【技術實現(xiàn)步驟摘要】
【技術保護點】
一種低密度靶材包裝裝置,其特征在于:包括大真空包裝袋(1)、若干個小真空包裝袋(2)和塑型定位器具(3),所述小真空包裝袋(2)用于真空包裝單個低密度陶瓷靶材,所述各個小真空包裝袋(2)均排列置于所述大真空包裝袋(1)內,大真空包裝袋(1)置于所述塑型定位器具(3)內。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員:周賢界,鄭子濤,陳常青,余永強,劉守聰,
申請(專利權)人:韶關西格瑪技術有限公司,
類型:實用新型
國別省市:
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