用于低溫多晶硅液晶顯示器制造的正型感光樹脂組合物制造技術

本發明專利技術提供一種正型感光樹脂組合物，其包括堿可溶性酚醛樹脂、兩種感光化合物、表面活性劑及溶劑。本發明專利技術的正型感光樹脂組合物適用于液晶顯示器制造工序，減少光阻的殘留。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種正型感光樹脂組合物，尤其是適用于低溫多晶硅液晶顯示器(LTPS-IXD)制造的正型感光樹脂組合物。
技術介紹
感光樹脂組合物用于集成電路或液晶顯示器(LCD)的圖案化制造中，在曝光顯影后形成光阻圖案。以低溫多晶娃(Low Temperature Ploy Silicon, LTPS)制造工序生產的薄膜晶體管液晶顯不器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display, TFT-LCD)而言，相較于傳統非晶娃(Amorphous Silicon, a-S)制造工序生產的TFT-IXD,具備低耗電、高反應速度、高分辨率和高亮度等優點，因此廣泛用于智能手機及車用面板等平面顯示器上。此外，觸控面板(Touch Panel)已廣泛用于日常生活中，產品的需求持續升溫，造成制 造商必須提高產能與合格率來滿足消費者的需求。為了提高產能，要求晶體管黃光光刻制造用的正型光阻(Positive Photoresist)需進一步提升光阻曝光的感光度(Exposure Dose)。一般而言，通過改變堿可溶樹脂的分子量或調整堿性溶解速率(Alkaline Dissolution Rate, ADR)的高低來提升光阻的感光度，但往往造成在線路密集區域或圖案化層高低落差大的制造工序中，容易導致光阻殘留。此夕卜，雖然以往使用如125 (msec，顯影15sec)高曝光能量操作時，光阻殘留較不嚴重，但將曝光能量降低至低于100或95 (msec,顯影15sec)時,光阻殘留的問題已無法符合制造工序標準。相關
中，TWI285789揭露了一種正型光阻組合物，目的在于解決含非二苯基酮系感光化合物的光阻組合物的存儲穩定性不足的問題。該專利通過添加酚式羥基化合物及抗還原劑來改善光阻組合物的存儲穩定性，卻未討論光阻殘留的問題。Tff 1326801揭露了另一種正型光阻組合物，目的在于提升焦點深度(D印th ofFocus, D0F)，通過添加分子量小于1000的酚式羥基化合物來提升D0F，但也未揭露如何改善光阻的殘留。因此，仍需開發一種可減少光阻殘留的正型感光樹脂組合物，以滿足產業的需求。
技術實現思路
鑒于上述已知技術的缺點，本專利技術提供一種液晶顯示器制造用的正型感光樹脂組合物，包括(A)堿可溶性酚醛樹脂，其重均分子量為3000至8000 ；(B)第一感光化合物，是式(I)化合物與第一酚化合物的酯化產物，其中，R為H或Cl，權利要求1.一種低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，包括 (A)堿可溶性酚醛樹脂，其重均分子量為3000至8000； (B)第一感光化合物，是式(I)化合物與第一酚化合物的酯化產物，其中，R為H或Cl，2.如權利要求I所述的低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，其中，以該正型感光樹脂組合物的總重為基準，該堿可溶性酚醛樹脂的含量為10被％至30wt%o3.如權利要求I所述的低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，其中，以該正型感光樹脂組合物的總重為基準，該第一感光化合物與第二感光化合物的含量總和為2wt%至8wt%。4.如權利要求I所述的低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，其中，該第一感光化合物與第二感光化合物的重量比為98:2至10:90。5.如權利要求I所述的低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，其中，該第一感光化合物與第二感光化合物的重量比為98:2至60:40。6.如權利要求I所述的低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，其中，該第一感光化合物與第二感光化合物重量比為90:10至80:20。7.如權利要求I所述的低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，其中，該第一酚化合物和第二酚化合物獨立選自下式(a)、(b)、(c)、(d)或(e)化合物，8.如權利要求7所述的低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，其中，該第一酚化合物和第二酚化合物均為式(e-Ι)化合物，9.如權利要求I所述的低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，其中，以該正型感光樹脂組合物的總重為基準，該表面活性劑的含量為O. 001被％至O. lwt%。10.如權利要求I所述的低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，其中 ，以該正型感光樹脂組合物的總重為基準，該溶劑的含量為65被％至85wt%。全文摘要本專利技術提供一種正型感光樹脂組合物，其包括堿可溶性酚醛樹脂、兩種感光化合物、表面活性劑及溶劑。本專利技術的正型感光樹脂組合物適用于液晶顯示器制造工序，減少光阻的殘留。文檔編號G03F7/039GK102890420SQ20121014010公開日2013年1月23日 申請日期2012年5月8日 優先權日2011年7月21日專利技術者籃偉仁, 黃新義, 黃祺煜, 葉子瑭 申請人:臺灣永光化學工業股份有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種低溫多晶硅液晶顯示器制造中使用的正型感光樹脂組合物，包括：(A)堿可溶性酚醛樹脂，其重均分子量為3000至8000；(B)第一感光化合物，是式(I)化合物與第一酚化合物的酯化產物，其中，R為H或Cl，(C)第二感光化合物，是式(II)化合物與第二酚化合物的酯化產物，其中，R為H或Cl，(D)表面活性劑；以及(E)溶劑。FDA00001615162800011.jpg,FDA00001615162800012.jpg

【技術特征摘要】
...

【專利技術屬性】
技術研發人員：籃偉仁，黃新義，黃祺煜，葉子瑭，
申請(專利權)人：臺灣永光化學工業股份有限公司，
類型：發明
國別省市：