【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【技術(shù)保護點】
一種基于高能脈沖激光力效應(yīng)的微平整裝置,其特征在于:包括激光驅(qū)動控制系統(tǒng)、靶材系統(tǒng)和靶材裝夾位移系統(tǒng);所述激光驅(qū)動控制系統(tǒng)包括計算機(10)、控制器(11)、納秒激光器(9)、平面反射鏡(8)和聚焦透鏡(7),計算機(10)和納秒激光器(9)分別與控制器(11)相連,計算機(10)用于控制控制器(11),控制器(11)用于控制納秒激光器(9)發(fā)出的激光光束經(jīng)過平面反射鏡(8)反射至聚焦透鏡(7)聚焦后直接作用于所述靶材系統(tǒng);所述靶材系統(tǒng)裝夾于所述靶材裝夾位移系統(tǒng)上;所述靶材裝夾位移系統(tǒng)包括控制器(11)、三維移動平臺(2)、L型底座(1)和夾具體(3),所述靶材系統(tǒng)放于夾具體(3)中,夾具體(3)安裝在三維移動平臺(2)上,三維移動平臺(2)安裝在L型底座(1)上,靶材裝夾位移系統(tǒng)的移動通過控制器(11)調(diào)控三維移動平臺(2)的移動來實現(xiàn),所述控制器(11)受控于計算機(10)。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:沈宗寶,顧春興,劉會霞,王霄,李品,張強,陸萌萌,袁耀強,黃創(chuàng),
申請(專利權(quán))人:江蘇大學(xué),
類型:發(fā)明
國別省市:
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