【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種反應腔，包括腔體內襯和冷卻腔體，所述腔體內襯套設在所述反應腔內并圍繞反應腔的反應區域；所述反應腔還包括吹掃結構，所述吹掃結構用于向所述冷卻腔體與所述腔體內襯之間的空間通入吹掃氣體；其特征在于：所述吹掃結構包括從所述冷卻腔體外穿過所述冷卻腔體，延伸到所述冷卻腔體與所述腔體內襯之間的空間的第一進氣管，所述第一進氣管朝向腔體內襯一端具有出氣口，從所述第一進氣管的出氣口到所述腔體內襯面向所述冷卻腔體的表面最短距離的連線方向為第一方向，吹掃氣體從所述出氣口導出的方向為第二方向，所述第一方向與所述第二方向成夾角。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：仁君，譚華強，
申請(專利權)人：光壘光電科技上海有限公司，
類型：發明
國別省市：
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