一種鈦基鉑膜微天平傳感器制造技術

本實用新型專利技術提供了一種鈦基鉑膜微天平傳感器，該傳感器包括一個石英晶體片(1)，所述石英晶體片(1)表面是鍍鈦膜層(2)，所述鍍鈦膜層(2)表面是鍍鉑膜層(3)，形成一種鈦基鉑膜微天平傳感器。本實用新型專利技術的效果和益處在于所述鈦基鉑膜微天平傳感器具有制作簡單、使用方便、靈敏度高、抗腐蝕性和穩定性好等優點，優于傳統的石英晶體微天平傳感器。（*該技術在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種鈦基鉑膜微天平傳感器，其特征是：該傳感器包括一個石英晶體片(1)，所述石英晶體片(1)表面是鍍鈦膜層(2)，所述鍍鈦膜層(2)表面是鍍鉑膜層(3)，形成一種鈦基鉑膜微天平傳感器。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：曹忠，曹婷婷，吳玲，黃大凱，宋天銘，肖忠良，
申請(專利權)人：長沙理工大學，
類型：實用新型
國別省市：