【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種非球面的面形檢測方法，其特征在于該方法包括下列步驟：①根據待測非球面（3）制作與之匹配的反射補償鏡（4）：利用光學設計軟件優化設計出所述的反射補償鏡（4）的參數，使得透過所述的待測非球面（3）的光束經所述的反射補償鏡（4）反射后原路返回，利用所述的反射補償鏡（4）的參數在金剛石車床上加工所述的反射補償鏡（4）；②在移相干涉儀（1）輸出光束方向依次放入標準鏡（2）、待測非球面（3）和反射補償鏡（4）；③調整光路：調整所述的標準鏡（2）的中軸與所述的移相干涉儀（1）出射的平行光束的光軸重合；調整所述的待測非球面（3）的中軸與移相干涉儀（1）出射光束的光軸重合；調整所述的反射補償鏡（4），使所述的反射補償鏡（4）豎直放入光路中，所述的移相干涉儀（1）出射的光束經所述的標準鏡（2）形成測量光束，經所述的標準鏡（2）返回的光束稱為參考光束；所述的測量光束透過所述的待測非球面（3）再經所述的反射補償鏡（4）反射沿原路返回，該原路返回的測量光束與標準鏡（2）返回的參考光束在所述的移相干涉儀（1）中產生干涉條紋；④調整所述的待測非球面（3）和所述的反射補償鏡（4）之間的距離獲得完整清晰的干涉條紋，...
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：楊寶喜，袁喬，曾愛軍，李璟，陳明，黃惠杰，
申請(專利權)人：中國科學院上海光學精密機械研究所，
類型：發明
國別省市：
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