一種用于多級干式真空泵的氣路分配系統技術方案

本發明專利技術屬于真空泵領域，具體地說是一種用于多級干式真空泵的氣路分配系統，包括集成模塊、孔板、銷及壓力傳感器，其中集成模塊內分別開有進氣通道及出氣通道，進氣通道與出氣通道通過位于兩者之間的孔板相連通；所述出氣通道內插設有可轉動的銷，銷位于出氣通道內的部分開有多個通孔；所述集成模塊的進氣端及出氣端分別設有與進氣通道連通的進氣口及與出氣通道連通的出氣口，所述壓力傳感器分別安裝在集成模塊的進氣端及出氣端，分別測量所述孔板兩側的氣體流量。本發明專利技術通過銷的旋轉，以不同孔徑的通孔與出氣口對接，不用更換氣路即可實現各輸出管路間不同流量比例的氣體輸出。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種用于多級干式真空泵的氣路分配系統，其特征在于：包括集成模塊(1)、孔板(4)、銷(5)及壓力傳感器(9)，其中集成模塊(1)內分別開有進氣通道(10)及出氣通道(8)，進氣通道(10)與出氣通道(8)通過位于兩者之間的孔板(4)相連通；所述出氣通道(8)內插設有可轉動的銷(5)，銷(5)位于出氣通道(8)內的部分開有多個通孔(7)；所述集成模塊(1)的進氣端及出氣端分別設有與進氣通道(10)連通的進氣口(2)及與出氣通道(8)連通的出氣口(3)，所述壓力傳感器(9)分別安裝在集成模塊(1)的進氣端及出氣端，分別測量所述孔板(4)兩側的氣體流量。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：張振厚，王光玉，孔祥玲，
申請(專利權)人：中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司，
類型：發明
國別省市：遼寧;21