本實用新型專利技術公開了一種超純水取樣器,裝載瓶體兩端形成的具有倒喇叭口狀結構的第一瓶頸和第二瓶頸,而導入管的內端與導出管的內端分別密封于第一瓶頸的外端口和第二瓶頸的外端口。由于第一瓶頸和第二瓶頸具有的倒喇叭口狀結構能夠避免第一瓶頸與取樣瓶主體的交接處、及第二瓶頸與取樣瓶主體交接處對超純水的流動產生阻礙,避免在這兩處形成超純水的沖刷死角區域;而且由于導入管和導出管分別設置于裝載瓶體的兩端,由導入管導入裝載腔的超純水流向不變,直接沿原流向流動即可流向導出管的內端口處,從而使得超純水在沖刷取樣瓶主體的裝載腔時具有更強的沖洗力,能夠方便地對取樣瓶主體的裝載腔進行沖洗,從而節省超純水取樣操作時間和超純水資源。(*該技術在2022年保護過期,可自由使用*)
【技術實現步驟摘要】
本實用 新型涉及液晶面板以及半導體生產加工中超純水生產使用器具
,特別涉及一種超純水取樣器。
技術介紹
超純水,是一種純度極高的水,在目前的液晶生產中和半導體生產中廣泛用到超純水。在超純水的生產和使用環節,需要對超純水的水質進行取樣檢測,檢測內容包括超純水的電阻率以及細菌、顆粒、超微量元素含量等,超純水的純度和微量不純物都需要控制在極低的范圍(PPb以下),超過規范的超純水會對產品的良率造成不可預期的影響。空氣中存在的懸浮顆粒、離子、有機顆粒等會是影響超純水純度和微量不純物的重要因素,甚至在100級的潔凈室內也存在上述的粒子;因此,超純水取樣時,需要極力避免空氣中的粒子對超純水的水樣造成影響,以免影響超純水檢測的準確性。因此,在超純水的生產使用過程中,超純水的檢測取樣需要使用專門的取樣器進行取樣,如圖I所示,圖I為現有技術中使用的超純水取樣器的結構示意圖。超純水取樣器包括具有裝載腔的取樣瓶1,取樣瓶I的開口端設置有密封蓋2,密封蓋2通過旋緊的方式與取樣瓶I的開口密封配合;密封蓋2上設置有一端伸入取樣瓶I的裝載腔底部的輸入管3,和內端位于裝載腔頂端的輸出管4 ;輸入管3上設置有第一控制閥5,輸出管4上設置有第二控制閥6。在超純水取樣器取樣時,將第一控制閥5和第二控制閥6打開,且將輸入管3的輸入端與超純水存儲設備的輸出接口 7聯通,輸出管4的排水端與排水管8的排水接口連通;超純水9通過輸入管3流入取樣瓶I的裝載腔,取樣瓶I中的氣體通過輸出管4流出;當取樣瓶I的裝載腔充滿超純水9時,繼續向取樣瓶I的裝載腔充入超純水9,部分超純水9通過輸出管4流出取樣瓶1,以實現對取樣瓶I裝載腔的沖刷。現有技術中的超純水取樣器中,在對其取樣瓶I的裝載腔進行沖刷,以便將裝載腔中的空氣等雜質排出裝載腔時,由于密封蓋2與取樣瓶I之間采用旋緊的方式密封配合,密封蓋2與取樣瓶I之間存在配合間隙,超純水9很難將配合間隙中的雜質徹底清除;而且,取樣瓶I的開口直徑較大,而輸出管4內端的直徑較小,且取樣瓶I的側壁與密封蓋2的交接處為直角,從而導致取樣瓶I的開口與密封蓋2之間存在超純水9的沖刷死角區域D ;死角區域D如圖I中所示;若輸出管4輸出超純水9的速率較慢,則輸出管4處超純水9的流動很難影響到距離輸出管4內端較遠的沖刷死角區域D內的超純水9,因此沖刷死角區域D內的超純水9內的超純水9流動緩慢,其直角殘留的顆粒粒子不易沖刷;若輸出管4輸出超純水9的速率較快,則輸出管4處超純水9的流動會導致距離輸出管4內端較遠的沖刷死角區域D內的超純水9形成渦流,渦流內具有雜質的超純水9很難進入輸出管4。因此,由于沖刷死角區域D的存在,使用現有技術中的超純水取樣器進行取樣時,需要經過很長時間的沖洗才能滿足對取樣瓶主體的裝載腔的沖洗需求,不僅需要大量的操作時間,同時還浪費了大量的超純水資源,不利于對取樣瓶I裝載腔的徹底清洗。因此,如何提供一種能夠方便地對取樣瓶主體的裝載腔進行沖洗的超純水取樣器,以節省超純水取樣操作時間和超純水資源,是本領域技術人員需要解決的技術問題。
技術實現思路
本技術實施例提供一種超純水取樣器,該超純水取樣器能夠方便地對取樣瓶主體的裝載腔進行沖洗,從而節省超純水取樣操作時間和超純水資源。為達到上述目的,本技術提供以下技術方案一種超純水取樣器,包括取樣瓶主體、導入管以及導出管;所述取樣瓶主體內形成裝載腔,所述導入管和導出管均與所述裝載腔連通;所述取樣瓶主體第一端的尺寸沿遠離所述取樣瓶主體第二端的方向逐漸縮小,形成具有倒喇叭口狀結構的第一瓶頸;所述導入管的內端口密封于所述第一瓶頸的外端口 ;所述取樣瓶主體第二端的尺寸沿遠離所述取樣瓶主體第一端的方向逐漸縮小,形成具有倒喇叭口狀結構的第二瓶頸;所述導出管的內端口密封于所述第二瓶頸的外端口 ;所述導入管上設置有第一控制閥門,所述導出管上設置有第二控制閥門。優選地,所述取樣瓶主體與所述第一瓶頸和第二瓶頸形成橄欖狀結構。優選地,所述取樣瓶主體為圓柱狀。優選地,所述第二瓶頸內壁與所述取樣瓶主體的內壁之間的形成的夾角大于150。。優選地,所述第一瓶頸內壁與所述取樣瓶主體內壁的交接處具有圓弧狀結構;所述第二瓶頸內壁與所述取樣瓶主體內壁的交接處具有圓弧狀結構。優選地,所述導入管的內端口與所述第一瓶頸外端口內壁的交接處具有圓弧狀結構;所述導出管的內端口與所述第二瓶頸外端口內壁的交接處具有圓弧狀結構。優選地,所述導出管與所述第二瓶頸具有一體式結構。優選地,所述導入管與所述第一瓶頸具有一體式結構。本技術提供的超純水取樣器,包括取樣瓶主體、導入管以及導出管;所述取樣瓶主體內形成裝載腔,所述導入管和導出管均與所述裝載腔連通;所述取樣瓶主體第一端的尺寸沿遠離所述取樣瓶主體第二端的方向逐漸縮小,形成具有倒喇叭口狀結構的第一瓶頸;所述導入管的內端口密封于所述第一瓶頸的外端口 ;所述取樣瓶主體第二端的尺寸沿遠離所述取樣瓶主體第一端的方向逐漸縮小,形成具有倒喇叭口狀結構的第二瓶頸;所述導出管的內端口密封于所述第二瓶頸的外端口 ;所述導入管上設置有第一控制閥門,所述導出管上設置有第二控制閥門。在使用本技術提供的超純水取樣器取樣時,取樣瓶主體的第一端向下放置,取掉導入管外端口和導出管外端口的瓶塞,并打開導入管上的第一控制閥和導出管上的第二控制閥;將導入管的外端口與超純水儲存器的排水接口密封連通,超純水通過導入管導入取樣瓶主體的裝載腔;超純水充滿裝載腔后,繼續由導入管向裝載腔內導入超純水,對裝載腔進行沖洗;沖洗一定時間后,關閉第一控制閥和第二控制閥,斷開導入管與超純水儲存器的排水接口之間的連通,向導入管的外端口以及導出管的外端口裝上瓶塞,完成取樣。本技術提供的超純水取樣器,裝載瓶體兩端形成具有倒喇叭口狀結構的第一瓶頸和第二瓶頸,而導入管的內端與導出管的內端分別密封于第一瓶頸的外端口和第二瓶頸的外端口。由于第一瓶頸和第二瓶頸具有的倒喇叭口狀結構能夠避免第一瓶頸與取樣瓶主體的交接處、以及第二瓶頸與取樣瓶主體交接處對超純水的流動產生阻礙,避免在這兩處形成超純水的沖刷死角區域;而且,第一瓶頸與第二瓶頸分別設置于裝載瓶體的兩端,第一瓶頸與第二瓶頸分別具有的倒喇叭口狀結構不會相互干涉;因此,本技術提供的超純水取樣器不存在超純水的沖刷死角區域,而且由于導入管和導出管分別設置于裝載瓶體的兩端,由導入管導入裝載腔的超純水流向不變,直接沿原流向流動即可流向導出管的內端口處,從而使得超純水在沖刷取樣瓶主體的裝載腔時具有更強的沖洗力,能夠方便地對取樣瓶主體的裝載腔進行沖洗。所以,本技術提供的超純水取樣器能夠方便地對取樣瓶主體的裝載腔進行沖洗,從而節省超純水取樣操作時間和超純水資源。附圖說明圖I為現有技術中使用的超純水取樣器的結構示意圖; 圖2為本技術提供的超純水取樣器的沖刷原理示意圖;圖3為本技術提供的超純水取樣器的結構示意圖。具體實施方式下面將結合本技術實施例中的附圖,對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種超純水取樣器,包括取樣瓶主體、導入管以及導出管;所述取樣瓶主體內形成裝載腔,所述導入管和導出管均與所述裝載腔連通;其特征在于:所述取樣瓶主體第一端的尺寸沿遠離所述取樣瓶主體第二端的方向逐漸縮小,形成具有倒喇叭口狀結構的第一瓶頸;所述導入管的內端口密封于所述第一瓶頸的外端口;所述取樣瓶主體第二端的尺寸沿遠離所述取樣瓶主體第一端的方向逐漸縮小,形成具有倒喇叭口狀結構的第二瓶頸;所述導出管的內端口密封于所述第二瓶頸的外端口;所述導入管上設置有第一控制閥門,所述導出管上設置有第二閥門。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:王全軍,金萬石,李麗,李政良,
申請(專利權)人:北京京東方光電科技有限公司,
類型:實用新型
國別省市:
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。