【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種四氟乙烯硅棒腐蝕裝置,它包括:二個腐蝕槽(1)和一個樣棒籃(2)組成,其特征在于:腐蝕槽(1)為長方體結構,底面和四個側面密封,上面敞開;樣棒籃(2)長方體結構,底面和三個側面密封,上面和一個側面敞開,樣棒籃(2)的底面全部為孔板,孔密度10000個/m2,樣棒籃(2)的三個側面從底部到高度2mm位置為孔板,上方為實板。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:魏文昌,穆玥,胡俊輝,翁博豐,鄧麗,程遠梅,尹敏,
申請(專利權)人:陜西天宏硅材料有限責任公司,
類型:實用新型
國別省市:
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