一種氣氛隔離的多點測溫裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術涉及一種測溫裝置，具體涉及一種氣氛隔離的多點測溫裝置。該裝置包括一根氣氛隔離用的氣氛隔離保護套管，還包括通過組合固定手柄安裝在氣氛隔離保護套管內部的多點測溫組件；所述多點測溫組件包含多支測溫用熱電偶、一個用于分布所述熱電偶的預制多芯管以及用于集成所述熱電偶的熱電偶接插件。該裝置能夠有效隔離外界污染、固定各測溫點的熱電偶，測溫準確，同時由于結構緊湊，安裝更換方便，可以滿足長時在線溫度測量的需求。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及一種測溫裝置，具體涉及一種氣氛隔離的多點測溫裝置。
技術介紹
傳統的測溫裝置只設有一個感溫元件，只能測量某一個點的溫度，對于需要測量和控制多個溫度點的裝置來說，就需要安裝多個熱電偶裝置，設備投資較大，并且結構復雜，不利于實現和具體操作。中國專利CN2911628Y公開了一種多點測溫的鎧裝熱電偶裝置，特點是在沿著保護管方向設有多只梯度布置的感溫元件，可以同時測量分布在同一直線上的多個測溫點的溫度值。但這種裝置熱電偶沒有固定裝置固定，容易相互纏繞干擾，影響溫度準確測量。尤其針對在要求進行氣氛隔離溫度測量的高潔凈半導體、光伏高溫加熱制程領域，比如高溫擴散爐、氧化爐、退火爐等進行多點的溫度測量時，常使用熱電偶進行溫度的測量。在空間狹小，帶有工件傳動裝置時，熱電偶極易受到金屬及大氣等的污染，氣氛的有效隔離可以避免金屬及大氣等的污染，同時測溫裝置的尺寸也要求越小越好。多點測溫時，各支熱電偶相互之間的固定管理非常必要，否則更容易出現前述的相互纏繞干擾的問題。因此，需要一種結構緊湊小巧，操作簡單、可行的測溫裝置，實現不被外界環境干擾，且熱電偶之間能夠獨立地不受干擾地工作。
技術實現思路
本技術提供了一種氣氛隔離的多點測溫裝置，很好地解決了有效隔離外界污染、能夠固定各測溫點的熱電偶的問題，測溫準確，同時由于結構緊湊、安裝更換方便，可以滿足長時在線溫度測量的需求。甚至可以直接取代傳統擴散爐、氧化爐、退火爐等使用的拉溫區用熱偶或直接用于擴散爐、氧化爐、退火爐等的串級溫度控制的profile TC而不需另外的氣氛隔離套管。本技術的技術方案如下:—種氣氛隔離的多點測溫裝置，包括一根氣氛隔離用的氣氛隔離保護套管，還包括通過組合固定手柄安裝在氣氛隔離保護套管內部的多點測溫組件；所述多點測溫組件包含多支測溫用熱電偶、一個用于分布所述熱電偶的預制多芯管以及用于集成所述熱電偶的熱電偶接插件。所述測溫熱電偶類型根據溫度不同進行選擇。所述預制多芯管同時起到熱電偶偶絲之間及測溫點絕緣的作用。所述預制多芯管上根據測溫點的位置預開有若干個環形槽，每個環形槽對應一個測溫點。所述預制多芯管的管芯每相鄰的兩個為供一支熱電偶穿過的一組；其中兩個管芯開在預制多芯管的軸心處，為一組；其余管芯呈圓周等間距地分布在預制多芯管上，且穿過環形槽，每相鄰兩個管芯為一組；所述管芯的總數量為偶數，且為測溫點數的兩倍。所述預制多芯管軸心處的兩個管芯一般對應最遠測溫點。所述預制多芯管由于其所處環境特殊，選材和制作方法也非常重要，為一體燒結成型的多芯剛玉管或多芯碳化硅管，預制多芯管的測溫點尺寸根據實際測量點進行確定后加工燒結而成。所述管芯孔徑較熱電偶偶絲的絲徑寬0.Γ0.2mm ;所述熱電偶偶絲因為溫度較高，所以選用裸絲。所述氣氛隔離保護套管的材料根據耐溫性能要求不同一般選用石英或碳化硅。所述氣氛隔離保護套管外部設有與反應腔體相適配的氣氛密封裝置，所述氣氛密封裝置可以是標準球頭、球碗或密封法蘭。所述組合固定手柄的材料為不銹鋼或PTFE材料，組合固定手柄起到連接固定所述預制多芯管及氣氛保護套管的作用，固定之前最好使用耐高溫特氟龍熱縮套管對熱電偶偶絲進行絕緣處理。所述熱電偶接插件起到連接熱電偶偶絲與補償導線的作用。使用時，將熱電偶穿入預制多芯管上開好的管芯，最遠測溫點兩根偶絲穿過預制多芯管軸心上的兩個管芯。將穿好的偶絲另一端用特氟龍熱縮套管進行線束固定絕緣處理，然后將組合有氣氛密封裝置的氣氛隔離保護套管和處理好的測溫組件利用組合固定手柄進行組裝固定，最后將偶絲連接到熱電偶接插件上。組裝完成后的測溫裝置插入工藝腔內，利用氣氛密封裝置進行密封連接，開始進行測量。與現有技術相比，本技術的氣氛隔離的多點測溫裝置，通過外部設置氣氛隔離保護套管及內部設置分布熱電偶用的特殊材質的預制多芯管，有效地解決了高潔凈半導體、光伏高溫加熱制程領域，比如高溫擴散爐、氧化爐、退火爐等，進行多點溫度測量時的氣氛隔離及熱電偶絲之間固定和可靠地`絕緣等問題，測溫準確；同時，其結構緊湊小巧，安裝更換方便，可以滿足長時在線溫度測量的需求。附圖說明圖1是本技術的氣氛隔離的多點測溫裝置的剖面結構示意圖；圖2是本技術的氣氛隔離的多點測溫裝置的截面結構示意圖；圖3是本技術的圖1中A部分的局部放大圖；圖4是本技術的圖1中B部分的局部放大圖。具體實施方式下面通過實施例，并結合附圖，對本技術的技術方案作進一步詳細的說明，但不限于本實施例的內容。實施例1—種氣氛隔離的多點測溫裝置，如圖1、圖3和圖4所不,包括一根石英材質的氣氛隔離用的氣氛隔離保護套管I和通過組合固定手柄6安裝在氣氛隔離保護套管內部的多點測溫組件；多點測溫組件包含一個用于分布熱電偶2的一體燒結成型的多芯剛玉管3、多支測溫用的熱電偶2以及用于集成所述多支測溫用熱電偶2的熱電偶接插件8。多芯剛玉管3同時起到熱電偶偶絲之間及測溫點絕緣的作用。所述熱電偶接插件8起到連接熱電偶偶絲與補償導線的作用。多芯剛玉管3上根據測溫點的位置預開有五個環形槽4，每個環形槽4對應一個測溫點。如圖2所示，多芯剛玉管3的管芯每相鄰的兩個為供一支熱電偶2穿過的一組；其中多芯剛玉管3的軸心處開有兩個最遠測溫點用管芯10，為一組；其余管芯9呈圓周等間距地分布在多芯剛玉管3上，且穿過環形槽4，每相鄰兩個管芯為一組。以上管芯(9，10)共計有6組、12個。管芯(9，10)的孔徑較熱電偶偶絲的絲徑寬0.2mm ;熱電偶偶絲選用裸絲。氣氛隔離保護套管I外部設有與反應腔體相適配的密封球碗5。所述組合固定手柄6的材料為PTFE，組合固定手柄6起到連接固定所述多芯剛玉管3及氣氛保護套管I的作用，固定之前使用耐高溫特氟龍熱縮套管7對熱電偶偶絲進行絕緣處理。使用時，將熱電偶2穿入多芯剛玉管3上開好的管芯(9，10)，將穿好的熱電偶偶絲另一端用特氟龍熱縮套管7進行線束固定絕緣處理，然后將組合有密封球碗5的氣氛隔離保護套管I和處理好的測溫組件利用組合固定手柄6進行組裝固定，最后將熱電偶偶絲連接到熱電偶接插件8上。組裝完成后的測溫裝置插入工藝腔內，利用密封球碗5進行密封連接，開始進行測量。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種氣氛隔離的多點測溫裝置，包括一根氣氛隔離用的氣氛隔離保護套管，其特征在于，還包括通過組合固定手柄安裝在氣氛隔離保護套管內部的多點測溫組件；所述多點測溫組件包含多支測溫用熱電偶、一個用于分布所述熱電偶的預制多芯管以及用于集成所述熱電偶的熱電偶接插件。

【技術特征摘要】
1.一種氣氛隔離的多點測溫裝置，包括一根氣氛隔離用的氣氛隔離保護套管，其特征在于，還包括通過組合固定手柄安裝在氣氛隔離保護套管內部的多點測溫組件；所述多點測溫組件包含多支測溫用熱電偶、一個用于分布所述熱電偶的預制多芯管以及用于集成所述熱電偶的熱電偶接插件。2.根據權利要求1所述的氣氛隔離的多點測溫裝置，其特征在于所述預制多芯管上根據測溫點的位置預開有若干個環形槽，每個環形槽對應一個測溫點。3.根據權利要求2所述的氣氛隔離的多點測溫裝置，其特征在于所述預制多芯管的管芯每相鄰兩個為一組，供一支熱電偶穿過；其中兩個管芯分布在預制多芯管的軸心處，為一組；其余管芯呈圓周等間距地分布在預制多芯管上，且穿過環形槽；所述管芯的總數量為偶數，且為測溫點數的兩倍。4.根據權利要求3所述的氣氛隔離的多點測...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳海祥，
申請(專利權)人：漢能科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：