硼擴散用爐管的清洗方法技術

本發明專利技術公開了一種硼擴散用爐管的清洗方法。該方法包括以下步驟：1）按體積比75:1~1:1向硼擴散用爐管中通入氮氣和攜源氮氣，持續30分鐘以上，其中，攜源氮氣中攜帶有純水蒸氣；2）停止通入氮氣和攜源氮氣，完成清洗。應用本發明專利技術的技術方案，在不改變爐管結構的情況下，采用純水蒸氣對爐管進行清洗。因為BSG（硼硅玻璃）極易溶于水，因此采用純水蒸氣很容易就可以將爐管清洗干凈，清洗過程中產生廢物可以隨尾氣管排出。總之，本發明專利技術的技術方案簡單實用，不必更改設備結構，就能達到清洗爐管，提高擴散質量，延長石英器件壽命的目的。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及太陽能電池制備
，具體而言，涉及一種。
技術介紹
太陽能電池是通過光電效應直接把光能轉化成電能的裝置，常規太陽能電池主要工藝流程為制絨、擴散、濕法刻蝕、減反射膜的沉積、絲網印刷和燒結。由于基體襯底摻雜不同分為P型太陽電池和N型太陽電池。有N型半導體硅片(基體)制作的太陽電池稱為N型太陽電池，要形成PN結，擴散源通常使用三溴化硼(液態)中的硼，擴散至硅片內部形成P型半導體。太陽能電池硼擴散(三溴化硼液態源管式擴散)工藝過程中，會產生副產物BSG (硼·硅玻璃)，BSG會附著在石英爐管、石英爐門和石英舟表面，從而影響擴散效果。而且BSG積累到一定程度，在高溫擴散過程中變成液態，流動到爐管爐門位置，工藝結束后降溫至800°C左右時，還會凝固成固體將爐管和爐門沾到一起，致使石英器件損壞，必須更換爐管。
技術實現思路
本專利技術旨在提供一種，以解決現有技術中太陽能電池硼擴散工藝過程中產生的副產物BSG會影響擴散效果及致使石英器件損壞的技術問題。為了實現上述目的，根據本專利技術的一個方面，提供了一種。該方法包括以下步驟1)按體積比75:廣1:1向硼擴散用爐管中通入氮氣和攜源氮氣，持續30分鐘以上，其中，攜源氮氣中攜帶有純水蒸氣；2)停止通入氮氣和攜源氮氣，完成清洗。進一步地，步驟I)包括將爐管內的溫度升至86(T960°C，將攜帶有純水蒸氣的攜源氮氣通入爐管對爐管進行清洗。進一步地，攜帶有純水蒸氣的攜源氮氣的通入流量為0. 2 5slm。進一步地，步驟I)之前進一步包括將硼擴散源瓶換成純水源瓶或外接設置純水源瓶，將氮氣通入純水源瓶形成攜源氮氣。進一步地，控制純水源瓶內的水溫在15 30°C。進一步地，步驟I)是在將擴散爐的爐門關閉的條件下將爐管內的溫度連續升至860 960。。。進一步地，在步驟I)的升溫過程中，爐管內保持氮氣氣氛。進一步地,控制步驟I)的時間在30 180min。進一步地，步驟2)之后進一步包括待爐管內的溫度降至750°C 850°C，通入氮氣吹掃爐管。進一步地，每3 30天對爐管進行清洗一次。應用本專利技術的技術方案，在不改變爐管結構的情況下，采用純水蒸氣對爐管進行清洗。因為BSG (硼硅玻璃)極易溶于水，因此采用純水蒸氣很容易就可以將爐管清洗干凈，清洗過程中產生廢物可以隨尾氣管排出。總之，本專利技術的技術方案簡單實用，不必更改設備結構，就能達到清洗爐管，提高擴散質量，延長石英器件壽命的目的。具體實施例方式需要說明的是，在不沖突的情況下，本專利技術中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將結合實施例來詳細說明本專利技術。現在技術沒有，本專利技術的專利技術人在硼擴散生產過程中發現純水會與產生的硼硅玻璃劇烈反應，將硼硅玻璃溶解，所以想到使用純水清洗爐管，在生產中摸索出硼擴散用爐管清洗的方法。根據本專利技術一種典型的實施方式，包括以下步驟1)按體積比75:廣1:1向硼擴散用爐管中通入氮氣和攜源氮氣，持續30分鐘以上，其中，攜源氮氣中攜帶有純水蒸氣；2)停止通入氮氣和攜源氮氣，完成清洗。應用本專利技術的技術方案，在 不改變爐管結構的情況下，采用純水蒸氣對爐管進行清洗。因為BSG (硼硅玻璃)極易溶于水，因此采用純水蒸氣很容易就可以將爐管清洗干凈，清洗過程中產生廢物隨尾可以氣管排出。總之，本專利技術的技術方案簡單實用，不必更改設備結構，就能達到清洗爐管，提高擴散質量，延長石英器件壽命的目的。本專利技術中的“純水”是指蒸餾水或去離子水，這樣可以防止雜質進入爐管造成不必要的損失。優選地，步驟I)包括將爐管內的溫度升至86(T960°C，將攜帶有純水蒸氣的攜源氮氣通入爐管對爐管進行清洗。因為，86(T960°C時水可以與BSG發生劇烈反應，因此采用這種操作方法及其方便。優選地，攜帶有純水蒸氣的攜源氮氣的通入流量為0.2 5slm。便于水蒸氣與BSG充分反應后，能夠隨氮氣排出爐管。根據本專利技術一種典型的實施方式，步驟I)之前進一步包括將硼擴散源瓶換成純水源瓶或外接設置純水源瓶，將氮氣通入純水源瓶形成攜源氮氣。優選為將硼擴散源瓶換成同型號的純水源瓶，因為通常硼擴散源瓶的放置位置上設置有精確的溫控裝置，便于源瓶溫度的控制。優選地，控制純水源瓶內的水溫在15 30°C，進一步優選地是20°C，防止源瓶溫度與室溫差距較大，產生冷凝水。優選地，步驟I)是在將擴散爐的爐門關閉的條件下將爐管內的溫度連續升至86(T960°C。在此溫度條件下，便于水與BSG快速反應，又不至于損壞設備。優選地，爐管內的溫度連續升至86(T960°C。優選地，在步驟I)的升溫過程中，爐管內保持氮氣氣氛，即保持本領域正常生產過程中氮氣的正常通入。優選地，控制步驟I)的時間在3(Tl80min。優選地，步驟2)之后進一步包括將爐管內的溫度降至75(T850°C，通入氮氣吹掃爐管，以清除爐管中的純水蒸氣，防止在后續的生產過程中水蒸氣與三溴化硼的劇烈反應，影響擴散效果。優選地，每3 30天對爐管進行清洗一次。實施例II)將爐管內的溫度升至860°C，按體積比75:1向硼擴散用爐管中通入氮氣和攜源氮氣，持續30分鐘以上，其中，攜源氮氣中攜帶有純水蒸氣，控制純水源瓶內的水溫在15°C;攜帶有純水蒸氣的氮氣的通入流量為0. 2slm ；2)停止氮氣和攜源氮氣通入爐管，將爐管內的溫度降至750°C。實施例2I)將爐管內的溫度升至960°C，按體積比1:1向硼擴散用爐管中通入氮氣和攜源氮氣，持續30分鐘以上，其中，攜源氮氣中攜帶有純水蒸氣，控制純水源瓶內的水溫在30°C ；攜帶有純水蒸氣的氮氣的通入流量為5slm ；2)停止氮氣和攜源氮氣通入爐管，將爐管內的溫度降至850°C。實施例3I)將爐管內的溫度升至900°C，按體積比50:1向硼擴散用爐管中通入氮氣和攜源氮氣，持續180分鐘以上，其中，攜源氮氣中攜帶有純水蒸氣，控制純水源瓶內的水溫在·200C ;攜帶有純水蒸氣的氮氣的通入流量為0. 3slm ；2)停止氮氣和攜源氮氣通入爐管，將爐管內的溫度降至800°C。通過上述實施例f 3，均能較好的清洗硼擴散用爐管。綜上，采用本專利技術的技術方案具備以下有益效果I)不用改造設備即可實現硼擴散用爐管的在線純水清洗；2)本專利技術，與硼擴散工藝接近，只通過更改工藝參數，就可以將爐管清洗干凈；3)本專利技術優點可以利用設備自帶源溫控制器，控制純水源溫度；4)本專利技術可通過控制攜源氮氣流量及時間，精確設定純水進入爐管用量。以上所述僅為本專利技術的優選實施例而已，并不用于限制本專利技術，對于本領域的技術人員來說，本專利技術可以有各種更改和變化。凡在本專利技術的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本專利技術的保護范圍之內。權利要求1.一種，其特征在于，包括以下步驟 1)按體積比75:f 1:1向硼擴散用爐管中通入氮氣和攜源氮氣，持續30分鐘以上，其中，所述攜源氮氣中攜帶有純水蒸氣； 2)停止通入所述氮氣和攜源氮氣，完成清洗。2.根據權利要求I所述的清洗方法，其特征在于，所述步驟I)包括 將所述爐管內的溫度升至86(T960°C，將攜帶有純水蒸氣的攜源氮氣通入所述爐管對所述爐管進行清洗。3.根據權利要求2所述的清洗方法，其特征在于，所述攜帶有純水蒸氣的攜源氮氣的通入流量為0. 2 5slm。4.根據本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種硼擴散用爐管的清洗方法，其特征在于，包括以下步驟：1）按體積比75:1~1:1向硼擴散用爐管中通入氮氣和攜源氮氣，持續30分鐘以上，其中，所述攜源氮氣中攜帶有純水蒸氣；2）停止通入所述氮氣和攜源氮氣，完成清洗。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：崔景光，劉旭，寇繼成，王海亮，
申請(專利權)人：英利能源中國有限公司，
類型：發明
國別省市：