一種金屬內(nèi)表面改性的裝置和方法制造方法及圖紙

一種金屬內(nèi)表面改性的裝置和方法，屬于等離子體表面改性技術(shù)領域。其特征是利用空心陰極放電的原理在內(nèi)表面產(chǎn)生等離子體，實現(xiàn)滲氮或沉積類金剛石薄膜，以提高金屬內(nèi)表面硬度，耐磨性和耐蝕性。被處理件為陰極，內(nèi)設陰極，調(diào)整工件與陰極之間的距離和真空度達到放電條件，陽極設置在陰極空腔四周，陰陽極之間加入直流脈沖電源。滲氮時，反應氣體為氮氣或氨氣，載氣為氬氣；沉積硬碳薄膜時，反應氣體為甲烷或乙炔，載氣為氬氣。本發(fā)明專利技術(shù)的效果和益處是具有工藝簡單，成本低，效率高的特點，特別適合處理金屬內(nèi)表面和大長徑比的管件。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護點】
一種金屬內(nèi)表面改性的裝置，是利用空心陰極效應在空腔內(nèi)產(chǎn)生高密度的等離子體，來實現(xiàn)金屬內(nèi)表面的改性，即能實現(xiàn)化學滲，也能沉積硬碳膜，提高金屬內(nèi)表面的硬度、耐磨性和耐蝕性等物理化學性能，其特征在于被處理件為陰極，根據(jù)被處理件表面形狀，增加與陰極材料相同、輪廓相似的陰極，形成雙陰極；反應氣體由陰極均勻引入到陰極與陰極之間的空腔內(nèi)，反應之后的殘余氣體需由陰極內(nèi)表面邊緣四周由機械泵抽出；陰極與陰極間距d和真空室反應壓力P之間滿足P·d=0.5?10Torr·cm關系，鉬制陽極位于空腔邊緣四周，陰極與陽極間距為雙陰極間距的2?5倍；通入反應氣體，陰陽極之間加入直流脈沖偏壓，控制被處理件的溫度，進行化學滲或薄膜沉積。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張貴鋒，侯曉多，鄧德偉，
申請(專利權(quán))人：大連理工大學，
類型：發(fā)明
國別省市：