一種新型晶體生長爐加熱器制造技術

本實用新型專利技術公開了一種新型晶體生長爐加熱器，包括12個電極和若干條狀鎢桿，其中6個電極圍成環狀形成上端面，另外6個電極圍成環狀形成與上端面形狀相同的下端面，在所述上端面與下端面之間縱向設置條狀鎢桿。每個條狀鎢桿與上、下端面的電極之間使用緊固螺栓連接。本裝置使用三相電源，所述電極通過電源連接部與三相電源連接。本實用新型專利技術可以保持由下到上、由中心到邊緣溫度逐漸升高的一個穩定的對稱的熱場，從而保證長晶的質量，并且任一條狀鎢桿發生變形，都可以單獨更換，不需要更換整個加熱器，因此更換成本更低，操作也更加簡單。（*該技術在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種新型晶體生長爐加熱器，其特征在于：包括12個電極（1）和條狀鎢桿（2），6個電極（1）圍成環狀形成上端面，6個電極（1）圍成環狀形成與上端面形狀相同的下端面，所述上端面與下端面之間設置條狀鎢桿（2）。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：婁中士，方建雄，金啟源，劉海濱，
申請(專利權)人：蘇州海鉑晶體有限公司，
類型：實用新型
國別省市：