【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于鍍膜
，具體地說是一種可自鎖的基片擋板組件。
技術介紹
目前，在國內制備鍍膜領域中，經常需要用一臺設備的多基片樣品臺做多層膜，并可以用該設備的單基片樣品臺做合金膜，在機械設計上需要一套在做多層膜可以有效遮擋不工作基片的基片擋板組件，以保證不工作基片不被污染，但在做合金膜時，該基片擋板組件需要拆卸下來，避免遮擋共濺靶的輝光。目前，基片擋板組件的中間軸和下面主動軸是通過豁口銷軸的結構實·現上述功能的，如圖1所示。但是，豁口和銷軸必須得存在一定的間隙，基片擋板組件慣性比較大，上述間隙會造成，長時間運轉后初始定位會跑偏。
技術實現思路
針對上述問題，本專利技術的目的在于提供一種可自鎖的基片擋板組件。該基片擋板組件實現有效自鎖，解決了原來豁口和銷軸因間隙產生的跑偏現象。為了實現上述目的，本專利技術采用以下技術方案一種可自鎖的基片擋板組件，其特征在于包括大基板擋板、中間軸、主動軸及驅動機構，其中大基板擋板和中間軸設置于真空腔體內，所述大基板擋板設置于中間軸的上端，中間軸的下端端部為斜面I，所述主動軸的一端與驅動機構連接，另一端為與中間軸下端端部的斜面I相對應的斜面I1、并插入真空腔體內，所述主動軸與真空腔體下端的真空室大法蘭轉動連接，主動軸的另一端上套設有套筒，所述中間軸的下端端部的斜面I插入所述套筒內、并與主動軸另一端的斜面II相配合；所述主動軸通過驅動機構驅動旋轉、并通過摩擦傳遞帶動中間軸旋轉，中間軸和主動軸通過摩擦角實現自鎖。所述驅動機構包括電機和減速器，其中減速器一端與電機連接，另一端與所述主動軸連接。所述減速器與主動軸之間設有動密封組件。所...
【技術保護點】
一種可自鎖的基片擋板組件，其特征在于：包括大基板擋板(1)、中間軸(2)、主動軸(4)及驅動機構，其中大基板擋板(1)和中間軸(2)設置于真空腔體(8)內，所述大基板擋板(1)設置于中間軸(2)的上端，中間軸(2)的下端端部為斜面I，所述主動軸(4)的一端與驅動機構連接，另一端為與中間軸(2)下端端部的斜面I相對應的斜面II、并插入真空腔體(8)內，所述主動軸(4)與真空腔體(8)下端的真空室大法蘭(3)轉動連接，主動軸(4)的另一端上套設有套筒，所述中間軸(2)的下端端部的斜面I插入所述套筒內、并與主動軸(4)另一端的斜面II相配合；所述主動軸(4)通過驅動機構驅動旋轉、并通過摩擦傳遞帶動中間軸(2)旋轉，中間軸(2)和主動軸(4)通過摩擦角實現自鎖。
【技術特征摘要】
1.一種可自鎖的基片擋板組件，其特征在于包括大基板擋板(I)、中間軸(2)、主動軸(4)及驅動機構，其中大基板擋板(I)和中間軸(2)設置于真空腔體(8)內，所述大基板擋板(I)設置于中間軸(2)的上端，中間軸(2)的下端端部為斜面I，所述主動軸(4)的一端與驅動機構連接，另一端為與中間軸(2)下端端部的斜面I相對應的斜面I1、并插入真空腔體(8)內，所述主動軸(4)與真空腔體(8)下端的真空室大法蘭(3)轉動連接，主動軸(4)的另一端上套設有套筒，所述中間軸(2)的下端端部的斜面I插入所述套筒內、并與主動軸(4)另一端的斜面II相配合；所述主動軸(4)通過驅動機構驅...
【專利技術屬性】
技術研發人員：郭東民，劉麗華，馮彬，孫影，佟雷，
申請(專利權)人：中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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