晶圓暫存卡匣制造技術

一種晶圓暫存卡匣，包括一頂板、一底板、多個側板及一可旋轉止擋件。頂板具有一卡合部。底板與頂板相互平行配置且具有多個支撐塊，其中支撐塊的至少其中之一具有一卡槽。頂板、底板及側板構成一容置空間且定義出一取放口。側板朝向容置空間的表面上分別具有多個第一固定槽以供多個晶圓分層插置?？尚D止擋件具有一桿部及一卡勾，且卡勾固定于桿部的一底端上。當桿部的一頂端卡扣至卡合部時，卡勾不位于卡槽內，桿部限制晶圓的水平位移。當桿部的頂端不卡扣卡合部時，卡勾同時作動而位于卡槽內，以使晶圓適于從取放口被取出。

【技術實現步驟摘要】
晶圓暫存卡匣
本專利技術是有關于一種暫存卡匣，且特別是有關于一種晶圓暫存卡匣。
技術介紹
半導體晶圓由于需經過各種不同流程的處理且需配合工藝設備，因此會被搬運到 不同的工作站。為了方便晶圓的搬運且避免受到外力碰撞，會將多個晶圓收納于晶圓暫存 卡匣中。一般來說，晶圓暫存卡匣內設置有逐層排列的多個插槽可水平容置多個晶圓，且 其一側面具有一開口可供晶圓的載出及載入。再者，于開口處亦設置有可防止晶圓于搬運 時滑出的止擋構件。然而，當將存放晶圓的晶圓暫存卡匣搬運至下一工作站時，作業人員常 會忘記解除止擋構件對晶圓的限位，而導致機械手臂強行從開口將晶圓取出，造成晶圓撞 擊止擋構件而破裂及損壞。此外，晶圓暫存卡匣的插槽間距大于晶圓厚度，且晶圓暫存卡匣 的容置空間會大于晶圓面積，因此晶圓于搬運過程中仍會在晶圓暫存卡匣內晃動，而與晶 圓暫存卡匣相互碰撞，此也會造成晶圓的破裂及損壞。因此，如何有效降低作業人員誤動作 的機會及降低搬運過程中晶圓暫存卡匣與晶圓間相互碰撞的機率是業界亟欲解決的課題 之一 O
技術實現思路
本專利技術提供一種晶圓暫存卡匣，其可有效降低作業人員誤動作的機會。本專利技術提出一種晶圓暫存卡匣,其包括一頂板、一底板、多個側板以及一可旋轉止 擋件。頂板具有一卡合部。底板與頂板相互平行配置，且具有多個支撐塊，其中支撐塊的至 少其中的一具有一卡槽。側板連接頂板與底板。頂板、底板及側板構成一容置空間且定義 出一取放口。側板朝向容置空間的表面上分別具有相對應的多個第一固定槽，以供多個晶 圓分層插置?？尚D止擋件具有一桿部及一卡勾，其中桿部具有彼此相對的一頂端與一底 端，且卡勾固定于桿部的底端上。當桿部的頂端卡扣至頂板的卡合部時，卡勾不位于底板的 支撐塊至少其中的一的卡槽內，桿部限制晶圓的水平位移。當桿部的頂端不卡扣頂板的卡 合部時，卡勾同時作動而位于底板的支撐塊至少其中之一的卡槽內，以使晶圓適于從取放 口被取出?；谏鲜?，由于本專利技術的晶圓暫存卡匣具有可旋轉止擋件，所以晶圓暫存卡匣可 藉由可旋轉止擋件的卡勾與底板的支撐塊的卡槽的干涉與否而限制或解除對晶圓的水平 位移。因此，本專利技術的晶圓暫存卡匣可有效降低作業人員誤動作的機會。為讓本專利技術的上述特征和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合所附附圖 作詳細說明如下。附圖說明圖1為本專利技術的一實施例的一種晶圓暫存卡匣的立體示意圖。圖2A繪示圖1的可旋轉止擋件的卡勾不位于第二支撐塊的卡槽的立體示意圖。圖2B繪示圖1的可旋轉止擋件的桿部不卡扣于頂板的卡合部的立體局部示意圖。圖2C繪示圖1的可旋轉止擋件的卡勾位于第二支撐塊的卡槽的立體示意圖。圖2D至圖2E繪示多種不同型態的支撐塊的立體及剖面示意圖。圖3繪示圖1的晶圓暫存卡匣與一偵測設備的相對位置關系的立體示意圖。圖4為本專利技術的另一實施例的一種晶圓暫存卡匣的立體示意圖。圖5繪示為圖4的保護蓋組件的立體示意圖。圖6繪示為圖4的保護蓋組件的仰視示意圖。主要元件符號說明:100a、100b:晶圓暫存卡匣110:頂板112:卡合部120:底板122:支撐塊 123、125、126a、126b、126c:第一支撐塊123a、123b、125a、125b:第一支撐部127:第二支撐塊127a:卡槽127b:第二支撐部130a、130b、130c:側板131、133:表面132:第一固定槽140:可旋轉止擋件142:桿部142a:頂端142b:底端144:卡勾150:握把160:鎖固件180:保護蓋組件I81:內表面182:保護蓋體182a:蓋板182b:第一側壁182c:第二側壁183:外表面184:把手185b:第--^溝185c:第二卡溝186:承靠板187:表面188:第二固定槽189:鎖固件200:晶圓210:偵測設備212:基板212a:偵測點214:顯示器S:容置空間P:取放口T:頂持梢具體實施方式圖1為本專利技術的一實施例的一種晶圓暫存卡匣的立體示意圖。圖2A繪示圖1的可旋轉止擋件的卡勾不位于第二支撐塊的卡槽的立體示意圖。圖2B繪示圖1的可旋轉止擋件的桿部不卡扣于頂板的卡合部的立體局部示意圖。圖2C繪示圖1的可旋轉止擋件的卡勾位于第二支撐塊的卡槽的立體示意圖。為了方便說明起見，圖1省略繪示部分構件。請先參考圖1，在本實施例中，晶圓暫存卡匣IOOa包括一頂板110、一底板120、多個側板130a、 130b、130c以及一可旋轉止擋件140。詳細來說，請同時參考圖2A及圖2B，頂板110具有一卡合部112。底板120與頂板110相互平行配置，且具有多個支撐塊122。支撐塊122包括二個第一支撐塊123、125以及一第二支撐塊127。第一支撐塊123具有二個第一支撐部123a、123b，第一支撐塊125具有二個第一支撐部125a、125b，第二支撐塊127具有一卡槽127a以及一第二支撐部127b。請再參考圖1與圖2A，側板130a、130b、130c連接頂板110與底板120且彼此相對， 且頂板110、底板120及側板130a、130b、130c構成一容置空間S且定義出一取放口 P。側板130a、130b、130c朝向容置空間S的表面131上分別具有相對應的多個第一固定槽132， 以供多個晶圓200分層插置。在本實施例中，晶圓200例如是12吋晶圓。請同時參考圖1、圖2A與圖2B，本實施例的可旋轉止擋件140具有一桿部142及一^^勾144，其中桿部142具有彼此相對的一頂端142a與一底端142b，且卡勾144固定于桿部142的底端142b上。于本實施例中，一水平連桿(未繪不)的一固定端連接于頂板110, 以及一相對端連接桿部142的頂端142a，而另一水平連桿(未繪示)的一固定端連接于底板 120，以及一相對端連接桿部142的底端142b，而可旋轉止檔件140以水平連桿的固定端為軸心進行旋轉，使桿部142的頂端142a可卡扣或不卡扣于頂板110的卡合部112中。此外， 卡勾144的形狀例如是C形，但不以此為限。特別是，請同時參考圖1與圖2A，當可旋轉止擋件140的桿部142的頂端142a卡扣至頂板Iio的卡合部112時，卡勾144不位于底板120的第二支撐塊127的卡槽127a內， 且桿部142限制晶圓200的水平位移，使晶圓200不會從容置空間S中移出。請參考圖1、 圖2B與圖2C，當旋轉可旋轉止擋件140使其桿部142的頂端142a不卡扣頂板110的卡合部112時，卡勾144同時作動轉入底板120的第二支撐塊127的卡槽127a內，使卡勾144位于卡槽127a內，此時，晶圓200適于從取放口 P被取出。再者，請再參圖1及圖2A，晶圓暫存卡匣IOOa更包括多個握把150，其中握把150配置于側板130a、130b遠離容置空間S的表面133上，以方便作業人員搬運晶圓暫存卡匣IOOa0此外，晶圓暫存卡匣IOOa還包括多個鎖固件160，其中側板130a、130b、130c透過鎖固件160鎖固于頂板110與底板120上。圖3繪示圖1的晶圓暫存卡匣與一偵測設備的相對位置關系的立體示意圖。請同時參考圖2k與圖3,本實施例的晶圓暫存卡匣IOOa適于放置于一偵測設備210上,其中偵測設備210具有多個對應支撐塊122設置的偵測點212a，用以偵測本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種晶圓暫存卡匣，包括：一頂板，具有一卡合部；一底板，與該頂板相互平行配置，且具有多個支撐塊，其中所述多個支撐塊的至少其中之一具有一卡槽；多個側板，連接該頂板與該底板，該頂板、該底板以及所述多個側板構成一容置空間且定義出一取放口，其中所述多個側板朝向該容置空間的表面上分別具有相對應的多個第一固定槽，以供多個晶圓分層插置；以及一可旋轉止擋件，具有一桿部及一卡勾，其中該桿部具有彼此相對的一頂端與一底端，且該卡勾固定于該桿部的該底端上，其中當該桿部的該頂端卡扣至該頂板的該卡合部時，該卡勾不位于該底板的所述多個支撐塊至少其中之一的該卡槽內，該桿部限制所述多個晶圓的水平位移，而當該桿部的該頂端不卡扣該頂板的該卡合部時，該卡勾同時作動而位于該底板的所述多個支撐塊至少其中之一的該卡槽內，以使所述多個晶圓適于從該取放口被取出。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：唐英泰，
申請(專利權)人：南茂科技股份有限公司，
類型：發明
國別省市：