本發明專利技術實施例公開了一種金剛線磨粒密度及分布的檢測方法，包括步驟：采集特定長度內金剛線的多個角度所對應的圖像信息；根據所述圖像信息建立該特定長度內金剛線的三維圖像；根據所述三維圖像獲取磨粒數量值以及相鄰的磨粒的距離值，并得到密度值和分布值。由于本發明專利技術中檢測方法，首先采集特定長度的金剛線的多個角度的圖像信息，并根據多個圖像信息建立三維圖像，最終得到金剛線上磨粒密度和分布情況。由于上述方法中借助通過分析圖像信息最終獲得磨粒密度和分布情況較之傳統方法相比，可靠性更高。本發明專利技術還公開了一種金剛線磨粒密度及分布的檢測裝置。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及晶體硅加工領域，更具體地說，涉及一種金剛線磨粒密度及分布的檢測方法及裝置。
技術介紹
用于生產的線切割技術，主要是使用游離磨粒線鋸，游離磨料線鋸切割在切割過程中將高粘度SiC磨粒衆料帶入切割區域,游離態的磨粒在鋼絲的壓力和速度的帶動下進行硅錠的切割，該方法存在著切割效率低、切口精度低和作業環境差等缺點。另外還可以使用固結磨料線鋸，固結磨料線鋸是將金剛石磨粒通過一定工藝固結于鋼絲表面制成的一種鋸切工具，固結磨料線鋸由于金剛石磨粒被固結在鋼絲表面后，鋼絲不直接與工件接觸，不易損傷，壽命可大大提高，切割效率和精度也更高。固結磨料線鋸的固結工藝主要有電鍍金剛線和樹脂金剛線兩種。無論是電鍍金剛線還是樹脂金剛線，都會涉及到表面磨粒密度及其分布的問題，如果磨粒過少，則切割能力不足，磨粒過多則磨粒的把持力降低，同樣造成切割效率低下；表面磨粒如果堆積，不僅會降低切削性能，而且會使切割工件的表面粗糙度變大。因此，檢測金剛線表面磨粒密度及其分布變得尤為重要。現有的檢測方法通過普通顯微鏡或者電子顯微鏡觀察一段金剛線表面，數其中磨粒的個數來大致推算。這種方法雖然能夠直觀的觀察到表面磨粒的分布情況，但是，它不具備連續觀察性，通過人工數的方式，可靠性差。另外，受普通顯微鏡或者電子顯微鏡結構限制，在檢測金剛線磨粒密度和分布時只能在靜態條件下進行觀察，而無法實現在線監測。
技術實現思路
有鑒于此，本專利技術提供一種金剛線磨粒密度及分布的檢測方法及裝置，以實現提高檢測的可靠性。為實現上述目的，本專利技術提供如下技術方案一種金剛線磨粒密度及分布的檢測方法，包括步驟采集特定長度內金剛線的多個角度所對應的圖像信息；根據所述圖像信息建立該特定長度內金剛線的三維圖像；根據所述三維圖像獲取磨粒數量值以及相鄰的磨粒的距離值，并得到密度值和分布值。優選地，在上述檢測方法中，所述得到密度值和分布值之后還包括分別比較預先存儲的預設密度值與所述密度值，預先存儲的預設分布值和所述分布值，當同時滿足所述密度值大于所述預設密度值以及所述分布值大于所述預設分布值時報警。優選地，在上述檢測方法中，所述角度數量為四個，相鄰角度夾角為90°。一種金剛線磨粒密度及分布的檢測裝置，包括呈特定角度環向分布在金剛線周圍的多個圖像采集單元，所述圖像采集單元采集特定長度內金剛線所對應的圖像信息；接收所述圖像采集單元發送的所述圖像信息的圖像處理單元，并根據所述圖像信息建立該特定長度內金剛線的三維圖像；接收所述圖像處理單元發送的所述三維圖像的數據處理單元，根據所述三維圖像獲取磨粒數量值以及相鄰的磨粒的距離值，并得到密度值和分布值。優選地，在上述檢測裝置中，還包括判斷單元和報警單元，其中，所述判斷單元接收所述數據處理單元的發送的所述密度值和分布值，分別比較預先存儲的預設密度值與所述密度值，預先存儲的預設分布值和所述分布值，當 同時滿足所述密度值大于所述預設密度值以及所述分布值大于所述預設分布值時發出報警信息； 所述報警單元根據所述報警信息發出報警信號。優選地，在上述檢測裝置中，所述圖像采集單元為CXD相機，該CXD相機的放大倍數為 300-1000。優選地，在上述檢測裝置中，所述CXD相機的數量為四個，且相鄰的所述CXD相機的夾角為90°。優選地，在上述檢測裝置中，相鄰的所述CXD相機之間還設置有點光源。優選地，在上述檢測裝置中，所述(XD相機距離所述金剛線的距離為30mm-50mm。優選地，在上述檢測裝置中，所述點光源距離所述金剛線的距離為25mm-30mm。由于本專利技術中檢測方法，首先采集特定長度的金剛線的多個角度的圖像信息，并根據多個圖像信息建立三維圖像，最終得到金剛線上磨粒密度和分布情況。由于上述方法中借助通過分析圖像信息最終獲得磨粒密度和分布情況較之傳統方法相比，可靠性更高。附圖說明為了更清楚地說明本專利技術實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本專利技術的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本專利技術實施例提供的一種金剛線磨粒密度及分布的檢測方法流程示意圖；圖2為本專利技術實施例提供的另一種金剛線磨粒密度及分布的檢測方法流程示意圖；圖3為本專利技術實施例提供的一種金剛線磨粒密度及分布的檢測裝置的剖視結構示意圖；圖4至圖6為本專利技術實施例提供的一種金剛線磨粒密度及分布的檢測裝置使用結構示意圖；其中，圖I至圖6中，I為金剛線；2為磨粒；3a為CXD相機；3b為CXD相機；3c為CXD相機；3d為CXD相機；4a為點光源；4b為點光源；4c為點光源；4d為點光源；5為圖像處理單元；6數據處理單元；7為判斷單元；8為報警單元。具體實施例方式相關名詞解釋固結磨料磨料和芯線結合一體； 游離磨料磨料分散在切割液中，切割時物理吸附在鋼線表面；樹脂金剛線以樹脂為粘合劑將磨粒均勻分散在芯線表面，供切割用；電鍍金剛線以金屬鎳為結合劑，通過電鍍的方式將磨粒粘合在鋼線表面；把持力金剛線樹脂基體或鎮基體對磨粒的粘結力；CXD相機(XD camera，以電荷耦合器件(CXD)作為光敏感器和光電轉換器的遙感用相機；CCD Charge-coupled Device,電荷稱合兀件；景深攝取有限距離的景物時，可在像面上構成清晰影像的物距范圍；工作距離指試樣調準焦點時的物鏡前緣與試樣表面(或物鏡使用蓋玻片時，與蓋玻片頂面)的距離。由
技術介紹
記載的相關內容可知現有的技術方案中通過采用普通的顯微鏡或者電子顯微鏡觀察金剛線的磨粒密度及分布情況，由于通過肉眼觀察的檢測磨粒密度以及分布，檢測不可靠。為此本專利技術為了解決上述問題公開了一種新的檢測方法以及檢測裝置。下面將結合本專利技術實施例中的附圖，對本專利技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本專利技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本專利技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本專利技術保護的范圍。本專利技術提供一種金剛線磨粒密度及分布的檢測方法，以實現提高檢測的可靠性。如圖I所示，本專利技術公開的金剛線磨粒密度及分布的檢測方法包括步驟步驟Sll :采集特定長度內金剛線的多個角度所對應的圖像信息。在實際采集過程中，由于多個角度采集時距離金剛線的距離差異、像素差異、放大倍數的不同，所得到的圖像信息可能存在差異，通常為了后續處理方便，會將所采集到的圖片信息轉換成放大倍數相同的圖片。優選的，為了簡化處理步驟，在實際操作過程中，在采集圖像信息時，距離金剛線的距離相同，且采集過程中放大倍數相同，且多個角度均勻分布，例如若分四個角度進行采集，那么相鄰的采集角度為90° ;若分五個角度進行采集，那么采集角度為72°，此次類推。又，由于在實際采集過程中，采集相鄰的圖像信息存在很有可能存在重合的部分，在后續處理過程中通過判斷是否重合進行相應的修剪。步驟S12 :根據所述圖像信息建立該特定長度內金剛線的三維圖像。通過結合多個角度的圖片信息整合成三維圖像，其中由于多個角度內得到的圖像信息存在重合部分，為此，在整合過程中需要重新判斷圖像信息是否存在重合的部分，如果相鄰的角度之間存在重合的部分，則本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種金剛線磨粒密度及分布的檢測方法，其特征在于，包括步驟：采集特定長度內金剛線的多個角度所對應的圖像信息；根據所述圖像信息建立該特定長度內金剛線的三維圖像；根據所述三維圖像獲取磨粒數量值以及相鄰的磨粒的距離值，并得到密度值和分布值。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：萬容兵，趙濤，劉偉，
申請(專利權)人：浙江思博恩新材料科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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