一種PECVD射頻電極接頭制造技術

本實用新型專利技術公開了一種PECVD射頻電極接頭，通過在電極接口內壁嵌設有定位滾珠，在使用時只需要移動電極接口滑動座，待電極插口的接頭結構插入到電極接口的插槽結構中，利用彈簧的回復力，促使電極接口滑動座往回滑動直至被電極插口的底座結構抵住，同時壓迫定位滾珠進入到電極插口外壁上的第二凹槽中并與之夾緊，從而實現對電極接口和電極插口的定位，完成PECVD射頻電極接頭的連接；該裝置在固定電極接頭的同時保證電極接口與電極插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩定性及Si基薄膜太陽電池生產效率。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及電極接頭
，特別涉及一種PECVD射頻電極接頭。
技術介紹
在半導體工業制造中，生產芯片、處理器等半導體器件、薄膜太陽能電池、液晶等平板顯示器過程中，都要用到射頻電源。射頻電源是產生等離子體的配套電源，主要由射頻功率源和阻抗匹配器組成，廣泛應用于濺射鍍膜，PECVD (化學氣相沉積)，反應離子刻蝕等 設備中。化學氣相沉積(PECVD)制備Si基薄膜太陽電池過程中采用射頻電源提供高頻電信號產生等離子體，反應后生成非晶硅薄膜。射頻電源經匹配器后與設備通過接頭連接，射頻電極接頭必須有良好接觸，以減少功率反射，同時電極接頭外套筒須接地。常用電極接頭連接方式如圖I和圖2所示，I為壓桿，2為壓塊，3為接地金屬套，4為金屬連接桿，5為絕緣層，其中壓桿I和接地金屬套3由一種金屬材料制成，壓塊2和金屬連接桿4由另一種金屬材料制成，絕緣層5由絕緣材料制成。目前設備中采用的是以壓桿I擠壓壓塊2，從而達到電極接頭(插口和接口接地端)接地良好的目的。上述方式接頭在實際應用過程中常有連接不好(壓桿磨損或壓塊變形)以至射頻電極無法正常工作，影響到產品質量及產能；同時由于接頭接連操作步驟多還影響到生產效率提高。因此，如何提供一種PECVD射頻電極接頭，能夠提高射頻電極接地連接穩定性，成為本領域技術人員亟待解決的重要技術問題。
技術實現思路
有鑒于此，本技術提供了一種PECVD射頻電極接頭，能夠提高射頻電極接地連接穩定性。為實現上述目的，本技術提供如下技術方案一種PECVD射頻電極接頭，包括電極接口，所述電極接口包括具有插槽結構的電極接口本體，所述電極接口本體的內壁嵌設有定位滾珠，所述電極接口本體的外壁上套設有電極接口滑動座，所述電極接口滑動座上開設有用于同所述定位滾珠配合的第一凹槽，且所述電極接口滑動座的一側通過彈簧連接于所述電極接口本體，所述彈簧能夠提供沿軸向遠離所述插槽的槽底方向的回復力；電極插口，包括具有用于同所述插槽結構配合的插頭結構的電極插口本體，所述電極插口本體還具有用于同所述電極接口滑動座與所述彈簧相對一側相抵的底座結構，且所述插頭結構的外壁上開設有用于同所述定位滾珠配合的第二凹槽。優選的，所述第一凹槽和所述第二凹槽均為半球形凹槽。優選的，所述半球形凹槽的邊緣部分倒有圓角。優選的，所述定位滾珠具體為金屬滾珠。優選的，所述定位滾珠具體為定位鋼珠。優選的，所述電極接口本體上設置有用于防止所述電極接口滑動座脫離的卡簧。優選的，所述電極接口本體的所述插槽結構內和所述電極插口本體的所述插頭結構上分別設置有用于傳遞高頻電信號的電極接口連接部和電極插口連接槽。優選的，所述電極插口連接槽內設置有彈性件。優選的，所述彈性件具體為三片金屬彈片。優選的，所述插槽結構的內壁和所述插頭結構的外壁上的相應部分分別具有相互配合的錐形面。從上述的技術方案可以看出，本技術提供的PECVD射頻電極接頭，通過在電 極接口內壁嵌設有定位滾珠，在使用時只需要移動電極接口滑動座，待電極插口的接頭結構插入到電極接口的插槽結構中，利用彈簧的回復力，促使電極接口滑動座往回滑動直至被電極插口的底座結構抵住，同時壓迫定位滾珠進入到電極插口外壁上的第二凹槽中并與之夾緊，從而實現對電極接口和電極插口的定位，完成PECVD射頻電極接頭的連接；該裝置在固定電極接頭的同時保證電極接口與電極插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩定性及Si基薄膜太陽電池生產效率。附圖說明為了更清楚地說明本技術實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本技術的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖I為現有技術中常用的電極接頭的正視簡圖；圖2為圖I的側視簡圖；圖3為本技術實施例提供的PECVD射頻電極接頭的爆炸結構示意圖。其中，圖I和圖2中，I為壓桿，2為壓塊，3為接地金屬套，4為金屬連接桿，5為絕緣層；圖3中，11為電極接口本體，12為電極接口滑動座，13為電極接口連接部，14為定位滾珠，15為卡簧，16為彈簧，17為接口絕緣層，18為金屬彈片，19為電極插口本體，20為插口絕緣層。具體實施方式本技術公開了一種PECVD射頻電極接頭，能夠提高射頻電極接地連接穩定性。下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。請參閱圖3，圖3為本技術實施例提供的PECVD射頻電極接頭的爆炸結構示意圖。本技術實施例提供的PECVD射頻電極接頭，其核心改進點在于，包括電極接口，電極接口包括具有插槽結構的電極接口本體11，電極接口本體11的內壁嵌設有定位滾珠14，其上設置有相應的通孔，電極接口本體11的外壁上套設有電極接口滑動座12，電極接口滑動座12上開設有用于同定位滾珠14配合的第一凹槽，且電極接口滑動座12的一側通過彈簧16連接于電極接口本體1，彈簧16能夠提供沿軸向遠離插槽的槽底方向的回復力；電極插口，包括具有用于同插槽結構配合的插頭結構的電極插口本體19，電極插口本體19還具有用于同電極接口滑動座12與彈簧16相對一側相抵的底座結構，且插頭結構的外壁上開設有用于同定位滾珠14配合的第二凹槽。上述的電極接口和電極插口分別用于同需要連接的不同部件相連，其連接方式具 體可以采用套接或者螺紋連接。現舉實例并結合圖3對本技術實施例提供的PECVD射頻電極接頭的結構及各部分功能做詳細描述。撥動電極接口滑動座12，電極接口滑動座12將從初始狀態開始壓縮彈簧16，同時沿水平方向向左側移動；當電極接口滑動座12移動到一定位置時，定位滾珠14部分將進入電極接口滑動座12的第一凹槽中，接著將電極插口沿水平方向緩慢移動到電極接口中，定位滾珠14將沿電極插口本體19的外輪廓滾動，當電極插口無法移動時松開電極接口滑動座12，彈簧16恢復到初始狀態，定位滾珠14將在電極接口滑動座12的擠壓下進入到電極插口本體19外輪廓的第二凹槽中并與之夾緊。從上述的技術方案可以看出，本技術實施例提供的PECVD射頻電極接頭，通過在電極接口內壁嵌設有定位滾珠14，在使用時只需要移動電極接口滑動座12，待電極插口的接頭結構插入到電極接口的插槽結構中，利用彈簧16的回復力，促使電極接口滑動座12往回滑動直至被電極插口的底座結構抵住，同時壓迫定位滾珠14進入到電極插口外壁上的第二凹槽中并與之夾緊，從而實現對電極接口和電極插口的定位，完成PECVD射頻電極接頭的連接；該裝置在固定電極接頭的同時保證電極接口與電極插口金屬外套管有良好接觸，能夠提高射頻電極接地連接穩定性及Si基薄膜太陽電池生產效率。作為優選，第一凹槽和第二凹槽均為半球形凹槽，用于同定位滾珠14的球形結構相配合，能夠達到更加良好的定位效果。當然，還可以根據實際使用情況選用其他結構比如方形的凹槽，對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種PECVD射頻電極接頭，其特征在于，包括：電極接口，所述電極接口包括具有插槽結構的電極接口本體（11），所述電極接口本體（11）的內壁嵌設有定位滾珠（14），所述電極接口本體（11）的外壁上套設有電極接口滑動座（12），所述電極接口滑動座（12）上開設有用于同所述定位滾珠（14）配合的第一凹槽，且所述電極接口滑動座（12）的一側通過彈簧（16）連接于所述電極接口本體（1），所述彈簧（16）能夠提供沿軸向遠離所述插槽的槽底方向的回復力；電極插口，包括具有用于同所述插槽結構配合的插頭結構的電極插口本體（19），所述電極插口本體（19）還具有用于同所述電極接口滑動座（12）與所述彈簧（16）相對一側相抵的底座結構，且所述插頭結構的外壁上開設有用于同所述定位滾珠（14）配合的第二凹槽。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：呂勇，劉俊峰，陳健健，魏雪林，李先林，孟龍，
申請(專利權)人：海南漢能光伏有限公司，
類型：實用新型
國別省市：