一種樣品架制造技術

本發明專利技術公開了一種樣品架，包括用于承載樣品的樣品放置架、用于調節樣品表面的一選定點與蒸發源距離的距離調節機構、以及用于調節蒸發源的表面法線與蒸發源和樣品表面的一選定點的連線之間的夾角的角度調節機構。距離調節機構經一中空固定架與角度調節機構固定連接，樣品放置架經角度調節機構與中空固定架固定連接。距離調節機構可通過伸縮機構調節樣品與蒸發源的距離及其在軸向上的穩定性，角度調節機構利用絲桿螺母配合調節角度值，并由刻度盤和刻度指針顯示所調節角度值。本發明專利技術結構簡單，能夠與現有的蒸鍍樣品架及膜厚控制系統兼容，滿足蒸鍍工藝均勻性與蒸發速率可控性的要求，節省蒸發材料，降低成本。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術特別涉及一種可調節高度、角度的樣品架，其可應用于在真空蒸鍍過程中放置樣品。
技術介紹
在現代半導體制備工藝中，生產型蒸鍍設備所配置的樣品架一次可以對數片樣品進行蒸鍍。為了保證蒸鍍薄膜的均勻性，一般樣品和蒸發源之間的距離比較遠，有的設備中樣品與蒸發源之間的距離可達到IOOcm左右。但如果不是進行規模化生產，僅僅是為了進行某些工藝試驗而進行蒸鍍，那么仍然采用與大規模生產相同的樣品架勢必造成資源的浪費。因此，如何在保證與現有蒸鍍樣品架和膜厚控制系統兼容的前提下，設計一種既能滿足少量蒸鍍試驗用的要求，又能同時滿足蒸鍍工藝均勻性、蒸發速率可控性要求的樣品架，已經成為業界需要解決的難題。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種樣品架，其可以實現對待蒸鍍樣品與蒸發源之間的距離和角度的方便快捷地調節，從而克服現有技術中的不足。為了實現上述專利技術目的，本專利技術提供的一種樣品架包括: 用于承載樣品的樣品放置架； 至少用于調節樣品表面的·一選定點與蒸發源距離的距離調節機構； 至少用于調節蒸發源的表面法線與蒸發源和樣品表面的一選定點的連線之間的夾角的角度調節機構； 其中，所述樣品放置架與所述角度調節機構和距離調節機構固定連接。作為較為優選的實施方案之一，所述距離調節機構可經一中空固定架與角度調節機構固定連接，所述樣品放置架經角度調節機構與中空固定架固定連接。作為較為優選的實施方案之一，所述樣品架還可包括: 用以與蒸鍍設備的旋轉驅動機構固定連接的定位懸掛件，所述定位懸掛件與樣品放置架固定連接。作為較為優選的實施方案之一，所述定位懸掛件依次經距離調節機構、中空固定架及角度調節機構與樣品放置架固定連接。進一步的，所述定位懸掛件上設有與蒸鍍設備的旋轉驅動機構配合的卡槽。作為較為優選的實施方案之一，所述距離調節機構包括伸縮機構，所述伸縮機構可包括: 內軸和外筒，所述外筒套設在內軸上，并可與內軸相對滑動； 以及，用于將內軸和外筒于選定位置相對固定的鎖止機構。其中，所述鎖止機構可采用本領域人員習用的各類鎖止機構，如，按鍵式鎖止機構、螺紋鎖止機構等等。即以螺紋鎖止機構為例，其可包括:穿設于所述外筒筒壁上的一個或多個螺絲，以及，分布在所述內桿外壁上的一個或多個凹槽，通過將所述螺絲與所述凹槽配合，可調節所述伸縮機構的長度。作為較為優選的實施方案之一，所述角度調節機構包括帶有旋鈕的絲桿和與絲桿匹配的螺母，所述絲桿與樣品放置架固定連接。進一步的，所述角度調節機構還可包括角度指示機構，所述角度指示機構包括固定在所述樣品放置架上的刻度指針以及固定在所述中空固定架上的刻度盤，所述絲桿穿設于分布在中空固定架上的軸孔內。在一具體應用例中，所述角度固定機構還可包括與中空固定架固定連接的兩個以上固定端，所述該兩個以上固定端上間隔設有兩個以上同軸貫通的軸孔，所述絲桿依次穿過所述軸孔，所述平板固定器設于相鄰兩個固定端之間，并與絲桿固定連接，所述螺母設置于一固定端的外側且靠近絲桿帶有旋鈕的一端。顯然的，前述固定端亦可采用與中空固定架一體設置的結構。作為較為優選的實施方案之一，所述樣品放置架包括平板固定器，所述平板固定器上分布有用于放置樣品的槽孔結構。作為較為優選的實施方案之一，所述中空固定架包括中部設有通孔的矩形平板，所述通孔的中心設有三 叉支撐結構，所述三叉支撐結構的中部與距離調節結構固定連接，所述矩形平板的至少一側邊緣部固定連接有角度調節機構和樣品放置架。與現有技術相比，本專利技術的優點至少在于:可以節省蒸發材料，蒸鍍相同厚度的薄膜時，利用本專利技術所需材料只需設備原有樣品架的30%左右，并且薄膜均勻性小于±3%。另外可以根據待蒸鍍樣品的試驗要求，調節樣品與蒸發源之間的高度和角度，實現四個不同樣品位置的試驗需求，一次可以制備多種不同結構的樣品，并且其能與現有蒸鍍樣品架及膜厚控制系統兼容，滿足蒸鍍工藝均勻性與蒸發速率可控性的要求，節省蒸發材料，降低成本。附圖說明為具體說明本專利技術的結構，下面結合附圖和具體實施方式，對本專利技術的具體實施方式作進一步詳細的說明。圖1是本專利技術一較佳實施例的立體圖。圖2是本專利技術一較佳實施例的伸縮機構的結構示意 附圖標記說明:1-伸縮機構、11-外筒、12-螺絲、13-內軸、14-凹槽、21-絲桿、22-螺母、23-固定端、24-軸孔、31-刻度盤、32-刻度指針、4_中空固定機構、41-矩形平板、42-二叉支撐單元、5-樣品放置架。具體實施例方式以下結合附圖及一較佳實施例對本專利技術的技術方案作進一步的說明。參閱圖1，本實施例提供了一種可以調節樣品與蒸發源之間高度和角度的樣品架，其包括:用于承載樣品的樣品放置架5、用于調節樣品表面的一選定點與蒸發源距離的距離調節機構、以及用于調節蒸發源的表面法線與蒸發源和樣品表面的一選定點的連線之間的夾角的角度調節機構。進一步的，前述距離調節機構可通過一中空固定架4與角度調節機構固定連接，而前述樣品放置架5可通過角度調節機構與中空固定架4固定連接。進一步的，請繼續參閱圖1，前述樣品放置架5可包括平板固定器，在平板固定器上分布有用于放置樣品的槽孔結構。前述角度調節機構可包括角度固定機構和角度指示機構。更為具體的，前述角度固定機構包括帶有旋鈕的絲桿21和與絲桿21匹配的螺母22，所述絲桿21與樣品放置架5固定連接。又及，前述角度固定機構還可包括與中空固定架4固定連接的兩個以上固定端23，該兩個以上固定端23上間隔設有兩個以上同軸貫通的軸孔24，所述絲桿21依次穿過所述軸孔24，平板固定器設于相鄰兩個固定端23之間，并與絲桿21固定連接，螺母22設置于一固定端23的外側且靠近絲桿21帶有旋鈕的一端。顯然，前述固定端23亦可采用與中空固定架4一體設置的結構。前述角度指示機構 包括固定在樣品放置架5上的刻度指針32以及固定在中空固定架4上的刻度盤31。刻度盤31與刻度指針32相配合用于顯示角度固定機構調節的角度值，也就是能夠顯示出蒸發源的表面法線與蒸發源和樣品表面的一選定點的連線之間的夾角值。前述中空固定架4可采用中部設有通孔的矩形平板41，在通孔的中心設有三叉支撐結構42，所述三叉支撐結構42的中部與距離調節結構固定連接，所述矩形平板41的至少一側邊緣部固定連接有角度調節機構和樣品放置架5。前述距離調節機構可選用伸縮機構1，參見圖2，該伸縮機構I可包括:內軸13和外筒11，所述外筒11套設在內軸13上，并可與內軸13相對滑動；以及,用于將內軸13和外筒11于選定位置相對固定的鎖止機構。前述鎖止機構可采用本領域人員習用的各類鎖止機構，如，按鍵式鎖止機構、螺紋鎖止機構等等。以螺紋鎖止機構為例，其可包括:穿設于所述外筒11筒壁上的一個或多個螺絲12，以及，分布在所述內軸13外壁上的一個或多個凹槽14，通過將所述螺絲12與所述凹槽14配合，調節所述伸縮機構I的長度。另外，本專利技術還包括用以與蒸鍍設備的旋轉驅動機構固定連接的定位懸掛件(圖中未示出)，所述定位懸掛件依次經距離調節機構、中空固定架4及角度調節機構與樣品放置架5固定連接。前述定位懸掛件上還可設有與蒸鍍設備的旋轉驅動機構(如，自轉驅動軸等)配合的卡槽。在工作過程中，可按照如下原理調節樣品與蒸發源高度、角度，即: 根據真空腔室里樣品上任意一點所蒸鍍的膜厚本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種樣品架，其特征在于，包括：用于承載樣品的樣品放置架；至少用于調節樣品表面的一選定點與蒸發源距離的距離調節機構；至少用于調節蒸發源的表面法線與蒸發源和樣品表面的一選定點的連線之間的夾角的角度調節機構；其中，所述樣品放置架與所述角度調節機構和距離調節機構固定連接。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：趙德勝，張永紅，黃宏娟，張寶順，
申請(專利權)人：中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所，
類型：發明
國別省市：