制備向離子遷移率傳感器供給的樣品的裝置制造方法及圖紙

提供一種分析裝置(10)，具有制備向離子遷移率傳感器(1)供給的樣氣(20)的單元(300)和包括控制進行制備的單元(300)的功能的控制單元(60)。進行制備的單元(300)包括改變樣氣(20)中包含的目標化學成分的濃度的濃度調整機構(310)，控制單元(60)包括獲取離子遷移率傳感器(1)的測量結果的驅動器(61)和向改善測量結果的方向控制濃度調整機構(310)的流量控制單元(70)。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】

【技術保護點】

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：佐藤友美，柏拉卡斯·斯里達爾·穆爾蒂，
申請(專利權)人：ATONARP株式會社，
類型：
國別省市：