一種多夾頭晶片夾具制造技術

本發明專利技術公開了一種多夾頭晶片夾具，通過施力于夾臂控制夾頭，減小各夾頭之間距使其合攏并接觸晶片的側邊緣，來完成夾片操作。本發明專利技術包含有四個及以上夾頭，夾頭安裝在夾臂末端，在其一個及以上夾臂末端上可安裝多個夾頭，形成多夾頭夾具，部分夾臂相對固定，其余夾臂可定向移動帶動夾頭靠攏、接觸晶片側邊緣實施夾取操作，夾臂之間形成有夾角。本發明專利技術的多夾頭夾具，僅需其中三個夾頭作用在晶片上，便能達到夾具的作用，從而降低對夾頭的控制精確度的要求及夾持晶片的操控難度，提高安全性。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種夾具，特別涉及多夾頭夾具在夾持晶片過程中僅需其中三個夾頭作用即可完成夾片操作，從而降低夾持操控難度，提高安全性。
技術介紹
為代表的第三代半導體材料，因其內、外量子效率高，具有高發光效率、高熱導率、耐高溫、抗輻射、耐酸堿、高強度和高硬度等特性，而在新型光顯示、光存儲、光照明、光探測器件等領域被廣泛應用。目前這些半導體行業的生產規模在不斷擴大，其產量在不斷增加。這些半導體行業以及相關電子產業如火如荼的發展，自然引發大家對在這些產業生產中使用頻繁且不可缺少的生產用具即晶片夾具的關注。目前夾取直徑為兩寸、三寸、四寸等大尺寸的半導體晶片，常用的主要有兩種方式，一種是用普通的鑷子，另一種是真空負壓吸取。普通鑷子利用其兩夾頭夾住晶片的正反兩面完成夾片操作；真空吸取的吸盤是用橡膠制成，使用時真空負壓吸盤吸住晶片表面，借助真空負壓吸力將晶片吸住并保持。目前夾具對夾頭的控制精確度比較低，操作難度較大、工作效率低；真空吸附式夾具不適合于高溫環境。上述的鑷子不管是兩夾頭、三夾頭的鑷子還是真空吸取對夾取準確度要求較高。對兩夾頭、三夾頭的鑷子，要求所有的夾頭同時施力于晶片側邊緣才能完成夾持操作，而真空吸取，則其吸盤不可以發生形變或有贓物，若吸盤易發生形變或有贓物，則導致漏氣無法完成夾片操作，夾持操作失靈。故此，若有一種夾具，在夾片操作時，對其中某個別夾頭的夾取控制準確度要求可以適當降低，既不會因某個夾頭因其夾取動作不到位而影響到夾片操作，則這種夾具的使用將會更加安全可靠。
技術實現思路
本專利技術的目地在于針對現有技術存在的不足，提供一種多夾頭夾具，含有四個或四個以上夾頭，夾頭安裝在夾臂末端，并通過施力于夾臂控制夾頭，減小各夾頭之間距使其合攏并接觸晶片的側邊緣，來完成夾片操作。夾具在夾取晶片的操作中僅需確保其中任意三個夾頭夾住晶片的側邊緣即可順利完成夾片操作。本專利技術夾具，根據使用需求，可以對夾頭、夾臂的選型、選材、自由安裝組合而達到上述要求。為達到上述目的，本專利技術采用以下方案: 一種多夾頭晶片夾具，包含有四個及以上夾頭，夾頭安裝在夾臂末端，在其一個及以上夾臂末端上可安裝多個夾頭，形成多夾頭夾具，這些夾頭均能施力于晶片側邊緣并完成夾持操作，此時至少有兩個夾臂才能實現上述夾取目的，即夾臂的數量可以為兩個及以上；所述夾臂中，部分夾臂相對固定，其余夾臂可定向移動帶動夾頭靠攏、接觸晶片側邊緣實施夾取操作；上述多夾頭夾具的夾臂相互連接處可置于:夾臂首端；夾臂中段；以及遠離夾臂末端(與夾頭相連處)的其他任何部位；夾臂之間形成有夾角，所述夾臂的運動屬性為:其中一條夾臂具有一定運動彈性及受力變位功能，其余夾臂相對固定不動；或其中兩條夾臂具有一定運動彈性及受力變位功能，其余夾臂相對固定不動；或所有夾臂均具有一定運動彈性及受力變位功能；夾頭與夾臂末端的安裝方式，包括一體成型、碾壓、螺絲結合、黏合、焊接、鉗夾以及其他安裝方式。在其中一些實施例中，所述夾頭形狀可以為扁平狀、挖耳狀、鏟形、鴨嘴形、構形、倒三角、尖峰狀等，其中任意三個夾頭施力于晶片側面，即可順利完成夾片操作。在其中一些實施例中，所述夾臂通過施力帶動夾頭移動，使各夾頭之間距縮小并靠攏，而完成夾片操作，所述夾臂的形狀可以為:扁平狀、圓柱形、以及錐形等夾臂粗細不要求全部相等，如:所有夾臂粗細相同；其中一個夾臂粗細與其他所有夾臂粗細不同；其中兩個夾臂粗細相同，其他所有夾臂粗細不相同；所有夾臂粗細均不相同；以及不同于上述情況的其他類似變化。在其中一些實施例中，所述夾臂材質可以根據施力情況及使用溫度等不同需求，可選擇:鐵質、碳素、不銹鋼、塑膠、鋁合金以及其他復合型材料。在其中一些實施例中，所述多夾頭形狀自由組合，所有夾頭大小相同；或所有夾頭大小均不相同；或其中兩個夾頭大小相同，其余夾頭大小均不相同；或其中一個夾頭大小與另外所有夾頭大小均不相同；以及其他與上述情況不同的其他任何組合；所述夾頭具有耐高溫的特點，所述夾頭采用:鐵質、碳素、不銹鋼、塑膠、鋁合金以及其他復合型材料。在其中一些實施例中，所述多夾頭夾具還可具有其他多種實施方式:如，四夾頭、三夾臂；五夾頭、五夾臂；以及多夾頭、多夾臂；夾臂和夾頭組裝時，一個夾臂末端安裝兩個夾頭。在其中一些實施例中，所述夾具設有四夾臂、四夾頭夾具，包含四個大小、形狀相同的A夾臂、B夾臂、C夾臂、D夾臂，它們的頂端相互連接，并互成夾角；所述夾具還包括四個大小形狀相同的A夾頭、B夾頭、C夾頭、D夾頭，這四個夾頭均豎直放置且分別與A夾臂、B夾臂、C夾臂、D夾臂一體連接；所述A夾頭、B夾頭、C夾頭、D夾頭四個夾頭與晶片接觸點均處于同一平面，四夾頭所構成的同心圓直徑略大于晶片的直徑。在其中一些實施例中，所述夾具包含二個大小、形狀相同的A夾臂、B夾臂，它們的頂端相互連接，并互成夾角，而每個夾臂末端各聯二個夾頭，A夾臂末端設有Al夾頭、A2夾頭，B夾臂末端設有BI夾頭、B2夾頭，Al夾頭、A2夾頭、BI夾頭、B2夾頭這四個夾頭均豎直放置且分別與各自夾臂一體連接；該四個夾頭與晶片的接觸點均處于同一平面，四夾頭所構成的同心圓的直徑略大于晶片直徑。本專利技術提供一種多夾頭夾具，包括4個及4個以上的夾頭，在晶片夾持過程中，僅需其中三個夾頭作用在晶片上，便能達到夾具的作用，從而降低對夾頭的控制精確度的要求及夾持晶片的操控難度，提高安全性。且可根據夾具的使用環境，其材質可選用鐵質、碳素、不銹鋼、塑膠、鋁合金以及其他復合型材料，在高溫或常溫均可使用。附圖說明圖1所示本專利技術實施例一的示意圖。圖2所示本專利技術實施例二的示意圖。附圖標記說明如下: A夾臂1、B夾臂2、C夾臂3、D夾臂4、A夾頭5、B夾頭6、C夾頭7、D夾頭8、晶片9、Al夾頭13、A2夾頭14, BI夾頭15、B2夾頭16。具體實施例方式為能進一步了解本專利技術的特征、技術手段以及所達到的具體目地、功能，解析本專利技術的優點與精神，藉由以下通過實施例對本專利技術做進一步的闡述。本專利技術實施例的效果圖參見附圖1、附圖2，本專利技術提供一種多夾頭夾具，它含有四個或四個以上夾頭。所述夾頭安裝在夾臂末端，通過夾臂施力帶動夾頭移動，使各夾頭之間距縮小并靠攏，而完成夾片操作。所述夾具在夾取晶片操作中，僅需確保其中任意三個夾頭施力于晶片側面，即可順利完成夾片操作。所述夾具可以根據使用需求，對夾頭、夾臂的選型、選材，進行自由組合就可達到本專利技術目的。上述夾具，它由夾頭和夾臂兩種主要部件組裝而成。所述夾具為多夾頭夾具，其夾頭的數量可以為4個或4個以上，這些夾頭均能施力于晶片側邊緣并完成夾持操作，其形狀可以為扁平狀、挖耳狀、鏟形、鴨嘴形、構形、倒三角、尖峰狀等。在能達到上述夾取目的前提下，所述多夾頭，其大小可隨意選擇并自由組合，如:所有夾頭大小相同；所有夾頭大小均不相同；其中兩個夾頭大小相同，其余夾頭大小均不相同；與上述情況不同的其他任何組合。所述夾頭具有耐高溫的特點，可采用:鐵質、碳素、不銹鋼、塑膠、鋁合金以及其他復合型材料。本專利技術多夾頭夾具，在其一個夾臂上可安裝多個夾頭，此時至少有兩個夾臂才能實現上述夾取目的，即夾臂的數量可以為2個、3個或4個以上。所述夾臂中，部分夾臂相對固定，其余夾臂可定向移動帶動夾頭靠攏、接觸晶片側邊緣實施夾取操作。所述夾臂的運動本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種多夾頭晶片夾具，包含有：四個及以上夾頭，其特征在于，所述夾頭安裝在夾臂末端，在其中一個及以上夾臂末端上安裝兩個及以上夾頭，形成多夾頭夾具，所述夾臂的數量兩個及以上；所述夾臂中，部分夾臂相對固定，其余夾臂可定向移動帶動夾頭靠攏、接觸晶片側邊緣實施夾取操作；所述夾臂相互連接，所述夾臂相互連接處置于夾臂首端或夾臂中段或遠離夾臂末端；所述夾臂之間形成有夾角；所述夾臂的運動屬性為：其中一條夾臂具有一定運動彈性及受力變位功能，其余夾臂相對固定不動；或其中兩條夾臂具有一定運動彈性及受力變位功能，其余夾臂相對固定不動；或所有夾臂均具有一定運動彈性及受力變位功能；所述夾頭與夾臂末端的安裝方式，包括一體成型、碾壓、螺絲結合、黏合、焊接、鉗夾安裝方式。

【技術特征摘要】
1.一種多夾頭晶片夾具，包含有:四個及以上夾頭，其特征在于，所述夾頭安裝在夾臂末端，在其中一個及以上夾臂末端上安裝兩個及以上夾頭，形成多夾頭夾具，所述夾臂的數量兩個及以上；所述夾臂中，部分夾臂相對固定，其余夾臂可定向移動帶動夾頭靠攏、接觸晶片側邊緣實施夾取操作；所述夾臂相互連接，所述夾臂相互連接處置于夾臂首端或夾臂中段或遠離夾臂末端；所述夾臂之間形成有夾角； 所述夾臂的運動屬性為:其中一條夾臂具有一定運動彈性及受力變位功能，其余夾臂相對固定不動；或其中兩條夾臂具有一定運動彈性及受力變位功能，其余夾臂相對固定不動；或所有夾臂均具有一定運動彈性及受力變位功能； 所述夾頭與夾臂末端的安裝方式I包括一體成型、碾壓、螺絲結合、黏合、焊接、鉗夾安裝方式。2.根據權利要求1所述的一種多夾頭晶片夾具，其特征在于，所述夾頭形狀為扁平狀、挖耳狀、鏟形、鴨嘴形、構形、倒三角、尖峰狀，其中任意三個夾頭施力于晶片側面。3.根據權利要求1所述的一種多夾頭晶片夾具，其特征在于，所述夾臂通過施力帶動夾頭移動，使各夾頭之間距縮小并靠攏，而完成夾片操作； 所述夾臂的形狀為:扁平狀、圓柱形、錐形； 所述夾臂粗細為:所有夾臂粗細相同；或其中一個夾臂粗細與其他所有夾臂粗細不同；或其中兩個夾臂粗細相同，其他所有夾臂粗細不相同。4.根據權利要求1所述的一種多夾頭晶片夾具，其特征在于，所述夾臂材質為:鐵質、碳素、不銹鋼、塑膠、鋁合金。5.根據權利要求1所述的一種多夾頭晶片夾具，其特征在于，所述夾頭形狀為大小相同；或所有夾頭大小相同；或其中兩個夾頭大小相同，...

【專利技術屬性】
技術研發人員：劉鵬，畢綠燕，趙紅軍，張國義，童玉珍，廉宗隅，
申請(專利權)人：東莞市中鎵半導體科技有限公司，北京大學，
類型：發明
國別省市：