【技術實現步驟摘要】
本技術屬于氣壓控制
,具體涉及一種新型高速脈沖閥裝置。
技術介紹
目前,在許多物理實驗儀器中需要將樣品的載氣以很窄的高壓氣體脈沖(約50-100US)釋放到真空腔體內,但現有的電磁閥由于其機械特性不能達到更高的開關速度,影響實驗結果的精確性。
技術實現思路
為了克服現有技術存在的缺陷,本技術的目的是提供一種新型高速脈沖閥裝置,本技術脈沖閥利用了壓電陶瓷高速的電能-機械能轉換特性,使閥門的開關速度可達每分鐘上百次,(高速電磁閥每分鐘一般只能是十幾次),并且閥門打開最小時長大大縮短,由于壓電陶瓷質量輕,動作速度快,因此相對于電磁閥中電磁鐵的鐵芯具有無可比擬的高速性。本技術提供了一種新型高速脈沖閥裝置,該裝置包括前端蓋(I)、閥體(2)、壓電陶瓷片(3)、密封墊片(4)、壓力陶瓷支架(5)和接線柱(6);閥體(2)為圓柱形空腔,閥體(2)上下各有一個氣孔,用于進氣和出氣;在閥體(2)的上部連有兩個壓力陶瓷支架(5)和一個接線柱(6),壓力陶瓷支架(5)上固定有I個密封墊片(4)和壓電陶瓷片(3)。本技術提供的新型高速脈沖閥裝置,其工作原理為:當氣體從閥外殼的進氣口接入閥體時,由于壓電陶瓷片本身的彈性和氣體的壓力使密封墊片緊壓在閥體的出氣口上,達到密封的效果;當給壓電陶瓷片加上直流的脈沖電壓后,壓電陶瓷片會向反方向彎曲,使出口打開,氣體快速從出口噴出,同時壓電陶瓷片背部氣壓降低同時也會加速出口的打開;當脈沖電壓消失后,壓電陶瓷片恢復原來的形狀,壓住出氣口,同時背部氣壓增大,二者合力使出氣口快速關閉。本技術提供的新型高速脈沖閥裝置,利用壓電陶瓷片對高速電壓的快速 ...
【技術保護點】
一種新型高速脈沖閥裝置,其特征在于:該裝置包括前端蓋(1)、閥體(2)、壓電陶瓷片(3)、密封墊片(4)、壓力陶瓷支架(5)和接線柱(6);閥體(2)為圓柱形空腔,閥體(2)上下各有一個氣孔,用于進氣和出氣;在閥體(2)的上部連有兩個壓力陶瓷支架(5)和一個接線柱(6),壓力陶瓷支架(5)上固定有1個密封墊片(4)和壓電陶瓷片(3)。
【技術特征摘要】
1.一種新型高速脈沖閥裝置,其特征在于:該裝置包括前端蓋(I)、閥體(2)、壓電陶瓷片(3)、密封墊片(4)、壓力陶瓷支架(5)和接線柱(6);閥體(2)為圓柱形空腔,閥體(2)上下各有一個氣孔,用于進氣和出氣;在閥體(2)的上部連有兩個壓力陶瓷支架(5)和一個接線柱(6),壓力陶瓷支架(5)上固定有I個密封墊片(4)和壓電陶瓷片(3)。2.按照權利要求1所述新型高速脈沖閥裝置,其特征在于:當氣體從閥外殼的進氣口接入閥體時,由于壓電陶瓷片本身的...
【專利技術屬性】
技術研發人員:唐紫超,任文峰,
申請(專利權)人:中國科學院大連化學物理研究所,
類型:實用新型
國別省市:
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