一種用于藍寶石領域的CMP拋光液外部循環系統技術方案

本實用新型專利技術公開了一種用于藍寶石領域的CMP拋光液外部循環系統，包括拋光液管道，所述拋光液管道與拋光液桶連通，在所述拋光液管道上依次設置推進泵A、粗過濾裝置、細過濾裝置及推進泵B。將所述推進泵B與三通閥連接，三通閥的端口A與CMP設備連接，三通閥的端口B與拋光液桶連通，三通閥的端口A上設有第一閥門，三通閥的端口B上設有第二閥門。當CMP設備不運行的時候，打開第二閥門，將三通閥的端口B與拋光液桶連通，推進泵A和推進泵B保持工作，實現拋光液的外部循環。本實用新型專利技術利用將三通閥將拋光液管道與拋光液桶實現循環連通，實現了拋光液的外部循環，避免了拋光液因為CMP設備不運行而結晶的問題。（*該技術在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種用于藍寶石領域的CMP拋光液外部循環系統，包括拋光液管道（1），所述拋光液管道（1）與拋光液桶連通，所述拋光液管道（1）上依次設置推進泵A（2）、粗過濾裝置（3）、細過濾裝置（4）及推進泵B（5），其特征在于：所述推進泵B（5）與三通閥（6）連接，三通閥（6）的端口A（7）與CMP設備連接，三通閥（6）的端口B（9）與拋光液桶連通，三通閥（6）的端口A（7）上設有第一閥門（8），三通閥（6）的端口B（9）上設有第二閥門（10）。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：易小順，方建雄，李呼相，吳魯，隆仁偉，
申請(專利權)人：蘇州海鉑晶體有限公司，
類型：實用新型
國別省市：