密閉式集塵吹氣機(jī)制造技術(shù)

一種密閉式集塵吹氣機(jī)，用以去除一待處理物上的微塵；該密閉式集塵吹氣機(jī)包含有一機(jī)臺(tái)、一置具、至少一離子風(fēng)扇、一風(fēng)力裝置、以及一集塵裝置；其中，該置具設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，用以供該待處理物置放，且該置具可相對(duì)該機(jī)臺(tái)呈一角度傾斜；該離子風(fēng)扇設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具上方，用以產(chǎn)生一定數(shù)量的離子于該機(jī)臺(tái)中；該風(fēng)力裝置設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具上方，用以往該置具的方向產(chǎn)生風(fēng)壓，并可相對(duì)該置具移動(dòng)；該集塵裝置設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具的下方，用以往該置具的方向抽氣。（*該技術(shù)在2022年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)系與制品去塵有關(guān)，更詳而言之是指一種密閉式集塵吹氣機(jī)。
技術(shù)介紹
隨著科技產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步，如半導(dǎo)體、光電、醫(yī)藥、食品等精密工業(yè)中亦日漸發(fā)達(dá)。而上述工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量、可靠性以及良率高低與制造環(huán)境與制造過(guò)程的潔凈程度有著極大的關(guān)系。 對(duì)于微塵顆粒有極為嚴(yán)格要求的晶圓廠潔凈室，經(jīng)常利用人工進(jìn)行高壓空氣吹除或以真空吸取方式，去除附著于對(duì)象表面的微塵，不僅清潔無(wú)法達(dá)到最佳的效果，且吹氣產(chǎn)生的擾流亦會(huì)引起微塵顆粒飛濺四射于潔凈室內(nèi)，進(jìn)而造成潔凈室污染，降低潔凈室的等級(jí)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
有鑒于此，本技術(shù)的主要目的在于提供一種密閉式集塵吹氣機(jī)，具有良好的去塵效果，而可大幅地減少微塵附著于待處理物上的情形。緣以達(dá)成上述目的，本技術(shù)所提供的一種密閉式集塵吹氣機(jī)，用以去除一待處理物上的微塵；該密閉式集塵吹氣機(jī)包含有一機(jī)臺(tái)；—置具，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，該待處理物置放于其上，且該置具相對(duì)該機(jī)臺(tái)呈一角度傾斜；至少一離子風(fēng)扇，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具上方；一風(fēng)力裝置，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具上方，相對(duì)該置具移動(dòng)；以及一集塵裝置，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具的下方。依據(jù)上述構(gòu)思，該置具包含有一樞軸以及一承架；該樞軸與該機(jī)臺(tái)連接；該承架用以供該待處理物置放，且該承架一側(cè)與該樞軸連接，而可相對(duì)該樞軸樞擺，使該承架往一方向傾斜。依據(jù)上述構(gòu)思，該置具包含有一樞軸以及一承架；該樞軸與該機(jī)臺(tái)連接；該承架用以供該待處理物置放，且該承架中央與該樞軸連接，而可相對(duì)該樞軸樞擺，使該承架往相反的兩方向傾斜。依據(jù)上述構(gòu)思，該風(fēng)力裝置的移動(dòng)方向平行于該樞軸。依據(jù)上述構(gòu)思，該風(fēng)力裝置用以往該置具的方向吹出垂直于該樞軸的片狀風(fēng)壓。依據(jù)上述構(gòu)思，該機(jī)臺(tái)具有一去塵室；該置具、該離子風(fēng)扇與該風(fēng)力裝置設(shè)于該去塵室中；該集塵裝置設(shè)于該去塵室下方，用以抽離該去塵室中的空氣。依據(jù)上述構(gòu)思，該風(fēng)力裝置的兩側(cè)分別具有至少一入風(fēng)口，且底部具有一呈細(xì)長(zhǎng)狀的出風(fēng)口 ；加壓后的空氣由所述入風(fēng)口輸入后，由該出風(fēng)口吹出。本技術(shù)的有益效果是通過(guò)上述設(shè)計(jì)，該密閉式集塵吹氣機(jī)將可具有良好的去塵效果。附圖說(shuō)明為能更清楚地說(shuō)明本技術(shù)，以下列舉較佳 實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后，其中圖I為本技術(shù)第一較佳實(shí)施例的外觀圖；圖2為本技術(shù)第一較佳實(shí)施例的透視圖；圖3為本技術(shù)第一較佳實(shí)施例的側(cè)視圖；圖4為本技術(shù)第一較佳實(shí)施例的正視圖；圖5為本技術(shù)風(fēng)力裝置的立體圖；圖6為本技術(shù)第二較佳實(shí)施例的側(cè)視圖。具體實(shí)施方式請(qǐng)參閱圖I及圖2，本技術(shù)第一較佳實(shí)施例的密閉式集塵吹氣機(jī)包含有一機(jī)體10、一置具20、一風(fēng)力裝置30、兩臺(tái)離子風(fēng)扇40、以及一集塵裝置50。其中該機(jī)體10具有一去塵室12以及一容置空間14，且該去塵室12位于該容置空間14上方。該置具20設(shè)于該去塵室12中，且包含有一樞軸22以及一承架24。該樞軸22與該機(jī)臺(tái)10連接。該承架24用以供一待處理物(如晶圓、面板、電路板等)100置放。請(qǐng)參閱圖3，該承架24 —側(cè)與該樞軸22連接，而可相對(duì)該樞軸22樞擺，使該承架24往一方向相對(duì)該機(jī)體10于一角度內(nèi)傾斜。于本實(shí)施例中，該承架24最大傾角可達(dá)25度。使用者可依其使用需求，使該承架24于0-25度的范圍內(nèi)傾斜。該風(fēng)力裝置30設(shè)于該去塵室12中，且位于該置具20上方。請(qǐng)參閱圖4，該風(fēng)力裝置30可相對(duì)該置具20移動(dòng)，且其移動(dòng)方向平行于該置具20的樞軸22。續(xù)參閱圖5，該風(fēng)力裝置30的兩側(cè)分別具有多個(gè)入風(fēng)口 32，用以供加壓后的空氣輸入。而自所述入風(fēng)口 32輸入的空氣，將從下方呈細(xì)長(zhǎng)狀的出風(fēng)口 34輸出，以往該置具20的方向吹出垂直于該樞軸22的片狀風(fēng)壓。所述離子風(fēng)扇40設(shè)于該去塵室12中，且位于該風(fēng)力裝置30的兩側(cè)，而位于該置具20上方。所述離子風(fēng)扇40用以產(chǎn)生一定數(shù)量的離子布滿該去塵室12。該集塵裝置50設(shè)于該去塵室12下方的容置空間14中，用以往該置具20的方向抽氣，以將該去塵室12中的空氣抽離。由此，通過(guò)上述設(shè)計(jì)，當(dāng)使用者欲去除該待處理物100上的微塵時(shí)，則先將該待處理物100置放于該去塵室12中的該承架24上后，將該承架24傾斜。之后，封閉該去塵室12，并啟動(dòng)所述離子風(fēng)扇40與該集塵裝置50。以通過(guò)所述離子風(fēng)扇40產(chǎn)生的離子，中和微塵上的靜電，使微塵不再吸附于該待處理物100上，再通過(guò)所述離子風(fēng)扇40吹出的微風(fēng)量，將較為細(xì)小的微塵吹離該待處理物100的表面，并通過(guò)集塵裝置50抽離吹離的微塵。而后,啟動(dòng)該風(fēng)力裝置30，并使該風(fēng)力裝置30相對(duì)該置具20移動(dòng)。以通過(guò)該風(fēng)力裝置30所產(chǎn)生呈片狀的強(qiáng)力風(fēng)壓，一邊移動(dòng)一邊將該待處理物100上的微塵依序吹離，并通過(guò)該集塵裝置50迅速地抽離所吹起的微塵，以有效地除去該待處理物100上的微塵。另外，除上述結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)外，請(qǐng)參閱圖6，為本技術(shù)第二實(shí)施例的密閉式集塵吹氣機(jī)，與前一實(shí)施例不同的處在于其置具60的承架64是于其中央處與樞軸62連接，且同樣可相對(duì)該樞軸62樞擺。由此，通過(guò)上述的設(shè)計(jì)，便可使該承架64往相反的兩方向傾斜，而使得置放于該承架64上的待處理物100于不同方向受到吹拂，進(jìn)而提升該密閉式集塵吹氣機(jī)的去塵效果。值得一提的是，上述承架24、64傾斜的設(shè)計(jì)，可使吹風(fēng)裝置30與離子風(fēng)扇40吹出的風(fēng)有效地作用于該待處理物100上，進(jìn)而加強(qiáng)去塵的效果，以大幅地減少微塵附著于該待處理物100上的情形。另外，通過(guò)該去塵室12的設(shè)計(jì)，吹氣產(chǎn)生的擾流引起微塵顆粒飛濺，便不會(huì)四射于工作區(qū)域內(nèi)，而不會(huì)造成工作區(qū)域污染。以上所述僅為本技術(shù)較佳可行實(shí)施例而已，凡是應(yīng)用本技術(shù)說(shuō)明書及申 請(qǐng)專利范圍所為的等效結(jié)構(gòu)變化，理應(yīng)包含在本技術(shù)的權(quán)利要求范圍內(nèi)。本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種密閉式集塵吹氣機(jī)，用以去除一待處理物上的微塵；其特征在于，該密閉式集塵吹氣機(jī)包含有：一機(jī)臺(tái)；一置具，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，該待處理物置放于其上，且該置具相對(duì)該機(jī)臺(tái)呈一角度傾斜；至少一離子風(fēng)扇，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具上方；一風(fēng)力裝置，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具上方，相對(duì)該置具移動(dòng)；以及一集塵裝置，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具的下方。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種密閉式集塵吹氣機(jī)，用以去除一待處理物上的微塵；其特征在于，該密閉式集塵吹氣機(jī)包含有 一機(jī)臺(tái)； 一置具，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，該待處理物置放于其上，且該置具相對(duì)該機(jī)臺(tái)呈一角度傾斜； 至少一離子風(fēng)扇，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具上方； 一風(fēng)力裝置，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具上方，相對(duì)該置具移動(dòng)；以及 一集塵裝置，設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，且位于該置具的下方。2.如權(quán)利要求I所述的密閉式集塵吹氣機(jī)，其特征在于，其中，該置具包含有一樞軸以及一承架；該樞軸與該機(jī)臺(tái)連接；該承架供該待處理物置放，且該承架一側(cè)與該樞軸連接，而可相對(duì)該樞軸樞擺，使該承架往一方向于該角度內(nèi)傾斜。3.如權(quán)利要求I所述的密閉式集塵吹氣機(jī)，其特征在于，其中，該置具包...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：賴振元，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：賴振元，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：