一種用于硅粉廢料處理的干燥設(shè)備制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種用于硅粉廢料處理的干燥設(shè)備，其特征在于它包括依次相連的真空干燥機(jī)、冷凝器、儲(chǔ)液罐和真空機(jī)組，所述真空干燥機(jī)頂部和底部分別設(shè)有進(jìn)料口和卸料口，所述真空干燥機(jī)的進(jìn)料口和卸料口裝有機(jī)械密封。所述真空干燥機(jī)采用夾套加熱方式，以蒸汽或者導(dǎo)熱油作為加熱介質(zhì)。所述真空干燥機(jī)內(nèi)部還設(shè)有溫度探頭和攪拌裝置。所述真空機(jī)組包括兩級(jí)真空泵，可使裝置內(nèi)真空度達(dá)到1kPa。本實(shí)用新型專利技術(shù)安全可靠，處理后的硅粉廢料可以作為產(chǎn)品銷售，儲(chǔ)存和運(yùn)輸方便，沒有自燃的危險(xiǎn)。處理過程中可以回收硅粉廢料吸附的少量切割液，經(jīng)濟(jì)效益可觀。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及一種干燥設(shè)備，具體涉及一種用于解決廢砂漿回收過程中硅粉廢料處理的干燥設(shè)備。
技術(shù)介紹
采用線切割技術(shù)加工晶硅硅片時(shí)，會(huì)產(chǎn)生大量的硅粉顆粒，該硅粉顆粒粒徑在3 μ m以下，具有很高的表面能，能與水和空氣反應(yīng)，高表面活性的硅粉長(zhǎng)時(shí)間和空氣接觸容易自燃，從而引發(fā)火災(zāi)。有報(bào)道稱國(guó)內(nèi)某廠家因?yàn)楣璺圩匀荚斐闪?3000萬以上的損失。現(xiàn)有的砂漿回收工藝中，廢砂漿經(jīng)水稀釋后，粘度降低，然后通過離心作用實(shí)現(xiàn)硅粉、碳化硅磨料和切割液的分離。其中大部分硅粉被當(dāng)作廢棄物丟掉，剩余部分硅粉通過和氫氧化鈉溶液反應(yīng)除去。該工藝生產(chǎn)過程中產(chǎn)生大量的硅粉，在存儲(chǔ)、運(yùn)輸過程中存在火災(zāi)隱患。另夕卜，硅粉表面吸附有少量切割液，若隨意丟棄，一方面造成資源浪費(fèi)，另一方面造成環(huán)境污·染，硅粉本身的價(jià)值也沒有得以利用。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
針對(duì)上述問題，本技術(shù)的目的是提供一種用于解決廢砂漿回收過程中硅粉廢料處理的干燥設(shè)備，該干燥設(shè)備能夠使硅粉廢料安全緩慢的釋放表面能，除去硅粉中的水分，避免硅粉廢料自燃，并回收硅粉廢料吸附的切割液。為解決上述問題，本技術(shù)的技術(shù)方案是一種用于硅粉廢料處理的干燥設(shè)備，其特征在于它包括依次相連的真空干燥機(jī)、冷凝器、儲(chǔ)液罐和真空機(jī)組，所述真空干燥機(jī)頂部和底部分別設(shè)有進(jìn)料口和卸料口，所述真空干燥機(jī)的進(jìn)料口和卸料口裝有機(jī)械密封。所述真空干燥機(jī)采用夾套加熱方式，以蒸汽或者導(dǎo)熱油作為加熱介質(zhì)。所述真空干燥機(jī)內(nèi)部設(shè)有溫度探頭，在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)溫度。所述真空干燥機(jī)內(nèi)部還設(shè)有攪拌裝置，所述攪拌裝置的傳動(dòng)軸采用機(jī)械密封方式。所述真空機(jī)組包括兩級(jí)真空泵，可使裝置內(nèi)真空度達(dá)到lkPa。由于采用了上述技術(shù)方案，本技術(shù)的有益效果是經(jīng)本技術(shù)處理后的硅粉廢料可以作為產(chǎn)品銷售，沒有自聚發(fā)熱現(xiàn)象，不會(huì)發(fā)生自燃，可以安全環(huán)保的進(jìn)行儲(chǔ)存和運(yùn)輸。處理過程中可以回收硅粉廢料吸附的少量切割液，每噸可回收30-50kg切割液，可以產(chǎn)生可觀的經(jīng)濟(jì)效益。本技術(shù)所述真空干燥機(jī)兩端設(shè)有機(jī)械密封，可以保證干燥機(jī)內(nèi)真空，避免了硅粉廢料中的超細(xì)硅粉顆粒在設(shè)備內(nèi)與空氣接觸，生產(chǎn)過程安全環(huán)保。附圖說明圖I是本技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，I.真空干燥機(jī)；2.冷凝器；3.儲(chǔ)液罐；4.切割液排出管路；5.真空機(jī)組；6.真空干燥機(jī)卸料口 ；7.真空干燥機(jī)進(jìn)料口 ；8.真空干燥機(jī)蒸汽出口 ；9.加熱介質(zhì)入口 ；10.加熱介質(zhì)出口。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖并通過具體實(shí)施例來詳細(xì)說明本技術(shù)。如圖I所示，本技術(shù)包括真空干燥機(jī)1，所述真空干燥機(jī)I的頂部設(shè)有干燥機(jī)進(jìn)料口 7，底部設(shè)有干燥機(jī)卸料口 6 ;所述真空干燥機(jī)采用夾套加熱方式，以蒸汽或者導(dǎo)熱油作為加熱介質(zhì)，包括其底部的加熱介質(zhì)入口 9和頂部的加熱介質(zhì)出口 10。所述真空干燥機(jī)I內(nèi)部設(shè)有溫度探頭，可以連接在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。所述真空干燥機(jī)I頂部蒸汽出口 8與冷凝器2連接，所述的冷凝器2中物料冷凝后進(jìn)入儲(chǔ)液罐3，所述儲(chǔ)液罐3內(nèi)冷凝后液體通過切割液排出管路4排出，所述儲(chǔ)液罐3上部連接真空機(jī)組5，所述真空機(jī)組5工作過程中控制系統(tǒng)壓力為IkPa以下。 本技術(shù)的工作過程為吸附少量切割液的硅粉廢料經(jīng)真空干燥機(jī)進(jìn)料口 7裝進(jìn)真空干燥機(jī)I后，開啟真空機(jī)組5，當(dāng)體系內(nèi)壓力到達(dá)IkPa以后開始加熱干燥硅粉廢料，真空干燥器I中產(chǎn)生的蒸汽經(jīng)過蒸汽出口 8進(jìn)入冷凝器2冷凝后再進(jìn)入儲(chǔ)液罐3，最后經(jīng)過切割液排出管路4回收，濃度為10%-20%，作為原料回用，儲(chǔ)液罐3上部連接的真空機(jī)組5為系統(tǒng)提供高真空環(huán)境。硅粉廢料在加熱干燥過程中細(xì)顆粒不斷團(tuán)聚，平穩(wěn)釋放表面能。干燥后的硅粉廢料經(jīng)真空干燥機(jī)卸料口 6卸出，溫度50°C以下，顆粒中位徑O. 1_，不再有自燃風(fēng)險(xiǎn)。權(quán)利要求1.一種用于硅粉廢料處理的干燥設(shè)備，其特征在于它包括依次相連的真空干燥機(jī)、冷凝器、儲(chǔ)液罐和真空機(jī)組，所述真空干燥機(jī)頂部和底部分別設(shè)有進(jìn)料口和卸料口，所述真空干燥機(jī)的進(jìn)料口和卸料口裝有機(jī)械密封。2.如權(quán)利要求I所述的用于硅粉廢料處理的干燥設(shè)備，其特征在于所述真空干燥機(jī)采用夾套加熱方式，以蒸汽或者導(dǎo)熱油作為加熱介質(zhì)。3.如權(quán)利要求I所述的用于硅粉廢料處理的干燥設(shè)備，其特征在于所述真空干燥機(jī)內(nèi)部設(shè)有在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)溫度的溫度探頭。4.如權(quán)利要求I所述的用于硅粉廢料處理的干燥設(shè)備，其特征在于所述真空干燥機(jī)內(nèi)部還設(shè)有攪拌裝置，所述攪拌裝置的傳動(dòng)軸采用機(jī)械密封方式。5.如權(quán)利要求I所述的用于硅粉廢料處理的干燥設(shè)備，其特征在于所述真空機(jī)組包括兩級(jí)真空泵，可使裝置內(nèi)真空度達(dá)到lkPa。專利摘要本技術(shù)公開了一種用于硅粉廢料處理的干燥設(shè)備，其特征在于它包括依次相連的真空干燥機(jī)、冷凝器、儲(chǔ)液罐和真空機(jī)組，所述真空干燥機(jī)頂部和底部分別設(shè)有進(jìn)料口和卸料口，所述真空干燥機(jī)的進(jìn)料口和卸料口裝有機(jī)械密封。所述真空干燥機(jī)采用夾套加熱方式，以蒸汽或者導(dǎo)熱油作為加熱介質(zhì)。所述真空干燥機(jī)內(nèi)部還設(shè)有溫度探頭和攪拌裝置。所述真空機(jī)組包括兩級(jí)真空泵，可使裝置內(nèi)真空度達(dá)到1kPa。本技術(shù)安全可靠，處理后的硅粉廢料可以作為產(chǎn)品銷售，儲(chǔ)存和運(yùn)輸方便，沒有自燃的危險(xiǎn)。處理過程中可以回收硅粉廢料吸附的少量切割液，經(jīng)濟(jì)效益可觀。文檔編號(hào)F26B7/00GK202692608SQ20122036124公開日2013年1月23日 申請(qǐng)日期2012年7月25日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月25日專利技術(shù)者胡城, 張偉濤, 翟志強(qiáng), 胡仰棟 申請(qǐng)人:青島海林電子材料科技有限公司本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種用于硅粉廢料處理的干燥設(shè)備，其特征在于它包括依次相連的真空干燥機(jī)、冷凝器、儲(chǔ)液罐和真空機(jī)組，所述真空干燥機(jī)頂部和底部分別設(shè)有進(jìn)料口和卸料口，所述真空干燥機(jī)的進(jìn)料口和卸料口裝有機(jī)械密封。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：胡城，張偉濤，翟志強(qiáng)，胡仰棟，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：青島海林電子材料科技有限公司，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：