真空工具鍍膜的陰極電弧裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其包括靶材等元件，靶材與冷水座連接，輔助陽極通過支撐柱固定在法蘭板的一面上，第一密封O型圈位于法蘭板的上方，絕緣板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之間，螺釘絕緣套套在第一內六角螺釘上，冷水座通過第一內六角螺釘固定在法蘭板的另一面上，接線座的一端位于冷水座上，螺母與第二內六角螺釘連接，水嘴接頭位于電磁線圈的一側，電磁線圈通過第一十字盤頭螺釘與冷水座固定，電磁線圈骨架位于電磁線圈的上方，防護罩通過第二十字盤頭螺釘與電磁線圈骨架固定，引弧極壓緊在氣動引弧機構上，引弧極位于靶材的下方。本實用新型專利技術結構簡單，且保證靶材的均勻刻蝕性。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及真空鍍膜行業，特別是涉及一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置。
技術介紹
目前市場真空行業中真空陰極電弧靶的種類繁多，結構復雜，一般真空陰極電弧靶裝置采用一個電弧和一個陰極電源，且裝置多采用氣動引弧或電磁引弧，靶材磁場約束采用永磁體，永磁體長時間使用會造成磁性減弱以及失磁，造成輝光減弱不能保證靶材的均勻刻蝕。
技術實現思路
本技術所要解決的技術問題是提供一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其結構簡單，且保證靶材的均勻刻蝕性。·本技術是通過下述技術方案來解決上述技術問題的一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其特征在于，其包括靶材、輔助陽極、支撐柱、法蘭板、第一密封0型圈、絕緣板、第二密封0型圈、冷水座、螺釘絕緣套、第一內六角螺釘、接線座、螺母、第二內六角螺釘、水嘴接頭、第一十字盤頭螺釘、電磁線圈、電磁線圈骨架、防護罩、第二十字盤頭螺釘、氣動引弧機構、引弧極，靶材與冷水座連接，輔助陽極通過支撐柱固定在法蘭板的一面上，第一密封0型圈位于法蘭板的上方，絕緣板位于第一密封0型圈和第二密封0型圈之間，螺釘絕緣套套在第一內六角螺釘上，冷水座通過第一內六角螺釘固定在法蘭板的另一面上,接線座的一端位于冷水座上，螺母與第二內六角螺釘連接，水嘴接頭位于電磁線圈的一側，電磁線圈通過第一十字盤頭螺釘與冷水座固定，電磁線圈骨架位于電磁線圈的上方，防護罩通過第二十字盤頭螺釘與電磁線圈骨架固定，引弧極壓緊在氣動引弧機構上，引弧極位于靶材的下方。優選地，所述絕緣板的直徑大于第一密封0型圈的直徑和第二密封0型圈的直徑。本技術的積極進步效果在于本技術的結構簡單，維護方便，而且膜層致密性好,耐磨性提高,且保證靶材的均勻刻蝕性。附圖說明圖I為本技術真空工具鍍膜的陰極電弧裝置的分解示意圖。圖2為本技術真空工具鍍膜的陰極電弧裝置的組裝示意圖。具體實施方式以下結合附圖給出本技術較佳實施例，以詳細說明本技術的技術方案。如圖I和圖2所示，本技術真空工具鍍膜的陰極電弧裝置包括靶材I、輔助陽極2、支撐柱3、法蘭板4、第一密封0型圈5、絕緣板6、第二密封0型圈7、冷水座8、螺釘絕緣套9、第一內六角螺釘10、接線座11、螺母12、第二內六角螺釘13、水嘴接頭14、第一^h字盤頭螺釘15、電磁線圈16、電磁線圈骨架17、防護罩18、第二十字盤頭螺釘19、氣動引弧機構20、引弧極21，靶材I與冷水座8連接，輔助陽極2通過支撐柱3固定在法蘭板4的一面上，第一密封O型圈5位于法蘭板4的上方，絕緣板6位于第一密封O型圈5和第二密封O型圈7之間，螺釘絕緣套9套在第一內六角螺釘10上,冷水座8通過第一內六角螺釘10固定在法蘭板4的另一面上，接線座11的一端位于冷水座8上，螺母12與第二內六角螺釘13連接，水嘴接頭14位于電磁線圈16的一側，電磁線圈16通過第一十字盤頭螺釘15與冷水座8固定，電磁線圈骨架17位于電磁線圈16的上方,防護罩18通過第二十字盤頭螺釘19與電磁線圈骨架17固定，引弧極21壓緊在氣動引弧機構20上，引弧極21位于靶材I的下方。絕緣板6的直徑大于第一密封O型圈5的直徑和第二密封O型圈7的直徑。靶材是高速荷能粒子轟擊的目標材料，靶材與冷水座連接，便于拆裝更換；輔助陽極為了改善被鍍制件表面上的電流分布而使用的附加陽極，輔助陽極與靶材絕緣，與設備殼體絕緣。冷水座與法蘭板固定擰緊，密封處無氣漏。支撐柱支撐輔助陽極，安裝后保證輔助陽極與靶材的間隙與絕緣性。冷水座用于冷卻靶材溫度及密封圈溫度。電流通過接線座和冷水座后通到靶材上面。采用電磁線圈產生的磁場更好的穩定電弧放電，保證靶材的均勻刻蝕。調整引弧極到靶面間距，引弧時引弧極與靶面接觸良好。靶材非濺射面與冷水座·連接前可以先放一層石墨紙，連接壓緊，要求接觸面貼合，目的是對靶材的冷卻效果更好。需要測試時，在真空狀態下，引弧極與陰極表面在通斷瞬間引燃電弧放電。離化率高，離子流密度大，離子流能量高，沉積速率快，膜基結合力好，利用固體靶材，沒有熔池，靶材可以任意位置安裝以保證鍍膜均勻，可以沉積金屬膜、合金膜，也可以反應鍍合成各種化合物膜(氮化物、碳化物、氧化物)，甚至可以合成DLC膜、CNx膜等，操作簡單，技術易于推廣。本技術可廣泛用于涂鍍刀具、模具的超硬保護層，膜系包括TiN、ZrN等，鍍層產品包括鉆頭、銑刀、齒輪刀具、絲錐、剪刀、切刀、頂頭、沖模等。本技術的結構簡單，維護方便，而且膜層致密性好，耐磨性提高，且保證靶材的均勻刻蝕性。上述實施例不作為對本技術的限定，凡在本技術的范圍內所作的任何修改、等同替換、改進等，均屬于本技術的保護范圍。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其特征在于，其包括靶材、輔助陽極、支撐柱、法蘭板、第一密封O型圈、絕緣板、第二密封O型圈、冷水座、螺釘絕緣套、第一內六角螺釘、接線座、螺母、第二內六角螺釘、水嘴接頭、第一十字盤頭螺釘、電磁線圈、電磁線圈骨架、防護罩、第二十字盤頭螺釘、氣動引弧機構、引弧極，靶材與冷水座連接，輔助陽極通過支撐柱固定在法蘭板的一面上，第一密封O型圈位于法蘭板的上方，絕緣板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之間，螺釘絕緣套套在第一內六角螺釘上，冷水座通過第一內六角螺釘固定在法蘭板的另一面上，接線座的一端位于冷水座上，螺母與第二內六角螺釘連接，水嘴接頭位于電磁線圈的一側，電磁線圈通過第一十字盤頭螺釘與冷水座固定，電磁線圈骨架位于電磁線圈的上方，防護罩通過第二十字盤頭螺釘與電磁線圈骨架固定，引弧極壓緊在氣動引弧機構上，引弧極位于靶材的下方。

【技術特征摘要】
1.一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其特征在于，其包括靶材、輔助陽極、支撐柱、法蘭板、第一密封O型圈、絕緣板、第二密封O型圈、冷水座、螺釘絕緣套、第一內六角螺釘、接線座、螺母、第二內六角螺釘、水嘴接頭、第一十字盤頭螺釘、電磁線圈、電磁線圈骨架、防護罩、第二十字盤頭螺釘、氣動引弧機構、引弧極，靶材與冷水座連接，輔助陽極通過支撐柱固定在法蘭板的一面上，第一密封O型圈位于法蘭板的上方，絕緣板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之間，螺釘絕緣套套在第...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王叔暉，劉竹楊，
申請(專利權)人：上海法德機械設備有限公司，
類型：實用新型
國別省市：