【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種圓片清洗方法，其特征在于，包括下述步驟：將圓片放置在可噴水的水懸浮平臺上，以利用所述噴水水流保持圓片懸浮的懸浮處理步驟；將處理液噴射到圓片并進行預定時間處理的噴射步驟；在所述水懸浮平臺上加蓋連接了沖水管的沖水罩，利用所述沖水管的可控水流對圓片進行沖水的沖水步驟。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：閔淵文，
申請(專利權)人：無錫華潤華晶微電子有限公司，
類型：發明
國別省市：
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