倡使用不含鉛的無鉛焊料。使用除了鉛以外的金屬的無鉛焊料與含有鉛的焊料相比熔點高。因此，在安裝エ序中，使用無鉛焊料的情況與使用含有鉛的焊料的情況相比需要高溫度下的加熱處理。此時，對于耐熱性不充分的材料而...
【技術(shù)保護(hù)點】
【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】2010.01.26 JP 014505/20101.ー種正型抗蝕劑組合物，其包含下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分 (A)成分堿溶性聚合物； (B)成分具有進(jìn)行光分解而產(chǎn)生堿溶性基團(tuán)的有機(jī)基團(tuán)的化合物； (C)成分式(I)所示的交聯(lián)性化合物，2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的正型抗蝕劑組合物，(A)成分的堿溶性聚合物為在重復(fù)單元中包含羥基、羧基、或它們的組合的聚合物。3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的正型抗蝕劑組合物，(A)成分的堿溶性聚合物為具有羥基、羧基、或它們的組合的単體與具有疏水性基團(tuán)的單體的共聚物。4.根據(jù)權(quán)利要求I 3的任一項所述的正型抗蝕劑組合物，(B)成分為具有式(4)所示結(jié)構(gòu)的化合物，5....
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：湯川升志郎，荒瀨慎哉，武山敏明，遠(yuǎn)藤勇樹，毛呂健夫，
申請(專利權(quán))人：日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)株式會社，
類型：發(fā)明
國別省市：
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