工件臺制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)提出一種工件臺，包括第一承片臺、第一X向線纜、第一Y向線纜、第一Y向滑臺、第二Y向滑臺和第一線纜交換裝置。第一X向線纜的一端固定在工件臺上。第一Y向線纜的一端固定在第一承片臺上。第一Y向滑臺選擇性地連接于第一承片臺，以帶動第一承片臺沿Y向移動。第二Y向滑臺選擇性地連接于第一承片臺，以帶動第一承片臺沿Y向移動。第一線纜交換裝置連接第一X向線纜和第一Y向線纜的另一端，選擇性地跟隨第一Y向滑臺或第二Y向滑臺沿Y向運動。本發(fā)明專利技術(shù)提出的工件臺可極大地減小電纜、管路等配套設(shè)施工作過程中產(chǎn)生的擾動對工件臺運動定位精度的影響，縮短雙臺交換的時間，提高光刻生產(chǎn)效率。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及一種精密工件臺，且特別涉及一種具有線纜交換裝置的工件臺。
技術(shù)介紹
隨著超大規(guī)模集成電路器件集成度的不斷提高，光刻分辨率的不斷增強，對光刻機的特征線寬指標要求也在不斷提升，對應(yīng)的工件臺的運行速度、加速度以及精度要求也不斷提高，并且工件臺的復(fù)雜程度也在不斷提高，工件臺的運動大多數(shù)情況都是采用一系列垂向或水平向電機來驅(qū)動，并采用氣浮導(dǎo)向，傳感器檢測的系統(tǒng)。整個系統(tǒng)需要配套大量的通信線纜、功率線纜以及氣管、水管等等，以實現(xiàn)對工件臺系統(tǒng)的供電、供氣、供水以及控制等功能。在工件臺運動過程中，一些電纜、管路會跟隨工件臺作同步往復(fù)運動，由于光刻設(shè)備工件臺精度要求較高，通常要求達到納米級定位精度，這就使得電纜、管路等在隨工件臺一起運動時對平臺產(chǎn)生的擾動力不可忽略。隨著光刻技術(shù)的發(fā)展，工件臺的運動定位精度也越來越高，其復(fù)雜程度也不斷提高，配套的管線設(shè)施也不斷增加，尤其對于雙工件臺系統(tǒng)，在提升光刻生產(chǎn)率的同時，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)變得更加復(fù)雜，對應(yīng)的線纜、管路的數(shù)量更多，由于承片臺結(jié)構(gòu)緊湊，內(nèi)部空間有限，且零部件密集程度較高，管線易與框架、工件臺其他部件等產(chǎn)生接觸摩擦，產(chǎn)生非線性摩擦力，進而影響工件臺系統(tǒng)的運動定位精度。此外，管線長時間與其他部件接觸、摩擦，會導(dǎo)致管線斷裂，影響整個工件臺系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。再者，雙工件臺系統(tǒng)中位于測量位和曝光位的兩承片臺在工作過程中需要進行位置交換，對應(yīng)于各承片臺的電纜、管路也需要隨承片臺一起進行交換，這就需要設(shè)計特定的線纜交換裝置來完成上述工作。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本專利技術(shù)提出一種工件臺，其具有線纜交換裝置，能夠解決上述問題。為了達到上述目的，本專利技術(shù)提出一種工件臺，包括第一承片臺；第一 X向線纜，一端固定在第一承片臺上；第一 Y向線纜，一端固定在工件臺上；第一 Y向滑臺，選擇性地連接于第一承片臺，以帶動第一承片臺沿Y向移動；第二 Y向滑臺，選擇性地連接于第一承片臺，以帶動第一承片臺沿Y向移動；以及第一線纜交換裝置，連接第一 X向線纜和第一 Y向線纜的另一端，選擇性地跟隨第一 Y向滑臺或第二 Y向滑臺沿Y向運動。進一步說,工件臺還包括第二承片臺；第二 X向線纜，一端固定在第二承片臺上；第二 Y向線纜，一端固定在工件臺上；第三Y向滑臺，選擇性地連接于第二承片臺，以帶動第二承片臺沿Y向移動；第四Y向滑臺，選擇性地連接于第二承片臺，以帶動第二承片臺沿Y向移動；以及第二線纜交換裝置，連接第一 X向線纜和第一 Y向線纜的另一端，選擇性地跟隨第三Y向滑臺或第四Y向滑臺沿Y向運動。進一步說,工件臺還包括第一 X向?qū)к墸瑑啥朔謩e固定于第一 Y向滑臺和第三Y向滑臺；第一 X向滑臺，選擇性地夾持第一承片臺或第二承片臺，第一 X向滑臺可移動地設(shè)置在第一X向?qū)к壣希灰约?第二 X向?qū)к墸瑑啥朔謩e固定于第二 Y向滑臺和第四Y向滑臺；第二 X向滑臺，選擇性地夾持第一承片臺或第二承片臺，第二 X向滑臺可移動地設(shè)置在第二 X向?qū)к壣稀＿M一步說，第一線纜交換裝置包括主體,連接第一 X向線纜和第一 Y向線纜的另一端；安全掛鉤，可轉(zhuǎn)動地連接于主體；第一限位銷，固定于第一 Y向滑臺上；以及第二限位銷，固定于第二 Y向滑臺上，其中安全掛鉤選擇性地與第一限位銷或第二限位銷卡合，用以當所述第一線纜交換裝置運動控制失效時，保持所述第一線纜交換裝置與所述第一 Y向滑臺或所述第二 Y向滑臺的距離。 進一步說，第一線纜交換裝置還包括電機，安全掛鉤利用電機轉(zhuǎn)動。進一步說，第一線纜交換裝置還包括驅(qū)動電機，用以驅(qū)動第一線纜交換裝置沿Y向運動。本專利技術(shù)提出的工件臺，其包括線纜交換裝置，用于承載并驅(qū)動承片臺的各種線纜、管路，保證其跟隨承片臺作同步往復(fù)運動并實現(xiàn)雙臺交換，可極大地減小電纜、管路等配套設(shè)施工作過程中產(chǎn)生的擾動對工件臺運動定位精度的影響，縮短雙臺交換的時間，提高光刻生產(chǎn)效率。附圖說明圖I所示為本專利技術(shù)較佳實施例的工件臺側(cè)視圖。圖2所示為本專利技術(shù)較佳實施例的工件臺俯視圖。具體實施例方式為了更了解本專利技術(shù)的
技術(shù)實現(xiàn)思路
，特舉具體實施例并配合所附圖式說明如下。請參看圖I,圖I所示為本專利技術(shù)較佳實施例的工件臺結(jié)構(gòu)示意圖。工件臺包括第一承片臺9和第二承片臺14，分別位于第一位置和第二位置。在光刻機的工藝過程中，這兩個承片臺通常分別在曝光位和準備位(第一位置和第二位置)，在第一承片臺9所承載的硅片進行曝光時，將上下片、預(yù)對準、對準等曝光準備工作在第二承片臺14上進行。第一承片臺9所承載的硅片曝光完成后，第一承片臺9和第二承片臺14交換位置，從而將第二承片臺14所承載的硅片進行曝光。工件臺還包括第一 X向?qū)к?、第二 X向?qū)к?7、第一 Y向?qū)к?和第二 Y向?qū)к?1。第一 X向?qū)к?與第二 X向?qū)к?7平行且沿X向設(shè)置、第一 Y向?qū)к?與第二 Y向?qū)к?1平行且沿Y向設(shè)置。工件臺還包括第一 X向滑臺7和第二 X向滑臺16，分別通過夾持機構(gòu)(圖未示)夾持第一承片臺9和第二承片臺14，第一 X向滑臺7和第二 X向滑臺16分別可滑動地設(shè)置在第一 X向?qū)к?、第二 X向?qū)к?7上，以分別帶動第一承片臺9和第二承片臺14沿X向移動。工件臺還包括第一 Y向滑臺6、第二 Y向滑臺I、第三Y向滑臺10和第四Y向滑臺15。第一 Y向滑臺6、第三Y向滑臺10分別設(shè)置在第一 Y向?qū)к?和第二 Y向?qū)к?1上，分別固定連接第一 X向滑臺7的兩端。第二 Y向滑臺I和第四Y向滑臺15分別設(shè)置在第一 Y向?qū)к?和第二 Y向?qū)к?1上，分別固定連接第二 X向滑臺16的兩端。 其中第一 X向滑臺7、第二 X向滑臺16、第一 Y向滑臺6、第二 Y向滑臺I、第三Y向滑臺10和第四Y向滑臺15分別由獨立的電機驅(qū)動，例如，驅(qū)動第一 X向滑臺7的電機的動子設(shè)置在第一 X向滑臺7上，定子設(shè)置在第一 X向?qū)к?上，反之亦可。本專利技術(shù)對此不予限制。這樣，第一承片臺9和第二承片臺14能夠被這些滑臺帶動，以沿X向、Y向粗動。第一承片臺9和第二承片臺14自身也可能包括微動系統(tǒng)，結(jié)合前述的粗動系統(tǒng)，第一承片臺9和第二承片臺14能夠十分精確地定位。當?shù)谝怀衅_9和第二承片臺14分別在曝光位和準備位完成工作后，第一 Y向滑臺6、第三Y向滑臺10帶動第一承片臺9沿Y負方向移動，同時，第二Y向滑臺I和第四Y向滑臺15帶動第二承片臺14沿Y正方向移動。至交換位后，第一承片臺9和第二承片臺14分別脫離第一 X向滑臺7和第二 X向滑臺16的夾持，第一 X向滑臺7和第二 X向滑臺16分別沿X正、負方向移動，第一 X向滑臺7改為夾持第二承片臺14，而第二 X向滑臺16改為夾持第一承片臺9。接著，第一 Y向滑臺6、第三Y向滑臺10帶動第二承片臺14沿Y正方向移動，同時第二 Y向滑臺I和第四Y向滑臺15帶動第一承片臺9沿Y負方向移動。再通過調(diào)整第一承片臺9和第二承片臺14的X向位置，最終，達到交換第一承片臺9和第二承片臺14位置的目的。第一承片臺9包括第一 X向線纜4和第一 Y向線纜2，第一 X向線纜4 一端連接第一承片臺9，第一 Y向線纜2的一端連接至工件臺，具體來說，第一 Y向線纜2的一端連接在第一 Y向?qū)к?的底部。第二承片臺14包括第二 X向線纜14和第二 Y向線纜12，第二 X向線纜14 一端連接第一承片臺9，第二 Y向線纜12本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種工件臺，其特征是，包括：第一承片臺；第一X向線纜，一端固定在所述第一承片臺上；第一Y向線纜，一端固定在所述工件臺上；第一Y向滑臺，選擇性地連接于所述第一承片臺，以帶動所述第一承片臺沿Y向移動；第二Y向滑臺，選擇性地連接于所述第一承片臺，以帶動所述第一承片臺沿Y向移動；以及第一線纜交換裝置，連接所述第一X向線纜和所述第一Y向線纜的另一端，選擇性地跟隨所述第一Y向滑臺或所述第二Y向滑臺沿Y向運動。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳軍，袁志揚，秦磊，
申請(專利權(quán))人：上海微電子裝備有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：