【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體分立器件和太陽能電池片的制造領域。
技術介紹
磷擴散是半導體分立器件、集成電路芯片和太陽能電池片制作PN結所必須的一道工藝，目前這道工藝所采用的技術是熱擴散技術。半導體分立器件主要用于制造二極管、三極管、功率器件、IGBT及晶閘管等，該系列產品在國內有上百億的銷售額，產能非常龐大。另一方面作為太陽能電池片的用途，硅片運用也非常廣泛，全球70%以上的太陽能電池片是使用硅片作為電池片的。2011年已經實現25GW的產能，多晶用量達到18萬噸是半導體用量的6倍，因此太陽能的產量比半導體產量更大。國內能夠生產太陽能電池硅片廠家約120多家，而能夠生產半導體分立器件擴散片的廠家也達到幾十家。用于磷擴散的擴散爐每個廠家基本有幾十臺到上百臺，市場需求量很大。目前市場上技術成熟的 磷擴散技術主要有三種:1、采用液態三氯氧磷源擴散；2、采用噴涂磷酸水溶液后鏈式擴散；3、采用磷源紙夾層后鏈式擴散。這三種磷擴散的方法以液態磷源擴散的方法具有生產效率較高，得到PN結均勻、平整和擴散層表面良好等優點，因此運用范圍最廣，生產廠家普遍采用該方法進行大批量生產。磷擴散方法的結構圖如附圖說明圖1所示，磷擴散的化學反應方程式如下:
【技術保護點】
一種磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于：包括緩沖箱與抽風管，該緩沖箱包括方形的緩沖箱體，所述緩沖箱內壁涂覆有特氟龍涂層，所述緩沖箱體后側壁上設有爐管開口，所述緩沖箱體前側敞口并設有密封門，所述密封門右側與緩沖箱體鉸接，所述密封門左側與緩沖箱體之間設有鎖閉結構，所述密封門上設有導流結構，所述緩沖箱體右側壁上設有抽風管開口；該抽風管為U形管，抽風管一端設置開口方向與抽風管左側管道垂直的進風口，抽風管另一端設有高于進風口的出風口，該出風口開口向上并連接抽風機，抽風管的管道內壁設有特氟龍涂層；磷擴散爐的爐管通過所述爐管開口伸入所述緩沖箱，抽風管進風口通過抽風管開口與緩沖箱連通，爐管口部上設有爐帽，所述爐帽包括底部封閉的圓筒形石英材質帽體，所述帽體底部設有一向外凸出的開口延嘴，所述帽體底部內壁焊接有一石英卡環，所述開口延嘴設置在卡環底面與帽體底壁之間；所述抽風管底部開口并設有縮口結構連接一密封水箱，所述縮口結構外壁上設有倒鉤，該密封水箱包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側張開的張口結構，所述張口結構內壁安裝一圈密封圈，所述密封箱體上方敞口上邊沿外側安裝有固定扣，所述縮口結...
【技術特征摘要】
1.一種磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:包括緩沖箱與抽風管，該緩沖箱包括方形的緩沖箱體，所述緩沖箱內壁涂覆有特氟龍涂層，所述緩沖箱體后側壁上設有爐管開口，所述緩沖箱體前側敞口并設有密封門，所述密封門右側與緩沖箱體鉸接，所述密封門左側與緩沖箱體之間設有鎖閉結構，所述密封門上設有導流結構，所述緩沖箱體右側壁上設有抽風管開口 ；該抽風管為U形管，抽風管一端設置開口方向與抽風管左側管道垂直的進風口，抽風管另一端設有高于進風口的出風口，該出風口開口向上并連接抽風機，抽風管的管道內壁設有特氟龍涂層；磷擴散爐的爐管通過所述爐管開口伸入所述緩沖箱，抽風管進風口通過抽風管開口與緩沖箱連通，爐管口部上設有爐帽，所述爐帽包括底部封閉的圓筒形石英材質帽體，所述帽體底部設有一向外凸出的開口延嘴，所述帽體底部內壁焊接有一石英卡環，所述開口延嘴設置在卡環底面與帽體底壁之間；所述抽風管底部開口并設有縮口結構連接一密封水箱，所述縮口結構外壁上設有倒鉤，該密封水箱包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側張開的張口結構，所述張口結構內壁安裝一圈密封圈，所述密封箱體上方敞口上邊沿外側安裝有固定扣，所述縮口結構插入所述張口結構，所述固定扣與所述倒鉤扣合，所述密封圈與所述縮口結構外壁形成密封。2.根據權利要求1所述的磷擴散爐的三氯氧磷排除裝置，其特征在于:所述密封門上...
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