一種激光調阻機制造技術

本實用新型專利技術涉及激光調阻技術領域，尤其涉及一種使用過程中不易變形、穩定、可靠的激光調阻機。包括安裝有計算機和控制電路的機體，所述機體上安裝有基臺，所述基臺上安裝有激光器系統，所述基臺由大理石制成。本實用新型專利技術結構緊湊、合理、操作方便，提高了整個激光調阻系統的位置精度，滿足對位置要求極高的精細激光調阻加工。（*該技術在2022年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及激光調阻
，尤其涉及一種使用過程中不易變形、穩定、可靠的激光調阻機。
技術介紹
激光調阻工藝已經成熟應用在厚膜、薄膜及半導體電路中，現今由于人們對器件的微型化要求越來越高甚至到苛刻的地步，電路的微型化要求也越來越高，在一些精密的厚、薄膜電路以及一些半導體電路中，對精密激光調阻機有著相當高的要求，而且這些電路的工藝只有激光調阻才能解決。除了基本的測量精度外，對產品的運動精度及定位精度要求也非常的高。由于激光調阻加工時激光器分步動作控制系統需要重復運動、探針需要重復升降，而且對運動效率要求非常高，整個高速運動對基臺會產生一定的反作用力，這對加工產品位置會有一定的影響，另外傳統的金屬材料基臺由于熱賬冷縮因素，隨著溫度的變化，臺面也會有微量的變形，上述因素的影響對產品定位精度會造成大于IOum以上的誤差，這對于要求極高的精密調阻加工位置精度來說都是不允許的，所以精密激光調阻機對整個基臺穩定性非常重要。
技術實現思路
本技術主要是針對現有技術所存在的上述技術問題，提供一種使用過程中不易變形、穩定、可靠的激光調阻機。本技術的上述技術問題主要是通過下述技術方案得以解決的:一種激光調阻機，包括安裝有計算機和控制電路的機體，所述機體上安裝有基臺，所述基臺上安裝有激光器系統，所述基臺由大理石制成。本技術的基臺全部采用大理石結構，結構合理，能有效防止各運動系統在高速運動時其反作用力帶來的基臺振動，并且長時間使用過程中不會產生溫度導致的基臺變形，大大提 高了整個激光調阻系統的位置精度，滿足對位置要求極高的精細激光調阻加工，從實驗情況來看效果非常理想。作為優選，所述激光器系統包括激光器分步動作控制系統運動系統、探針升降運動系統和激光器升降系統。該結構使激光器的控制更加方便。作為優選，所述激光器分步動作控制系統運動系統包括采用空氣懸浮技術的平面電機。采用空氣懸浮技術的平面電機，運動過程懸浮無摩擦力，運動速度及精度高。作為優選，所述探針升降系統和激光器升降系統分別垂直于激光器分步動作控制系統，所述探針升降系統和激光器升降系統垂直。該結構緊湊合理，控制方便。作為優選，所述基臺包括大理石平臺和大理石立柱，所述激光器分步動作控制系統固定大大理石平臺上，所述探針升降系統和激光器升降系統固定在大理石立柱上。該結構提高了整套系統的穩定性。作為優選，還包括顯示器組件，所述顯示器組件安裝在機體上。該結構便于工作人員操作。本技術結構緊湊、合理、操作方便，并且能有效防止各運動系統在高速運動時其反作用力帶來的基臺振動，并且長時間使用不存在溫度導致的細微變形的影響，大大提高了整個激光調阻系統的位置精度，滿足對位置要求極高的精細激光調阻加工。附圖說明附圖1為本技術一種激光調阻機的結構示意圖。附圖2為本技術一種基臺和激光器系統的裝配結構示意圖。具體實施方式下面通過實施例，并結合附圖，對本技術的技術方案作進一步具體的說明，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術的部分實施例。實施例1:參見附圖1，本技術一種激光調阻機，包括安裝有計算機和控制電路的機體1，所述機體I上安裝有基臺2，所述基臺2上安裝有激光器系統3，所述基臺2由大理石制成，還包括顯示器組件9，所述顯示器組件9安裝在機體I上。所述激光器系統3包括激光器分步動作控制系統運動系統4、探針升降運動系統5和激光器升降系統6。所述激光器分步動作控制系統運動系統4包括采用空氣懸浮技術的平面電機。所述探針升降系統5和激光器升降系統6分別垂直于激光器分步動作控制系統4，所述探針升降系統5和激光器升降系統6垂直。所述基臺2包括大理石平臺7和大理石立柱8，所述激光器分步動作控制系統4固定大大理石平臺7上，所述探針升降系統5和激光器升降系統6固定在大理石立柱8上。·本技術結構緊湊、合理、操作方便，并且能有效防止各運動系統在高速運動時其反作用力帶來的基臺振動，并且長時間使用不存在溫度導致的細微變形的影響，大大提高了整個激光調阻系統的位置精度，滿足對位置要求極高的精細激光調阻加工。應理解，上述實施例僅用于說明本技術而不用于限制本技術的范圍。此外應理解，在閱讀了本技術講授的內容之后，本領域技術人員可以對本技術作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權利要求書所限定的范圍。權利要求1.一種激光調阻機，其特征在于:包括安裝有計算機和控制電路的機體(1)，所述機體(I)上安裝有基臺(2)，所述基臺(2)上安裝有激光器系統(3)，所述基臺(2)由大理石制成。2.根據權利要求1所述的激光調阻機，其特征在于:所述激光器系統(3)包括激光器分步動作控制系統運動系統(4)、探針升降運動系統(5)和激光器升降系統(6)。3.根據權利要求2所述的激光調阻機，其特征在于:所述激光器分步動作控制系統運動系統(4)包括采用空氣懸浮技術的平面電機。4.根據權利要求2所述的激光調阻機，其特征在于:所述探針升降系統(5)和激光器升降系統(6)分別垂直于激光器分步動作控制系統(4)，所述探針升降系統(5)和激光器升降系統(6)垂直。5.根據權利要求f4任一所述的激光調阻機，其特征在于:所述基臺(2)包括大理石平臺(7)和大理石立柱(8)，所述激光器分步動作控制系統(4)固定大大理石平臺(7)上，所述探針升降系統(5)和激光器升降系統(6)固定在大理石立柱(8)上。6.根據權利要求1所述的激光調阻機，其特征在于:還包括顯示器組件(9)，所述顯示器組件(9)安裝在機體(I)上。專利摘要本技術涉及激光調阻
，尤其涉及一種使用過程中不易變形、穩定、可靠的激光調阻機。包括安裝有計算機和控制電路的機體，所述機體上安裝有基臺，所述基臺上安裝有激光器系統，所述基臺由大理石制成。本技術結構緊湊、合理、操作方便，提高了整個激光調阻系統的位置精度，滿足對位置要求極高的精細激光調阻加工。文檔編號H01C17/242GK203103039SQ20122070489公開日2013年7月31日 申請日期2012年12月19日 優先權日2012年12月19日專利技術者何成鵬, 程燕爭, 陳麗芳 申請人:武漢三工精密制造有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種激光調阻機，其特征在于：包括安裝有計算機和控制電路的機體（1），所述機體（1）上安裝有基臺（2），所述基臺（2）上安裝有激光器系統（3），所述基臺（2）由大理石制成。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：何成鵬，程燕爭，陳麗芳，
申請(專利權)人：武漢三工精密制造有限公司，
類型：實用新型
國別省市：