【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
硬X射線微聚焦高級次多層膜Laue透鏡
本專利技術(shù)屬于精密光學元件研究領(lǐng)域，尤其是涉及一種硬X射線微聚焦高級次多層 膜Laue透鏡。
技術(shù)介紹
硬X射線的能量高、穿透深度大，能激發(fā)高原子序數(shù)材料的內(nèi)殼層電子以實現(xiàn)重 元素含量和分布的鑒定，并可實現(xiàn)更厚樣品的無損深度檢測。因此，硬X射線顯微術(shù)已經(jīng)成 為目前國際上三代同步輻射實驗室的研究熱點，硬X射線熒光、3維層析技術(shù)以及X射線相 襯和衍射分析技術(shù)已在生命、材料、和環(huán)境科學領(lǐng)域獲得重要應(yīng)用。X射線顯微的空間分辨 率是利用顯微分析技術(shù)獲得物質(zhì)及其演化過程的精細微觀物理和化學結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵技術(shù)指 標。近年來，隨著同步輻射光源和X射線聚焦元件的發(fā)展，國際上X射線顯微分析的分辨率 已推進到IOOnm以下。由于在X射線波段，所有材料的折射率都接近于1，傳統(tǒng)的折射透鏡 無法實現(xiàn)X射線聚焦。波帶片是X射線波段常用的微聚焦元件之一，其分辨率決定于最外 環(huán)的寬度。基于菲涅爾波帶片的X射線顯微鏡已在軟X射線波段獲得了 12nm的成像分辨 率。但在硬X射線波段，理想波帶片的高寬比(深度/最外層寬度)要做到幾百甚至上千， 刻蝕的方法難以完成。這大大限制了高分辨率的硬X射線微聚焦波帶片的制作和使用。為從根本上克服大高寬比的限制，美國Argonne國家實驗室在2004年提出一種新 型的一維多層膜波帶片，多層膜Laue透鏡(MLL)。通過在平面基底上從最外層開始倒序鍍 制梯度多層膜結(jié)構(gòu)，再進行切片減薄，獲得一維波帶片結(jié)構(gòu)。2個MLL相互垂直拼接，可實現(xiàn) X射線的二維聚焦。這種方法既可以獲得非常大的高寬比，又保證了多層膜波帶片膜層的精 確位置和成...
【技術(shù)保護點】
硬X射線微聚焦高級次多層膜Laue透鏡，其特征在于，該Laue透鏡由吸收層和間隔層周期性構(gòu)成，其中所述吸收層的材料是局部光柵中的高原子序數(shù)材料A，間隔層材料是低原子序數(shù)材料B。
【技術(shù)特征摘要】
1.硬X射線微聚焦高級次多層膜Laue透鏡，其特征在于，該Laue透鏡由吸收層和間隔層周期性構(gòu)成，其中所述吸收層的材料是局部光柵中的高原子序數(shù)材料A，間隔層材料是低原子序數(shù)材料B。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬X射線微聚焦高級次多層膜Laue透鏡，其特征在于，多層膜Laue透鏡具有截面深度t，t為垂直于薄膜生長方向的元件長度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硬X射線微聚焦高級次多層膜Laue透鏡，其特征在于，該多層月旲Laue透鏡具有厚度比Y = dA/(dA+dB)，dA是吸收層的厚度，dB是間隔層的厚度，厚度比的確定包括以下步驟 (1)根據(jù)實驗應(yīng)用時所需的能段、工作距離和聚焦成像的分辨率要求，選擇多層膜Laue透鏡的工作波長/、1級次聚焦的焦距f和最外層的光柵...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：黃秋實，朱京濤，李浩川，王占山，
申請(專利權(quán))人：同濟大學，
類型：發(fā)明
國別省市：
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