具有加熱器與快速溫度變化的基板支撐件制造技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)提供具有加熱器與集成冷卻器的基板支撐件的實施例。在某些實施例中，基板支撐件可包括：第一構(gòu)件，當(dāng)基板位于第一構(gòu)件的第一表面上方時，第一構(gòu)件用以散布熱至基板；加熱器，加熱器設(shè)置于第一構(gòu)件下，且加熱器具有一或多個加熱區(qū)域以提供熱至第一構(gòu)件；多個冷卻通道，多個冷卻通道設(shè)置于第一構(gòu)件下，以移除加熱器提供的熱；多個基板支撐銷，多個基板支撐銷設(shè)置在高于第一構(gòu)件的第一表面上第一距離處，當(dāng)基板位于基板支撐件上時，多個基板支撐銷用以支撐基板的背側(cè)表面；及對準引導(dǎo)件，對準引導(dǎo)件自第一構(gòu)件的第一表面延伸并圍繞多個基板支撐銷。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【國外來華專利技術(shù)】

【技術(shù)保護點】

【技術(shù)特征摘要】
【國外來華專利技術(shù)】...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：利昂·沃爾福夫斯基，馬尤爾·G·庫爾卡尼，亞歷克斯·明科維奇，
申請(專利權(quán))人：應(yīng)用材料公司，
類型：
國別省市：