一種檢測潔凈度的裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術公開了一種檢測潔凈度的裝置，包括粒子計數器、能夠將氣體吸入所述粒子計數器的負壓吸氣組件、能夠吹出潔凈氣體的正壓供氣組件、能夠罩在待測物體表面的待測區域上方的罩體、與所述罩體緊密連接的密封圈；其中，所述負壓吸氣組件以及正壓供氣組件的一端分別與所述粒子計數器相連，另一端分別深入到所述罩體與待測區域之間的空間中。本實用新型專利技術通過罩體與密封圈的結合使用，實現了對待測物體表面的空間隔離，從根本上杜絕了待測物體表面粒子的溢出和待測區域外粒子的混入，從源頭上確保了對待測區域進行潔凈度檢測的準確度，有效提高了潔凈度檢測的準確性。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及潔凈度檢測領域，具體涉及一種檢測潔凈度的裝置。
技術介紹
目前，在對待測物體表面的待測區域進行潔凈度檢測時，通常需要將待測區域上方的空氣吸入粒子計數器，以使粒子計數器能夠根據所吸入的空氣中的粒子檢測待測區域的潔凈度。但上述操作中很可能產生明顯的待測區域中粒子的溢出以及待測區域外粒子的混入，從而嚴重影響潔凈度檢測的準確性。
技術實現思路
有鑒于此，本技術的主要目的在于提供一種檢測潔凈度的裝置，以提高潔凈度檢測的準確性。為達到上述目的，本技術的技術方案是這樣實現的:一種檢測潔凈度的裝置，該裝置包括粒子計數器、能夠將氣體吸入所述粒子計數器的負壓吸氣組件、能夠提供潔凈氣體的正壓供氣組件、能夠罩在待測物體表面的待測區域上方的罩體、與所述罩體緊密連接的密封圈；其中，所述負壓吸氣組件以及正壓供氣組件的一端分別與所述粒子計數器相連，另一端分別深入到所述罩體與待測區域之間的空間中。所述密封圈的形狀與所述罩體朝向待測物體的一端的形狀相匹配。所述密封圈的形狀為圓形。所述負壓吸氣組件的吸氣口和/或正壓供氣組件的進氣口與所述密封圈處于相同的水平面。所述正壓供氣組件包括相連的正壓輸氣管、進氣管道和進氣口 ；所述負壓吸氣組件包括負壓吸氣管和吸氣口。所述負壓吸氣管穿過所述罩體并進入罩體所形成的空間，所述負壓吸氣管包括用于將所述罩體所形成的空間中的氣體吸入所述粒子計數器的吸氣口；所述進氣管道位于所述罩體側壁的內部，并且所述進氣管道面向所述密封圈的一端穿過所述罩體進入所述密封圈所形成的空間；所述進氣管道在進入所述密封圈所形成空間的一端上包括能夠將待測物體表面的待測區域中的粒子吹離待測物體表面的進氣口。所述正壓輸氣管和/或負壓吸氣管的數量為一個或多個。所述進氣管道的數量為一個或多個。所述進氣管道的數量為多個，該裝置還包括用于將所述正壓輸氣管與進氣管道相連的連接管道。所述進氣口為能夠自動控制開啟和關閉的單向閥。本技術通過罩體與密封圈的結合使用，實現了對待測物體表面的空間隔離，從根本上杜絕了待測物體表面粒子的溢出和待測區域外粒子的混入，因而從源頭上確保了對待測區域進行潔凈度檢測的準確度，有效提高了潔凈度檢測的準確性。附圖說明圖1為本技術實施例檢測潔凈度的裝置的結構示意圖；附圖標記說明:1、粒子計數器；2、正壓輸氣管；3、進氣管道；4、進氣口 ；5、連接管道；6、負壓吸氣管；7、吸氣口 ；10、待測物體；20、罩體；30、密封圈。具體實施方式在實際應用中，本技術檢測潔凈度的裝置可以包括粒子計數器、負壓吸氣組件、正壓供氣組件、罩體以及密封圈。具體而言，罩體能夠罩在待測物體表面的待測區域上方，密封圈的形狀與罩體朝向待測物體的一端的形狀相匹配，如環狀；并且，密封圈在罩體朝向待測物體的方向上與罩體緊密連接，以盡量避免待測區域中粒子的溢出以及待測區域外粒子的混入。可以根據實際應用場景將密封圈非常靠近(比如在待測物體表面的待測區域有粘性或易磨損等情況下)或貼合(比如在待測物體表面的待測區域無粘性或不易磨損等情況下)待測物體表面的待測區域。這樣，罩體與密封圈就能夠形成罩住待測物體表面的待測區域的密封空間，因而能夠盡量避免待測區域中粒子的溢出以及待測區域外粒子的混入。負壓吸氣組件以及正壓供氣組件的一端分別與粒子計數器相連，另一端分別深入到罩體與待測區域之間的空間中(比如:罩體所形成的空間中)。在實際應用時，負壓吸氣組件能夠將氣體吸入粒子計數器(比如:將罩體所形成的空間中的氣體吸入粒子計數器)，使得罩體所形成的空間中形成負壓；正壓供氣組件則能夠吹出潔凈氣體(比如:向罩體所形成的空間中吹入潔凈氣體)，該潔凈氣體通常能夠將待測物體表面的待測區域中的粒子吹離待測物體表面，便于負壓吸氣組件將被吹離待測物體表面的粒子吸入粒子計數器。需要說明的是，負壓吸氣組件與正壓供氣組件相配合，使罩體所形成的空間中形成負壓或常壓，以盡量避免待測區域中粒子的溢出以及待測區域外粒子的混入。另外，負壓吸氣組件和/或正壓供氣組件在罩體中的位置可以根據實際應用場景設置。在需要時，負壓吸氣組件的吸氣口和/或正壓供氣組件的進氣口可以盡量向待測區域延伸(比如與密封圈處于相同的水平面)，這樣正壓供氣組件可以更有效地將待測物體表面的待測區域中的粒子吹離待測物體表面，負壓吸氣組件則可以更有效地將被吹離待測物體表面的粒子吸入粒子計數器。粒子計數器能夠根據吸入的粒子檢測出待測物體表面的待測區域的潔凈度，由于避免了待測區域中粒子的溢出以及待測區域外粒子的混入，因此潔凈度檢測的準確性能夠得到有效提聞。在具體應用中，可以進行如圖1所示的設置。圖1中，負壓吸氣管6穿過罩體20并進入罩體20所形成的空間，負壓吸氣管6進入罩體20的一端上的吸氣口 7能夠將罩體20所形成的空間中的氣體吸入粒子計數器I。正壓輸氣管2與位于罩體20側壁內部的進氣管道3相連，進氣管道3面向密封圈30的一端穿過罩體20進入密封圈30所形成的空間，進氣管道3進入密封圈30所形成空間的一端上的進氣口 4能夠將待測物體10表面的待測區域中的粒子吹離待測物體10表面。吸氣口 7可以進一步向待測物體10延伸，可以與進氣口 4位于相同的水平面。正壓輸氣管2和/或負壓吸氣管6的數量可以為一個或多個；同樣，進氣管道3的數量可以為一個或多個。當進氣管道3的數量為多個時，可以應用連接管道5將正壓輸氣管2與進氣管道3相連。上述的正壓輸氣管2、進氣管道3等用于實現正壓吹氣的器件屬于正壓供氣組件，上述的負壓吸氣管6等用于實現負壓吸氣的器件屬于負壓吸氣組件。在應用圖1所示裝置進行潔凈度檢測時，可以選定待測物體10的表面，據此確認待測區域，并將密封圈30貼近待測區域，使待測區域的表面與周圍區域實現表面部分的空間隔離。之后，可以由負壓吸氣管6通過吸氣口 7向粒子計數器I吸氣，使罩體20內形成負壓。至此，進氣管道3的進氣口 4(可以是能夠自動控制開啟和關閉的單向閥)一直是關閉的，因此罩體20與待測物體10之間產生一定的吸附力。接下來，開啟進氣口 4，潔凈氣體通過正壓輸氣管2、進氣管道3，最后由進氣口 4進入待測區域，將待測物體10表面的待測區域中的粒子吹離待測物體10表面，并被負壓吸氣管6通過吸氣口 7吸入粒子計數器1，由粒子計數器I根據吸入的粒子數量檢測出待測物體10表面的待測區域的潔凈度。結合以上描述可見，本技術檢測潔凈度的裝置，通過罩體與密封圈的結合使用，實現了對待測物體表面的空間隔離，從而從根本上杜絕了待測物體表面粒子的溢出和待測區域外粒子的混入，因而從源頭上確保了對待測區域進行潔凈度檢測的準確度，有效提高了潔凈度檢測的準確性。以上所述，僅為本技術的較佳實施例而已，并非用于限定本技術的保護范圍。本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種檢測潔凈度的裝置，其特征在于，該裝置包括粒子計數器、能夠將氣體吸入所述粒子計數器的負壓吸氣組件、能夠提供潔凈氣體的正壓供氣組件、能夠罩在待測物體表面的待測區域上方的罩體、與所述罩體緊密連接的密封圈；其中，所述負壓吸氣組件以及正壓供氣組件的一端分別與所述粒子計數器相連，另一端分別深入到所述罩體與待測區域之間的空間中。

【技術特征摘要】
1.一種檢測潔凈度的裝置，其特征在于，該裝置包括粒子計數器、能夠將氣體吸入所述粒子計數器的負壓吸氣組件、能夠提供潔凈氣體的正壓供氣組件、能夠罩在待測物體表面的待測區域上方的罩體、與所述罩體緊密連接的密封圈；其中， 所述負壓吸氣組件以及正壓供氣組件的一端分別與所述粒子計數器相連，另一端分別深入到所述罩體與待測區域之間的空間中。2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述密封圈的形狀與所述罩體朝向待測物體的一端的形狀相匹配。3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述密封圈的形狀為圓形。4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述負壓吸氣組件的吸氣口和/或正壓供氣組件的進氣口與所述密封圈處于相同的水平面。5.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于， 所述正壓供氣組件包括相連的正壓輸氣管、進氣管道和進氣口 ； 所述負壓吸氣組件包括負壓吸氣管和吸氣口。6.根據權...

【專利技術屬性】
技術研發人員：徐濤，
申請(專利權)人：京東方科技集團股份有限公司，北京京東方顯示技術有限公司，
類型：實用新型
國別省市：