本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種集成傳感器的測試方法及其測試系統(tǒng)，其為依次將待測集成傳感器的磁傳感器和加速度傳感器的X軸與地磁場和重力場方向平行，使用校準(zhǔn)過的集成傳感器測試裝置依次讀出待測集成傳感器的X軸的磁場和重力場的測試輸出，然后根據(jù)測試獲得的輸出數(shù)據(jù)計(jì)算得出待測集成傳感器X軸的偏置輸出和靈敏度。本發(fā)明專利技術(shù)涉及的集成傳感器的測試方法及其測試系統(tǒng)，一次性的完成集成傳感器的磁傳感器和加速度傳感器的測試，極大地提高了測試效率，并在一定程度上降低了集成傳感器的生產(chǎn)成本，有利于集成傳感器的大規(guī)模生產(chǎn)和普及。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及一種集成傳感器的測試方法及其測試系統(tǒng)，尤其是，一種集成磁傳感器和加速度傳感器的集成傳感器的測試方法及其測試系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
隨著消費(fèi)類電子功能的日益擴(kuò)展，傳感器的應(yīng)用逐步普及，并且傳感器中的磁傳感器和加速度傳感器已經(jīng)逐漸成為一些手持類電子產(chǎn)品的標(biāo)配。而隨著傳感器運(yùn)用的不斷開發(fā)以及集成化的要求，集成加速度傳感器和磁傳感器的新型傳感器也已經(jīng)面世。其中集成化技術(shù)最高的集成傳感器，為集成了三軸磁傳感器和加速度傳感器的集成傳感器，現(xiàn)已被應(yīng)用到實(shí)際的需求當(dāng)中。這種新型的集成傳感器，由于其整合了加速度和磁傳感器的特性，在其測試過程，則需要針對加速度和磁這兩個(gè)特性分別進(jìn)行測試，這樣在測試設(shè)備方面，就需要兩種不同的測試設(shè)備和測試方法，對集成傳感器的磁傳感器和加速度傳感器，分別進(jìn)行測試。當(dāng)集成傳感器其中的一種傳感器測試完畢后，在將其取出放置到另一個(gè)測試機(jī)中，進(jìn)行另一類型的傳感器測試。很顯然，目前業(yè)界所采用的這種測試方式，不但提高了測試的復(fù)雜度，降低了測試效率，而且也在一定程度上增加了測試的成本，不利于新產(chǎn)品的推廣與運(yùn)用。因此，確有必要提供一種新型的集成傳感器的測試方法來克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是，現(xiàn)有集成傳感器的測試方式成本高、效率低。本專利技術(shù)提供一種集成傳感器的測試方法，其利用測試電路在地球磁場和重力場中的不同表現(xiàn)來進(jìn)行集成傳感器的測試，有效的降低了測試成本，并且還極大的提高了測試效率。為了解決上述技術(shù)問題，本專利技術(shù)所提出的技術(shù)方案是:一種集成傳感器的測試方法，其中所述集成傳感器包括磁傳感器和加速度傳感器，其包括以下步驟:將待測集成傳感器接入測試裝置的接口上，調(diào)整其磁傳感器的X軸與地磁場的磁力線平行，讀出測試裝置對于磁傳感器X軸的測試輸出MXl ；旋轉(zhuǎn)待測磁傳感器180度，讀出其測試輸出MX2 ； 根據(jù)待測磁傳感器的X軸的測試輸出MXl和MX2，計(jì)算待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度；調(diào)整待測集成傳感器的位置，使得其加速度傳感器的X軸與重力場方向平行，讀出測試裝置對于加速度傳感器X軸的測試輸出AXl ；旋轉(zhuǎn)待測加速度傳感器180度，讀出其測試輸出AX2 ；根據(jù)待測加速度傳感器X軸的測試輸出AXl和AX2，計(jì)算待測加速度傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度。進(jìn)一步的，在不同實(shí)施方式中，其中該集成傳感器的測試方法，其還包括測試待測集成傳感器中的磁傳感器Y軸的步驟，其包括:使用標(biāo)準(zhǔn)電路校準(zhǔn)測試裝置接口的Y軸磁場測試參數(shù)；調(diào)整所述磁傳感器Y軸與地磁場的磁力線平行，讀出測試裝置對于所述磁傳感器Y軸的測試輸出MYl ；旋轉(zhuǎn)待測磁傳感器180度，讀出其測試輸出MY2 ；根據(jù)待測磁傳感器的輸出MYl和MY2，計(jì)算待測磁傳感器Y軸的偏置輸出和/或靈敏度。進(jìn)一步的，在不同實(shí)施方式中，其中該集成傳感器的測試方法，其還包括測試待測集成傳感器中的磁傳感器Z軸的步驟，其包括:使用標(biāo)準(zhǔn)電路校準(zhǔn)測試裝置接口的Z軸磁場測試參數(shù)；調(diào)整所述磁傳感器Z軸與地磁場的磁力線平行，讀出測試裝置對于所述磁傳感器Z軸的測試輸出MZl ；旋轉(zhuǎn)待測磁傳感器180度，讀出其測試輸出MZ2 ；根據(jù)待測磁傳感器的輸出MZl和MZ2，計(jì)算待測磁傳感器Z軸的偏置輸出和/或靈 敏度。進(jìn)一步的，在不同實(shí)施方式中，其中該集成傳感器的測試方法，其還包括測試待測集成傳感器中的加速度傳感器Y軸的步驟，其包括:調(diào)整所述待測加速度傳感器的Y軸與重力場方向平行，讀出測試裝置對于所述加速度傳感器Y軸的測試輸出AYl ；旋轉(zhuǎn)待測加速度傳感器180度，讀出其測試輸出AY2 ；根據(jù)待測加速度傳感器Y軸的測試輸出AYl和AY2，計(jì)算待測加速度傳感器Y軸的偏置輸出和/或靈敏度。進(jìn)一步的，在不同實(shí)施方式中，其中該集成傳感器的測試方法，其還包括測試待測集成傳感器中的加速度傳感器Z軸的步驟，其包括:調(diào)整所述待測加速度傳感器的Z軸與重力場方向平行，讀出此時(shí)測試裝置對于所述加速度傳感器Z軸的測試輸出AZl ；旋轉(zhuǎn)待測加速度傳感器180度，讀出其測試輸出AZ2 ；根據(jù)待測加速度傳感器Z軸的測試輸出AZl和AZ2，計(jì)算待測加速度傳感器Z軸的偏置輸出和/或靈敏度。進(jìn)一步的，在不同實(shí)施方式中，其中該集成傳感器的測試方法中涉及使用的計(jì)算待測集成傳感器中的磁傳感器各軸偏置輸出的公式包括以下公式中的至少一個(gè):χ偏置輸出=(ΜΧ1+ΜΧ2)/2 ^偏置輸出=(ΜΥ1+ΜΥ2)/2 ;以及Z偏置輸出=(MZ1+MZ2)/2 ;以及，其中涉及使用的計(jì)算待測集成傳感器中的磁傳感器各軸靈敏度的公式包括以下公式中的至少一個(gè):X靈敏度=(ΜΧ1-ΜΧ2)/2/該位置X補(bǔ)償系數(shù)；Y靈敏度=(ΜΥ1_ΜΥ2)/2/該位置Y補(bǔ)償系數(shù)；以及Z靈敏度=(ΜΖ1-ΜΖ2)/2/該位置Z補(bǔ)償系數(shù)。進(jìn)一步的，在不同實(shí)施方式中，其中該集成傳感器的測試方法中涉及使用的計(jì)算待測集成傳感器中的加速度傳感器各軸偏置輸出的公式包括以下公式中的至少一個(gè):χ偏置輸出=(ΑΧ1+ΑΧ2)/2 ;￥偏置輸出=(ΑΥ1+ΑΥ2)/2 ;以及Z偏置輸出=(AZ1+AZ2)/2 ;以及，其中涉及使用的計(jì)算待測集成傳感器中的磁傳感器各軸靈敏度的公式包括以下公式中的至少一個(gè)-X靈敏度=(ΑΧ1-ΑΧ2)/2/該位置X補(bǔ)償系數(shù)；Y靈敏度=(ΑΥ1_ΑΥ2)/2/該位置Y補(bǔ)償系數(shù)；以及Z靈敏度=(ΑΖ1-ΑΖ2)/2/該位置Z補(bǔ)償系數(shù)。進(jìn)一步的，本專利技術(shù)的又一個(gè)實(shí)施方式，還提供了一種用于實(shí)施本專利技術(shù)涉及的集成傳感器的測試方法的集成傳感器測試系統(tǒng)，其包括測試裝置。該測試裝置包括數(shù)據(jù)處理裝置、測試平臺、設(shè)置于所述測試平臺上的器件測試板(DUT板，Device Under Test板)、轉(zhuǎn)軸以及驅(qū)動電機(jī)。其中轉(zhuǎn)軸與測試平臺連接，并可在所述驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動下帶動測試平臺進(jìn)行X軸方向上的樞軸轉(zhuǎn)動，進(jìn)而帶動器件測試板進(jìn)行該方向上的轉(zhuǎn)動。器件測試板用于連接待測集成傳感器。而數(shù)據(jù)處理裝置用于輸出所述器件測試板在轉(zhuǎn)動測試過程中，對于待測集成傳感器關(guān)于地磁場和重力場的測試輸出，進(jìn)而根據(jù)這些測試輸出數(shù)據(jù)計(jì)算得出待測集成傳感器中的磁傳感器和加速度傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度。進(jìn)一步的，在不同實(shí)施方式中，本專利技術(shù)涉及的測試裝置所使用的轉(zhuǎn)軸，包括有相互豎直設(shè)置的第一轉(zhuǎn)軸以及第二轉(zhuǎn)軸，其中第一轉(zhuǎn)軸是可轉(zhuǎn)動的配接于第二轉(zhuǎn)軸上。第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸間的配合可實(shí)現(xiàn)所述測試平臺，在X、Y、Z軸三個(gè)方向上的轉(zhuǎn)動。具體地說，第一轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)XY平面的轉(zhuǎn)動，而與第一轉(zhuǎn)軸豎直設(shè)置的第二轉(zhuǎn)軸則實(shí)現(xiàn)Z軸方向的轉(zhuǎn)動。如此，第一轉(zhuǎn)軸和第二轉(zhuǎn)軸間的配合可實(shí)現(xiàn)測試平臺，在X、Y、Z軸三個(gè)方向上的轉(zhuǎn)動。這樣，使得本專利技術(shù)涉及的測試系統(tǒng)，可進(jìn)行單軸、二軸、三軸傳感器的測試，適用范圍更廣。而且，也保證在測試過程中，能夠?qū)崿F(xiàn)自動化操作，以提升測試效率。進(jìn)一步的，在不同實(shí)施方式中，其中該集成傳感器測試系統(tǒng)，還包括自動取放裝置(pick and place handler)。該自動取放裝置用于取、放器件測試板到測試裝置的測試平臺上的預(yù)定位置，以及取、放集成傳感器到所述器件測試板的接口上。在本專利技術(shù)中，自動取放裝置的設(shè)置，使得本專利技術(shù)涉及的集成傳感器測試系統(tǒng)，在整個(gè)的待測集成傳感器的測試 過程中，完全的實(shí)現(xiàn)了自動化的操作，不再需本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種集成傳感器的測試方法，其中所述集成傳感器包括磁傳感器和加速度傳感器，其特征在于：其包括以下步驟：將測試裝置的X軸與當(dāng)?shù)卮艌龅拇帕€平行；使用標(biāo)準(zhǔn)電路校準(zhǔn)測試裝置接口的X軸測試參數(shù)；將待測集成傳感器接入測試裝置的接口上，調(diào)整其磁傳感器的X軸與地磁場的磁力線平行，讀出測試裝置對于所述磁傳感器X軸的測試輸出MX1；旋轉(zhuǎn)待測磁傳感器180度，讀出其測試輸出MX2；根據(jù)待測磁傳感器的X軸的測試輸出MX1和MX2，計(jì)算待測磁傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度；調(diào)整待測集成傳感器的位置，使得其加速度傳感器的X軸與重力場方向平行，讀出此時(shí)測試裝置對于所述加速度傳感器X軸的測試輸出AX1；旋轉(zhuǎn)待測加速度傳感器180度，讀出其測試輸出AX2；根據(jù)待測加速度傳感器X軸的測試輸出AX1和AX2，計(jì)算待測加速度傳感器X軸的偏置輸出和/或靈敏度。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉海東，顧浩琦，丁雪龍，
申請(專利權(quán))人：美新半導(dǎo)體無錫有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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