一種防微震系統(tǒng)技術(shù)方案

本實用新型專利技術(shù)提供一種防微震系統(tǒng)，其包括一個或多個防微震單元，每個防微震單元包括振動源實時信息采集模塊、防震臺控制模塊、減震器以及防震臺，所述振動源實時信息采集模塊用于實時采集一個外部振動源的振動源信息，并將所述振動源信息輸出；所述防震臺控制模塊用于接收所述振動源信息，并據(jù)此發(fā)出相應(yīng)的控制指令至減震器，以實時控制與防震臺相連的減震器做出相應(yīng)動作，調(diào)節(jié)防震臺的防震狀態(tài)，使防震臺處于最佳防震狀態(tài)。本實用新型專利技術(shù)所述防微震系統(tǒng)可針對一個或多個外部振動源進(jìn)行實時、主動調(diào)節(jié)，改變了以往防震系統(tǒng)的被動防震方式，最大限度的發(fā)揮了所述防微震系統(tǒng)的防震作用。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)屬于防微震
，具體涉及ー種防微震系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
在エ業(yè)生產(chǎn)過程中，特別是精密器件生產(chǎn)過程中，以及精密儀器進(jìn)行高精度測試測量時，振動對生產(chǎn)設(shè)備以及測量儀器的加工精度、靈敏度的影響是巨大的。尤其是存在外部振動源時，由于外部振動源的移動位置、速度、加速度、載重、實時沖量與振動頻率等振動源信息具有隨機性和不確定性，而現(xiàn)有的防微震設(shè)備對這些振動源信息無法實時采取針對性防微震措施，也無法發(fā)揮其防微震的最佳效能，防微震的效果很不理想。在專利號為US6213443，名稱為“防震裝置以及采用該防震裝置的曝光裝置(Anti__vibration apparatus and exposure apparatus using tne same)，，白勺矛1J 中 請所公開的技術(shù)方案中，提出一種通過自身反饋系統(tǒng)來減少自身振動影響的防震裝置。該防震裝置只能對需要防震的設(shè)備自身產(chǎn)生的振動進(jìn)行反饋調(diào)節(jié)，減小該設(shè)備自身振動對其的影響，而對外部振動源引起的振動并沒有較好的主動應(yīng)對效果。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是針對現(xiàn)有技術(shù)中所存在的上述缺陷，提供ー種能夠主動應(yīng)對外部振動源引起的振動的防微震系統(tǒng)。解決本技術(shù)技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是所述防微震系統(tǒng)包括ー個或多個防微震単元，每個防微震単元包括振動源實時信息采集模塊、防震臺控制模塊、減震器以及防震臺，所述振動源實時信息采集模塊用于實時采集ー個外部振動源的振動源信息，并將所述振動源信息輸出；所述防震臺控制模塊用于接收所述振動源信息，并據(jù)此發(fā)出相應(yīng)的控制指令至減震器，以實時控制與防震臺相連的減震器做出相應(yīng)動作，調(diào)節(jié)防震臺的防震狀態(tài)。優(yōu)選的是，所述每個防微震單元還包括振動源無線記錄模塊和防震臺無線讀取模塊，所述振動源無線記錄模塊用于實時記錄所述振動源信息，并通過無線的方式將其實時傳輸；所述防震臺無線讀取模塊用于通過無線的方式實時接收并讀取所述振動源無線記錄模塊記錄的振動源信息，再將其實時傳輸至防震臺控制模塊。優(yōu)選的是，所述振動源無線記錄模塊與防震臺無線讀取模塊之間的無線數(shù)據(jù)傳輸方式采用RFID方式、ZigBee方式、Wi-Fi方式或藍(lán)牙方式。進(jìn)ー步優(yōu)選的是，所述振動源無線記錄模塊采用RFID記錄器，所述防震臺無線讀取模塊采用RFID讀取器。更進(jìn)ー步優(yōu)選的是，所述RFID記錄器與RFID讀取器均采用以電感耦合的方式進(jìn)行工作的低頻段RFID，其工作頻率為120KHz 134KHz ;或者，所述RFID記錄器與RFID讀取器均采用以負(fù)載調(diào)制的方式進(jìn)行工作的高頻段RFID，其工作頻率為13. 56MHz ;或者，所述RFID記錄器與RFID讀取器均采用以電磁波的方式進(jìn)行工作的超高頻率RFID，其工作頻率為 860MHz 960MHz。優(yōu)選的是，所述每個防微震單元還包括振動源信號傳輸模塊和防震臺信號傳輸模塊，所述振動源信號傳輸模塊用于將振動源實時信息采集模塊實時采集的振動源信息傳輸至振動源無線記錄模塊；所述防震臺信號傳輸模塊用于將防震臺無線讀取模塊實時讀取的振動源信息傳輸至防震臺控制模塊。進(jìn)ー步優(yōu)選的是，所述振動源信號傳輸模塊及防震臺信號傳輸模塊均采用信號傳輸線。 優(yōu)選的是，所述減震器采用空氣彈簧驅(qū)動器或液壓減震器。優(yōu)選的是，所述ー個外部振動源的振動源信息包括有多組。進(jìn)ー步優(yōu)選的是，所述多組振動源信息包括所述移動振動源的移動位置、速度、カロ速度、載重、實時沖量或振動頻率信息。有益效果本技術(shù)所述防微震系統(tǒng)可包含ー個或多個防微震単元，其中每個防微震単元均可針對ー個外部振動源的移動位置、速度、加速度、載重、實時沖量以及振動頻率信息等多組振動源信息實時、主動的調(diào)節(jié)與防震臺相連接的減震器，從而使防震臺處于最佳防震狀態(tài)。也就是說，所述防微震系統(tǒng)不僅可針對ー個移動振動源進(jìn)行實時、主動的調(diào)節(jié)，還可用于多個移動振動源集群，即同時針對多個外部振動源進(jìn)行實時、主動的調(diào)節(jié)，其改變了以往防震系統(tǒng)的被動防震方式，所述防微震系統(tǒng)應(yīng)用于精密器件的生產(chǎn)或測量過程中，能夠有效提高精密器件的加工精度與靈敏度等，最大限度的發(fā)揮了其防震作用。所述防微震系統(tǒng)可采用RFID (Radio Frequency Identif ication,無線射頻識別)技木，以實現(xiàn)對情況較為復(fù)雜的多點(多移動振動源集群)、非固定的震源信息的實時記錄與實時讀取。所述防微震系統(tǒng)還可與現(xiàn)有的自身設(shè)備振動反饋防微震系統(tǒng)結(jié)合，以取得更好的綜合防震效果。附圖說明圖I為本技術(shù)實施例I中防微震單元的結(jié)構(gòu)組成示意圖。具體實施方式為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本技術(shù)的技術(shù)方案，以下結(jié)合附圖和具體實施方式對本技術(shù)防微震系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)描述。實施例I :本實施例中，所述防微震系統(tǒng)包括多個防微震単元，如圖I所示，其中每個防微震単元均包括振動源實時信息采集模塊、振動源信號傳輸模塊、振動源無線記錄模塊、防震臺無線讀取模塊、防震臺信號傳輸模塊、防震臺控制模塊、減震器以及防震臺。所述振動源實時信息采集模塊用于實時采集ー個外部振動源的多組振動源信息，并將所述多組振動源信息通過振動源信號傳輸模塊傳輸至振動源無線記錄模塊。其中，所述ー個外部振動源的多組振動源信息包括所述移動振動源的移動位置、速度、加速度、載重、實時沖量或振動頻率信息等。所述振動源實時信息采集模塊可采用現(xiàn)有的模塊，如采用DAM3057或EM200等。優(yōu)選所述振動源信號傳輸模塊米用信號傳輸線進(jìn)行信息傳輸。所述振動源無線記錄模塊用于實時記錄所述多組振動源信息，并通過無線的方式將所述多組振動源信息實時傳輸至防震臺無線讀取模塊。優(yōu)選所述振動源無線記錄模塊采用RFID記錄器，所述防震臺無線讀取模塊采用RFID讀取器，即所述振動源無線記錄模塊與防震臺無線讀取模塊之間的無線數(shù)據(jù)傳輸方式采用RFID技木。所述RFID記錄器與RFID讀取器的工作頻率可根據(jù)其實際工作環(huán)境進(jìn)行選擇，具體的，所述RFID記錄器與RFID讀取器 的工作頻率為120KHz 134KHz時，均采用電感耦合的方式進(jìn)行工作的低頻段RFID，此種類 型的RFID較適用于近距離、低速率的數(shù)據(jù)傳輸；所述RFID記錄器與RFID讀取器的工作頻率為13. 56MHz時，均采用負(fù)載調(diào)制的方式進(jìn)行工作的高頻段RFID，此種類型的RFID較適用于近距離、較高速率的數(shù)據(jù)傳輸；所述RFID記錄器與RFID讀取器的工作頻率為860MHz 960MHz時，均采用電磁波的方式進(jìn)行工作的超高頻率RFID，此種類型的RFID較適用于遠(yuǎn)距離、高速率的數(shù)據(jù)傳輸。所述防震臺無線讀取模塊用于通過無線的方式實時接收并讀取所述振動源無線記錄模塊記錄的多組振動源信息，并通過防震臺信號傳輸模塊將所述多組振動源信息實時傳輸至防震臺控制模塊。所述防震臺控制模塊可采用現(xiàn)有的模塊，如采用H3C5800模塊或YCJSC0N-12PC模塊等。優(yōu)選所述防震臺信號傳輸模塊采用信號傳輸線進(jìn)行信息傳輸。所述防震臺控制模塊用于根據(jù)防震臺無線讀取模塊實時讀取的多組振動源信息發(fā)出對應(yīng)指令至減震器，以實時控制與防震臺相連的減震器做出相應(yīng)動作，調(diào)節(jié)防震臺的防震狀態(tài)，使防震臺處于最佳防震狀態(tài)。所述減震器可根據(jù)實際需求采用空氣彈簧驅(qū)動器或液壓減震器等多種減震器件。實施例2 本實施例與實施例I的區(qū)別在本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點】
一種防微震系統(tǒng)，其特征在于，包括一個或多個防微震單元，每個防微震單元包括振動源實時信息采集模塊、防震臺控制模塊、減震器以及防震臺，所述振動源實時信息采集模塊用于實時采集一個外部振動源的振動源信息，并將所述振動源信息輸出；所述防震臺控制模塊用于接收所述振動源信息，并據(jù)此發(fā)出相應(yīng)的控制指令至減震器，以實時控制與防震臺相連的減震器做出相應(yīng)動作，調(diào)節(jié)防震臺的防震狀態(tài)。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：徐濤，
申請(專利權(quán))人：京東方科技集團(tuán)股份有限公司，北京京東方顯示技術(shù)有限公司，
類型：實用新型
國別省市：