一種新型有機光刻膠剝離液及其制備工藝制造技術

本發明專利技術公開了一種新型有機光刻膠剝離液及其制備工藝。該新型有機光刻膠剝離液包括有機溶劑、有機胺和表面活性劑。該剝離液制備工藝包括常溫常壓下保持配料罐攪拌器轉速，向配料罐中依次加入有機溶劑、有機胺和表面活性劑，充分攪拌后通入過濾器過濾制成成品。本發明專利技術中的剝離液顆粒度小、純度高，剝離光刻膠后的基板表面無雜質殘留；能與光刻膠表面尤其是圖形深孔充分并均勻接觸；使基板表面的剝離速率可控，適用于不同金屬層表面光刻膠的剝離；剝離光刻膠的操作對鋁層無損傷，保證了產品的良率。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及一種金屬材料的化學去膠用組合物及其制備工藝，具體涉及一種新型有機光刻膠剝離液和制備工藝。
技術介紹
剝離是將材料使用化學反應或物理溶解作用而移除光刻膠的技術。剝離技術分為濕法去膠和干法去膠，其中，濕法去膠是采用化學試劑，經由物理溶解或者化學反應光刻膠達到剝離的目的。剝離液為無色透明液體，在現有技術中，薄膜場效應晶體管液晶顯示器(TFT LCD)、發光二極管(LED)、有機發光二極管(OLED)等行業用作面板過程中光刻膠的去除主要采用由氟化物和過氧化氫等危險的化學試劑制成的剝離液，但上述剝離液存在如下缺點:剝離速率難以控制，不同金屬層的剝離效果有差異，剝離液處理后的基板有殘留，影響產品的良率；剝離液對圖形深孔處的光刻膠剝離效果不理想；影響產品的氟化物和過氧化氫等化學試劑對工作人員的安全操作帶來一定的威脅。中國專利200810011907.2中公開了一種光刻膠剝離液，其中含有的組分為表面活性劑I 15%、有機胺5 4%、有機溶劑5 30%、螯合劑0.1 5%、緩蝕劑0.01 5%，余量為水，該剝離液組合物的成分較多，制備工藝復雜，生產成本較高。近年來，人們對液晶顯示器的需求量不斷增加的同時，對產品的質量和畫面精度也提出了更高的要求，而剝離效果的良差能直接導致電路板制造工藝的好壞，影響高密度細導線圖像的精度和質量。若要滿足人們對圖像精度和質量提出的更高要求，本領域技術人員就有必要對現有的剝離液的相關技術做出進一步改進。
技術實現思路
本專利技術的目的之一在于克服現有剝離液技術中的不足，設計一種成分簡單、剝離光刻膠效果良好、成本較低的新型有機光刻膠剝離液配置方案。本專利技術的第二個目的在于克服現有剝離液制備工藝中的不足，設計一種簡潔、合理的新型有機光刻膠剝離液制備工藝。為實現上述目的，本專利技術的技術方案的新型有機光刻膠剝離液包含有機溶劑、單乙醇胺和表面活性劑，所述有機光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機溶劑48% 70%、有機胺28% 50%、表面活性劑0.001% 3%。其中，所述有機溶劑為水溶性有機溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機胺為單乙醇胺。其中，所述含水溶性有機溶劑為二甲基亞砜或二甲基甲酰胺。其中，所述陰離子表面活性劑為月桂酸硫酸鈉、二辛基琥珀酸磺酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉和十六烷基硫酸鈉中的至少一種。其中，所述有機光刻膠剝離液中未溶解雜質顆粒度大于0.3μπι的顆粒數不超過100個,雜質陰離子不超過lppb,雜質陽離子不超過50ppb。本專利技術的技術方案還包括設計一種有機光刻膠剝離液的制備工藝，其特征在于，所述制備工藝包括如下加工步驟:第一步:將有機溶劑、有機胺和表面活性劑按權利要求1所述配比稱重配置；第二步:將有機溶劑加入配料罐中，攪拌下加入有機胺，攪拌均勻；第三步:往混勻的有機溶劑和有機胺的混合物中加入表面活性劑，充分攪拌；第四步:將混合物通入過濾器中過濾，得到所述有機光刻膠剝離液。其中，所述過濾器的微濾膜孔徑為0.05 0.15 μ m。其中，所述過濾在空氣中顆粒度大于0.5 μ m的顆粒不超過100個的百級凈化環境中進行。其中，所述攪拌為機械攪拌或磁力攪拌，攪拌的速度為60 85轉/分鐘。其中，所述攪拌與過濾是在常溫、常壓的狀態下進行。本專利技術的優點和有益效果在于:有機溶劑、有機胺和表面活性劑組成的剝離液純度高、顆粒度小，剝離光刻膠后的基板表面無雜質殘留；能與光刻膠表面尤其是圖形深孔充分并均勻接觸；使基板表面的剝離速率可控，適用于不同金屬層表面光刻膠的剝離；剝離光刻膠的操作對鋁層無損傷，保證了產品的良率。具體實施例方式下面結合實施例，對本專利技術的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本專利技術的技術方案，而不能以此來限制本專利技術的保護范圍。實施例1(I)新型有機光刻膠剝離液組成及制備新型有機光刻膠剝離液包含有機溶劑、有機胺和表面活性劑，有機光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機溶劑50%、有機胺49.999%、表面活性劑0.001%。其中，所述有機溶劑為水溶性有機溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機胺為單乙醇胺。其中，所述含水溶性有機溶劑為二甲基甲酰胺。其中，所述陰離子表面活性劑為月桂酸硫酸鈉。其中，所述有機光刻膠剝離液中未溶解雜質顆粒度大于0.3μπι的顆粒為80個，雜質陰離子為0.8ppb,雜質陽離子為30ppb。上述新型有機光刻膠剝離液的制備工藝包括如下加工步驟:第一步:將有機溶劑、有機胺和表面活性劑按上述配比稱重配置；第二步:將有機溶劑加入配料罐中，攪拌下加入有機胺，攪拌均勻；第三步:往混勻的有機溶劑和有機胺的混合物中加入表面活性劑，充分攪拌；第四步:將混合物通入過濾器中過濾，得到所述有機光刻膠剝離液。其中，所述過濾器的微濾膜孔徑為0.05 0.15 μ m。其中，所述過濾在空氣中顆粒度大于0.5 μ m的顆粒不超過100個的百級凈化環境中進行。其中，所述攪拌為機械攪拌，攪拌的速度為60轉/分鐘。其中，所述攪拌與過濾是在常溫、常壓的狀態下進行。(2)剝離操作將帶有光刻膠的基板浸潰到上述光刻膠剝離液中，剝離溫度為25°C，剝離時間為10分鐘，將基板從剝離液中取出后，用超純水漂洗3分鐘，最后用高純氮氣干燥。(3)剝離結果將剝離后的基板在掃描式電子顯微鏡(SEM)的觀察下，基板表面無殘留，對襯底材料和金屬配線無腐蝕。實驗證明該剝離液能快速剝離基板上的光刻膠及殘留物。實施例2新型有機光刻膠剝離液包含有機溶劑、有機胺和表面活性劑，有機光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機溶劑60%、有機胺39.99%、表面活性劑0.01%。其中，所述有機溶劑為水溶性有機溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機胺為單乙醇胺。其中，所述含水溶性有機溶劑為二甲基亞砜。其中，所述陰離子表面活性劑為二辛基琥珀酸磺酸鈉。其中，所述有機光刻膠剝離液中未溶解雜質顆粒度大于0.3μπι的顆粒為70個，雜質陰離子為0.7ppb,雜質陽離子為40ppb。剝離液的制備同實施例1，區別在于，攪拌為機械攪拌，攪拌的速度為85轉/分鐘。剝離操作及剝離結果同實施例1。實施例3新型有機光刻膠剝離液包含有機溶劑、有機胺和表面活性劑，有機光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機溶劑70%、有機胺29%、表面活性劑1%。其中，所述有機溶劑為水溶性有機溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機胺為單乙醇胺。其中，所述含水溶性有機溶劑為二甲基甲酰胺。其中，所述陰離子表面活性劑為十二烷基苯磺酸鈉。其中，所述有機光刻膠剝離液中未溶解雜質顆粒度大于0.3 μ m的顆粒為65個，雜質陰離子為0.56ppb,雜質陽離子為45ppb。剝離液的制備同實施例1，區別在于，攪拌為磁力攪拌，攪拌的速度為70轉/分鐘。剝離操作及剝離結果同實施例1。實施例4新型有機光刻膠剝離液包含有機溶劑、有機胺和表面活性劑，有機光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機溶劑65%、有機胺32%、表面活性劑3%。其中，所述有機溶劑為水溶性有機溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機胺為單乙醇胺。其中，所述含水溶性有機溶劑為二甲基亞砜。其中，所述陰離子表面活性劑為十六烷基硫酸鈉。其中，所述有機光刻膠剝離液中未溶解雜本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種新型有機光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機光刻膠剝離液包含有機溶劑、單乙醇胺和表面活性劑，所述有機光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為：有機溶劑48％～70％、有機胺28％～50％、表面活性劑0.001％～3％。

【技術特征摘要】
1.一種新型有機光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機光刻膠剝離液包含有機溶劑、單乙醇胺和表面活性劑，所述有機光刻膠剝離液的各組分重量百分比分別為:有機溶劑48% 70%、有機胺28% 50%、表面活性劑0.001% 3%。2.如權利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機溶劑為水溶性有機溶劑，所述表面活性劑為陰離子表面活性劑，所述有機胺為單乙醇胺。3.如權利要求2所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述含水溶性有機溶劑為二甲基亞砜或二甲基甲酰胺。4.如權利要求3所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述陰離子表面活性劑為月桂酸硫酸鈉、二辛基琥珀酸磺酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉和十六烷基硫酸鈉中的至少一種。5.如權利要求4所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述有機光刻膠剝離液中未溶解雜質顆粒度大于0.3 μ m的顆粒數不超過100個，雜質陰離子不超過lppb，雜質陽離子不超過 50ppbo6.一種新型有機光刻...

【專利技術屬性】
技術研發人員：戈士勇，沈翠芬，盛建偉，袁曉蕾，
申請(專利權)人：江陰潤瑪電子材料股份有限公司，
類型：發明
國別省市：