【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體分立器件和太陽能電池片的制造領(lǐng)域。
技術(shù)介紹
磷擴(kuò)散是半導(dǎo)體分立器件、集成電路芯片和太陽能電池片制作PN結(jié)所必須的一道工藝，目前這道工藝所采用的技術(shù)是熱擴(kuò)散技術(shù)。半導(dǎo)體分立器件主要用于制造二極管、三極管、功率器件、IGBT及晶閘管等，該系列產(chǎn)品在國內(nèi)有上百億的銷售額，產(chǎn)能非常龐大。另一方面作為太陽能電池片的用途，硅片運(yùn)用也非常廣泛，全球70%以上的太陽能電池片是使用硅片作為電池片的。2011年已經(jīng)實(shí)現(xiàn)25GW的產(chǎn)能，多晶用量達(dá)到18萬噸是半導(dǎo)體用量的6倍，因此太陽能的產(chǎn)量比半導(dǎo)體產(chǎn)量更大。國內(nèi)能夠生產(chǎn)太陽能電池硅片廠家約120多家，而能夠生產(chǎn)半導(dǎo)體分立器件擴(kuò)散片的廠家也達(dá)到幾十家。用于磷擴(kuò)散的擴(kuò)散爐每個廠家基本有幾十臺到上百臺，市場需求量很大。目前市場上技術(shù)成熟的磷擴(kuò)散技術(shù)主要有三種:1、采用液態(tài)三氯氧磷源擴(kuò)散；2、采用噴涂磷酸水溶液后鏈?zhǔn)綌U(kuò)散；3、采用磷源紙夾層后鏈?zhǔn)綌U(kuò)散。這三種磷擴(kuò)散的方法以液態(tài)磷源擴(kuò)散的方法具有生產(chǎn)效率較高，得到PN結(jié)均勻、平整和擴(kuò)散層表面良好等優(yōu)點(diǎn)，因此運(yùn)用范圍最廣，生產(chǎn)廠家普遍采用該方法進(jìn)行大批量生產(chǎn)。磷擴(kuò)散方法的結(jié)構(gòu)圖如附圖說明圖1所示，磷擴(kuò)散的化學(xué)反應(yīng)方程式如下:
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于：該抽風(fēng)管為U形管，抽風(fēng)管的管道內(nèi)壁設(shè)有特氟龍涂層，所述抽風(fēng)管底部開口并設(shè)有縮口結(jié)構(gòu)，所述縮口結(jié)構(gòu)外壁上設(shè)有倒鉤，該密封水箱包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側(cè)張開的張口結(jié)構(gòu)，所述張口結(jié)構(gòu)內(nèi)壁安裝一圈密封圈，所述密封箱體上方敞口上邊沿外側(cè)安裝有固定扣，所述縮口結(jié)構(gòu)插入所述張口結(jié)構(gòu)，所述固定扣與所述倒鉤扣合，所述密封圈與所述縮口結(jié)構(gòu)外壁形成密封。
【技術(shù)特征摘要】
1.磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:該抽風(fēng)管為U形管，抽風(fēng)管的管道內(nèi)壁設(shè)有特氟龍涂層，所述抽風(fēng)管底部開口并設(shè)有縮口結(jié)構(gòu)，所述縮口結(jié)構(gòu)外壁上設(shè)有倒鉤，該密封水箱包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側(cè)張開的張口結(jié)構(gòu)，所述張口結(jié)構(gòu)內(nèi)壁安裝一圈密封圈，所述密封箱體上方敞口上邊沿外側(cè)安裝有固定扣，所述縮口結(jié)構(gòu)插入所述張口結(jié)構(gòu)，所述固定扣與所述倒鉤扣合，所述密封圈與所述縮口結(jié)構(gòu)外壁形成密封。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管與密封水箱連接結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述抽風(fēng)管包括橫截面為方形的管道本體，所述管道本體內(nèi)設(shè)有一豎直的中間隔板將抽風(fēng)管分隔成U形結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磷擴(kuò)散爐抽風(fēng)管與密封水...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳功，
申請(專利權(quán))人：陳功，
類型：發(fā)明
國別省市：浙江;33
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