帶有放射性物質的樹脂減容處理裝置及其工作方法制造方法及圖紙

本發明專利技術使等離子體的點燃容易化，并防止等離子體的熄滅。本發明專利技術的幾種方案的減容處理裝置（110）包括有載置被處理樹脂（22）的載物臺（112）、CCP用電源（180）、ICP用電源（190）。在本發明專利技術一種方案的減容處理裝置（110）中包括有供給機構（122），CCP用電源（180）在減壓狀態下向真空容器（114）供給被處理樹脂時繼續工作。并且，在本發明專利技術一種方案的減容處理裝置（110）中變更向真空容器（114）供給氣體的供給條件時CCP用電源（180）繼續工作。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】

【技術保護點】

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】

【專利技術屬性】
技術研發人員：片桐源一，
申請(專利權)人：富士電機株式會社，
類型：
國別省市：