超聲波振動輔助研磨/拋光的試件樣品夾具制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種超聲波振動輔助研磨/拋光的試件樣品夾具，屬于精密、超精密加工領(lǐng)域。包括超聲波發(fā)生器、壓電陶瓷換能器、錐形變幅桿、工件夾持系統(tǒng)以及修整環(huán)，所述超聲波發(fā)生器將交流電轉(zhuǎn)換成超聲頻電振蕩信號，通過集電環(huán)傳遞到壓電陶瓷換能器。壓電陶瓷換能器將超聲頻電振蕩信號轉(zhuǎn)換成超聲頻機械振動。錐形變幅桿將換能器輸出的小振幅放大后傳遞給工件夾持系統(tǒng)，從而實現(xiàn)超精密研磨/拋光過程中工件的超聲波振動。優(yōu)點在于：結(jié)構(gòu)緊湊，操作簡單，效率高，適用性強。能夠顯著地提高工件的加工精度和表面質(zhì)量，還能夠改善研磨/拋光條件，例如降低切削力、減少切削熱、消除或抑制振動，提高研磨盤和拋光布的耐用度等。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護點】
一種超聲波振動輔助研磨/拋光的試件樣品夾具，包括超聲波發(fā)生器（18）、壓電陶瓷換能器、錐形變幅桿（4）、工件夾持系統(tǒng)以及修整環(huán)（9），其特征在于：所述超聲波發(fā)生器（18）將交流電轉(zhuǎn)換成超聲頻電振蕩信號，通過集電環(huán)將超聲頻電振蕩信號傳遞到由壓電陶瓷換能器后蓋板（1）、堆疊壓電陶瓷片（2）、壓電陶瓷換能器前蓋板（3）組成的壓電陶瓷換能器，壓電陶瓷換能器將超聲頻電振蕩信號轉(zhuǎn)換成超聲頻機械振動；所述錐形變幅桿（4）將壓電陶瓷換能器輸出的小振幅放大后，傳遞給由試件粘板（5）及夾持基板（8）組成的工件夾持系統(tǒng)，使被加工工件產(chǎn)生超聲振動，以實現(xiàn)超聲振動輔助研磨/拋光。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：趙宏偉，崔濤，韓磊，李爍，張文爽，李建平，史成利，劉闖，田野，曲涵，
申請(專利權(quán))人：吉林大學(xué)，
類型：發(fā)明
國別省市：